专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]数字微镜器件-CN201120372893.4有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-09-30 - 2012-05-23 - G02B26/08
  • 一种数字微镜器件,数字微镜器件包括:基底,其上形成有微镜器件控制电路结构;数字微镜阵列,数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板、铰链;两个第二极板位于基底上,与微镜器件控制电路结构电连接;两个第一极板位于两个第二极板上方,且分别与两个第二极板相对;铰链位于第二极板上方;反光镜位于第一极板上方,且反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接,反光镜通过第二插栓与铰链电连接;在第一极板或第二极板之间具有电压差时,反光镜绕铰链偏转;还包括:两个卡口,铰链两端分别设于两个卡口内且处于悬浮状态。本技术方案结构简单,铰链的两端悬浮于卡口内,可以提高数字微镜器件的灵敏度。
  • 数字器件
  • [发明专利]MEMS光阀及其制造方法、具有该MEMS光阀的显示装置-CN201110434098.8有效
  • 毛剑宏;唐德明;韩凤芹 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-12-21 - 2012-04-18 - G02B26/02
  • 一种MEMS光阀及其制造方法、具有该MEMS光阀的显示装置,MEMS光阀包括:层叠放置的固定光栅、第一可动光栅和第二可动光栅;第一电极,其与所述第一可动光栅相连;第二电极,其与所述第二可动光栅相连;第二电极与第一电极相对设置,当第一电极和第二电极带异种电荷时,第一电极和第二电极相向移动吸合,则带动第一可动光栅和第二可动光栅相向移动,使得固定光栅透光或者不透光。本技术方案可以加快固定光栅的透光、遮光速度,从而减少了实现光阀透光和不透光状态之间转换所需第一可动光栅和第二可动光栅移动的里程,降低光阀状态转换所需的功耗,提高转换的速度。
  • mems及其制造方法具有显示装置
  • [实用新型]光学式触摸屏、显示装置-CN201120092390.1有效
  • 唐德明;毛剑宏 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-03-31 - 2012-03-14 - G06F3/042
  • 一种光学式触摸屏以及包括所述光学式触摸屏的显示装置,所述光学式触摸屏包括:背光源,探测基板和光学元件,其中,背光源,用于发出射向探测基板方向的测量光;探测基板,其朝向背光源一侧设置有多个呈矩阵式排列的光敏元件;光学元件,其位于所述探测基板背离背光源的一侧,且所述光学元件背离所述探测基板的一侧表面为触摸表面,与所述触摸表面接触的触摸件经过所述光学元件在光敏元件的探测面上形成第一像;距离所述触摸面一定距离处入射的干扰光源经过所述光学元件在光敏元件的探测面上形成第二像;所述第一像的清晰度大于第二像的清晰度。
  • 光学触摸屏显示装置
  • [发明专利]光调制器像素单元及其制作方法-CN201110298381.2有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-09-29 - 2012-02-22 - G02B26/00
  • 本发明实施例提供MEMS光调制器像素单元及其制作方法,所述光调制器像素单元包括:位于衬底上的层间介质层,位于层间介质层内的空腔;位于衬底上的层间介质层内、且与所述空腔的位置对应的底部电极、可动电极和顶部电极;滤光片,位于所述顶部电极上,用于将白光转换为三基色光线;所述可动电极具有光线反射面,所述顶部电极为半透光的金属薄膜,利用所述可动电极在空腔内的运动,使得所述光调制器能够对将滤光片转换后的三基色光线进行调制。本发明实施例解决了现有的光调制器像素单元普遍需要利用单色光源发出的单色光线作为入射光线的问题,降低了光调制器像素单元的成本。
  • 调制器像素单元及其制作方法
  • [发明专利]数字微镜器件及其形成方法-CN201110296196.X有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-09-30 - 2012-02-22 - G02B26/08
