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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种爆炸箔及其批量化制备方法-CN202310046859.5在审
发明人： 武绍宽;戚云娟;段亮;潘婷;吕小俊 -专利权人：陕西电器研究所
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C14/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种爆炸箔及其批量化制备方法，属于点火起爆装置和微电子机械技术领域。所述爆炸箔为由下向上依次由Ti膜、Al膜、Ni膜、Cu膜和Au膜组成的复合膜；所述Ti膜的厚度为5～200nm，Al膜的厚度为100～300nm、Ni膜的厚度为100～300nm、Cu膜的厚度为1000～5000nm，Au膜的厚度为5～100nm；所述爆炸箔以蓝宝石晶圆为衬底，采用匀胶光刻和磁控溅射镀膜工艺在晶圆上由下向上依次沉积Ti、Al、Ni、Cu、Au膜，最后通过激光切割划片并在衬底上加工通孔，得到沉积有所述爆炸箔的单个晶圆；全过程采用半导体制备工艺，可批量化生产，提高生产效率，降低成本并提高爆炸箔的精度。
一种爆炸及其批量制备方法

[发明专利]一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器-CN202011454522.0有效
发明人：金丽;罗戴钟;武绍宽;张瑞;辛晨光;李孟委 -专利权人：中北大学;南通高等研究院
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H02K35/02 文献下载
摘要：本发明属于能量收集技术领域，具体涉及一种基于电磁感应原理的MEMS三轴能量收集器，包括上层结构和下层结构，所述上层结构设置在下层结构的上方，所述上层结构包括支撑框架、面内振动结构、离面振动结构，所述面内振动结构、离面振动结构设置在支撑框架上，所述下层结构包括磁体基座、第一永磁体、第二永磁体，所述第一永磁体、第二永磁体均镶嵌在磁体基座内。本发明提出的三轴能量收集器利用电磁感应原理收集环境中的振动能，并且环境适应性极强，能为各种无线传感网络提供必要的能源，具有结构简单、加工方便、易集成、效率高、寿命长等优点。本发明用于能量的收集。
一种基于电磁感应原理 mems 能量收集

[实用新型]一种呈线性输出的薄膜NTC热敏电阻器-CN202222750943.9有效
发明人：戚云娟;武绍宽;潘婷;张方;余坤峰;薛小婷;李莹;王安邦 -专利权人：陕西电器研究所
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01C7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种呈线性输出的薄膜NTC热敏电阻器，属于热敏电阻技术领域。所述热敏电阻器包括衬底、绝缘膜、NTC薄膜以及叉指电极；其中，绝缘膜位于衬底上，NTC薄膜位于绝缘膜上，叉指电极位于NTC薄膜上且均匀分布，叉指电极的两个电极与外接导线连接。该热敏电阻器采用叉指电极，能够使电阻值随温度呈线性变化，便于电路设计，降低对电路需求，无需电路补偿，而且输出信号抗干扰能力强；另外，叉指电极为多电极结构，可以根据使用需求选择叉指电极中的任意两个电极连接，对应不同电阻值和线性方程，方便使用。
一种线性输出薄膜 ntc 热敏电阻器

[发明专利]一种贴片式薄膜NTC热敏电阻器-CN202211278862.1在审
发明人： 武绍宽;高波;邓勇生;潘婷;孙丞;薛小婷;李莹 -专利权人：陕西电器研究所
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01C7/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种贴片式薄膜NTC热敏电阻器，属于热敏电阻技术领域。所示热敏电阻器包括衬底、绝缘膜、NTC薄膜、上电极、铜柱、下电极以及保护膜，绝缘膜位于衬底的上表面，NTC薄膜位于绝缘膜上，上电极位于NTC薄膜以及绝缘膜上且均匀分布，保护膜位于上电极、NTC薄膜以及绝缘膜裸露的表面上，下电极位于衬底的下表面，铜柱穿过衬底连接上电极与下电极。该热敏电阻器采用铜柱连接上、下两个电极，在贴片时就可以使NTC薄膜朝上，与热源更接近，而且能够大幅度缩短电互连的长度，解决信号延迟的问题，使测试更灵敏、方便。
一种贴片式薄膜 ntc 热敏电阻器

[发明专利]一种MEMS多频振动的电磁能量收集器-CN202011454579.0在审
发明人：金丽;武绍宽;辛晨光;李孟委 -专利权人：中北大学南通智能光机电研究院;中北大学
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明属于能量收集技术领域，具体涉及一种MEMS多频振动的电磁能量收集器，包括上层部分和下层部分，上层部分包括能量收集器结构、感应线圈，下层部分包括支撑框架、永磁体，支撑框架的中心处设置有凹槽，永磁体粘合在支撑框架凹槽的中央位置，永磁体的上方设置有能量收集器结构，能量收集器结构上设置有感应线圈。本发明提出的能量收集器利用回折梁结构工作频带宽的特点，极大地提高能量收集器的带宽，并且不需要外加激励，具有结构简单、灵敏度高、可靠性好，易批量化生产、制作成本低，功率输出高等优点。本发明用于能量的收集。
一种 mems 振动电磁能量收集

[实用新型]一种MEMS能量收集器-CN201922234997.8有效
发明人：李孟委;武绍宽;张瑞;金丽 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本实用新型与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框吻合连接，在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体，在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线，检测组合梁由连接块、活动梁组成，此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便，整体结构合理简单，无需驱动，易小型化，是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。
一种 mems 能量收集

[实用新型]一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置-CN201922235447.8有效
发明人：金丽;武绍宽;李孟委;张瑞 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由支撑框架、质量块、活动梁、检测梁、连接块、信号线组成，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由活动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在驱动质量块、检测质量块上设置压电材料结构，利用其逆压电效应驱动，正压电效应检测，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。
一种压电驱动检测式微陀螺装置

[发明专利]一种MEMS能量收集器-CN201911281783.4在审
发明人：李孟委;武绍宽;张瑞;金丽 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本发明与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框吻合连接，在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体，在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线，检测组合梁由连接块、活动梁组成，此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便，整体结构合理简单，无需驱动，易小型化，是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。
一种 mems 能量收集

[发明专利]一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置-CN201911282716.4在审
发明人：金丽;武绍宽;李孟委;张瑞 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由支撑框架、质量块、活动梁、检测梁、连接块、信号线组成，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由活动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在驱动质量块、检测质量块上设置压电材料结构，利用其逆压电效应驱动，正压电效应检测，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。
一种压电驱动检测式微陀螺装置

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