  • 一种数字微镜器件及其形成方法,数字微镜器件包括:基底,其上形成有微镜器件控制电路结构;数字微镜阵列,数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板、铰链;两个第二极板位于基底上,与微镜器件控制电路结构电连接;两个第一极板位于两个第二极板上方,且分别与两个第二极板相对;铰链位于第二极板上方;反光镜位于第一极板上方,且反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接,反光镜通过第二插栓与铰链电连接;在第一极板或第二极板之间具有电压差时,反光镜绕铰链偏转;还包括:两个卡口,铰链两端分别设于两个卡口内且处于悬浮状态。本技术方案结构简单,铰链的两端悬浮于卡口内,可以提高数字微镜器件的灵敏度。
  • 数字器件及其形成方法
  • [发明专利]数字微镜器件及其形成方法-CN201110297787.9有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-09-30 - 2012-02-22 - G02B26/08
  • 一种数字微镜器件及其形成方法,数字微镜器件包括:基底,基底上形成有微镜器件控制电路结构;数字微镜阵列,数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板;相对设置的两个卡口,卡口固定且与微镜器件控制电路结构电连接,反光镜的两相对侧边可活动设置在卡口内,在反光镜与卡口接触时,卡口与反光镜电连接;在其中一个第一极板和对应的第二极板之间具有电压差时,反光镜在第一极板的带动下向对应的第二极板方向偏转。本技术方案结构简单,反射镜的两相对侧边可活动置于卡口内,这样可以提高数字微镜器件的灵敏度。
  • 数字器件及其形成方法
  • [实用新型]显示装置、投影装置、近眼显示装置-CN201120262789.X有效
  • 唐德明;毛剑宏 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-07-22 - 2012-02-22 - G02B26/08
  • 一种显示装置、投影装置、近眼显示装置,显示装置包括:衬底,位于衬底上的半导体开关阵列;位于半导体开关阵列上的平面导光板,平面导光板包括透明介质层、位于透明介质层内的光路偏转微器件以及电连接器,电连接器与半导体开关阵列电连接;位于平面导光板上的透射光阀阵列,透射光阀阵列具有多个呈阵列排布的透射光阀,电连接器还与透射光阀阵列电连接,半导体开关阵列通过电连接器控制透射光阀的开启、关闭;光路偏转微器件将从平面导光板的侧面射入平面导光板内的光线偏转后射入透射光阀阵列,经透射光阀阵列后出射。可以在有限的面积上实现高分辨率的光调制和显示,是一种新型透射式微显示芯片。
  • 显示装置投影装置
  • [实用新型]微机电传感器-CN201120160329.6有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-05-18 - 2012-02-22 - H04R19/04
  • 一种微机电传感器,所述微机电传感器包括:第一电极板,振膜,所述第一电极板和所述振膜相对设置,两者之间为空腔,所述振膜的一侧暴露于外界空气;还包括:第二电极板,设置于所述第一电极板和所述振膜之间,所述振膜与所述第二电极板固定电连接。由于第一电极板和第二电极板之间的距离相对较近,对电容的变化也就相对敏感,因此可以提高信噪比,也就是说,对于微机电麦克风可以提高声音信号的信噪比,对应微机电压力传感器可以提高压力信号的信噪比。
  • 微机传感器
  • [发明专利]数字微镜器件及其形成方法-CN201110296213.X有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-09-30 - 2012-02-15 - G02B26/08
  • 一种数字微镜器件及其形成方法,数字微镜器件包括:基底,其上形成有微镜器件控制电路结构;数字微镜阵列,数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板、铰链;两个第二极板位于基底上,与微镜器件控制电路结构电连接;两个第一极板位于两个第二极板上方,且分别与两个第二极板相对;铰链位于第二极板上方;反光镜位于第一极板上方,且反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接,反光镜通过第二插栓与铰链电连接,铰链与微镜器件控制电路结构电连接;在第一极板和第二极板之间具有电压差时,反光镜绕铰链偏转。本发明结构简单,可以提高铰链的可靠性。
  • 数字器件及其形成方法
  • [发明专利]微机电麦克风及其制造方法-CN201010244213.0有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 江苏丽恒电子有限公司
  • 2010-07-30 - 2012-02-08 - H04R19/04
  • 本发明提供了微机电麦克风及其制作方法,所述微机电麦克风包括:形成于半导体基片一侧表面,暴露于外界环境中,能够感应由声波产生的压力而自由振动的振膜;位于振膜底部,且具有导气孔的电极板;固定所述振膜以及电极板的隔离结构;位于振膜以及电极板之间的气隙空腔以及位于电极板底部半导体基片内的背腔;所述气隙空腔与背腔通过电极板的导气孔连通;还包括形成于所述半导体基片同侧表面,且呈开放式的第二空腔;所述背腔与第二空腔通过形成于半导体基片内的导气槽连通。本发明所述微机电麦克风形成于半导体基片一侧表面,制造方法与CMOS工艺相兼容,易于器件微缩并集成至半导体芯片中。
  • 微机麦克风及其制造方法
  • [发明专利]熔丝结构以及形成熔丝结构的方法-CN201010244197.5有效
  • 毛剑宏 - 江苏丽恒电子有限公司
  • 2010-07-30 - 2012-02-08 - H01L21/768
  • 一种熔丝结构以及形成熔丝结构的方法,该方法包括:提供半导体衬底,在所述半导体衬底上形成有电路结构,在所述电路结构上形成有金属互连层;在所述金属互连层上形成熔丝以及熔丝与所述金属互连层的互连结构,所述熔丝的材料选自多晶锗硅、多晶锗、非晶硅、非晶锗或者非晶锗硅。由于多晶锗硅、多晶锗、非晶硅、非晶锗、非晶锗硅的电阻值高,在熔断多晶锗硅熔丝、多晶锗熔丝、非晶硅熔丝、非晶锗熔丝或者非晶锗硅熔丝时,所需熔断电流小,不易破坏相关的电路结构,该方法形成的熔丝结构堆叠在金属互连层上,不会占用芯片面积,因此节省芯片面积,降低制造成本;而且其形成工艺简单。
  • 结构以及形成方法
  • [发明专利]光调制器像素单元及其制作方法-CN201010230027.1有效
  • 毛剑宏;唐德明;韩凤芹 - 江苏丽恒电子有限公司
  • 2010-07-15 - 2012-02-01 - G02B26/00
  • 本发明提供了一种光调制器像素单元,包括底部电极、可动电极、顶部电极,在控制电路控制下,所述可动电极的位置会发生偏移,分别位于第一位置、第二位置和第三位置,当可动电极位于第一位置时,入射至光调制器像素单元的第一光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉;可动电极位于第二位置和第三位置分别对第二光线和第三光线进行调制原理与可动电极位于第一位置对第一光线的调制原理相同。所述第一光线、第二光线、第三光线分别为三种特定波长范围的单色光。本发明的光调制器像素单元能够分时控制三种特定波长的单色光,实现色彩控制和灰度控制,适用于投影显示以及平板系统。
  • 调制器像素单元及其制作方法
  • [发明专利]MEMS器件的形成方法-CN201110303975.8有效
  • 毛剑宏;唐德明 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2011-09-30 - 2012-01-25 - B81C1/00
  • 一种MEMS器件的形成方法,包括:提供基底,所述基底具有固定部件;在所述基底上形成图形化的非晶碳层;在所述图形化的非晶碳层上形成第一膜层,所述第一膜层的材料为锗硅、锗或者硅;图形化所述第一膜层形成可动部件;去除所述图形化的非晶碳层。非晶碳层容易去除而且不会污染腔室;另外,用非晶碳层作为牺牲层,工艺兼容性好;并且,材料为锗硅、锗或硅的第一膜层与非晶碳层的粘附性很好,不会出现第一膜层与非晶碳层之间滑动的现象。
  • mems器件形成方法

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