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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种复合涂层制备方法-CN202210568760.7在审
发明人：郭光宇;陈立 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种复合涂层制备方法，包括步骤如下：S1.对刀具表层进行活化处理；S2.采用多弧离子镀与溅射法电源在基底表面形成中间过渡层；S3.取第一多元合金靶材、第二多元合金靶材分别通过多弧离子镀、溅射法电源技术在中间过渡层表面形成涂层；所述第一多元合金靶材、第二多元合金靶材为不同合金靶材。本发明基于物理气相沉积技术，将溅射技术与多弧离子镀技术集合使用，开发出高硬度、极佳耐磨性与良好耐高温氧化能力之多元氮化物复合涂层。
一种复合涂层制备方法

[实用新型]一种带有护罩结构的物理气相沉积设备-CN202121577123.3有效
发明人：朱卫刚 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有护罩结构的物理气相沉积设备，包括装置本体、第一滑块、支脚和防护门，装置本体的底部设置有支脚，且支脚在装置本体的底部设置有四个，装置本体的前部设置有防护门，防护门外部的一侧设置有控制面板，装置本体外部的右侧设置有真空泵，且真空泵的一端延伸到装置本体的内部，装置本体内部靠近防护门的一侧设置有伸缩杆，且伸缩杆的一侧设置有防护罩。本实用新型在装置上设置有工作台，把晶圆放到工作台中进行固定，通过工作台在装置中前后移动，通过启动高频线圈进行气相沉积，通过高频线圈的移动，使高频线圈移动到工作台的顶部进行镀膜，实现了镀膜均匀的目的。
一种带有护罩结构物理沉积设备

[实用新型]一种物理气相沉积样品加热装置-CN202121577158.7有效
发明人：朱卫刚 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种物理气相沉积样品加热装置，包括装置罩体、内屏蔽罩、碳化硅加热板、载样架和夹片，装置罩体的内部固定有内屏蔽罩，且内屏蔽罩的底部固定有支撑座，并且支撑座的顶端固定有碳化硅加热板，装置罩体的侧壁内设置有隔热腔，且隔热腔的内部填充有隔热层，碳化硅加热板的外壁上套装有载样架，载样架两侧的外壁上皆设置有夹杆，且夹杆的顶端固定有夹片，并且夹杆的底端通过转轴与载样架转动连接，装置罩体的另一端安装有控制器，且控制器的表面安装有开关。本实用新型不仅便于将样品固定在装置内部，隔热效果好，提高了加热的效率，而且提高了样品取放时的便捷性。
一种物理沉积样品加热装置

[实用新型]一种采用电磁加热的物理气相沉积设备-CN202121577407.2有效
发明人：朱卫刚 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种采用电磁加热的物理气相沉积设备，包括沉积箱、密封盖、置物板、控制面板和电磁加热蒸镀器，沉积箱底部的中心位置处安装有电磁加热蒸镀器，电磁加热蒸镀器上方的沉积箱内部设有格状通气框，格状通气框的底端通过导管与电磁加热蒸镀器的顶端相连通，格状通气框的顶端设有等间距的均布管，格状通气框上方的沉积箱内部设有两组L型座体，L型座体之间的沉积箱内部安装有置物板，沉积箱的顶端安装有密封盖，沉积箱顶部的两外侧壁上皆设有传动室。本实用新型不仅提高了气相沉积设备使用时的镀膜效果，提高了气相沉积设备使用时的便捷性，而且利于提高气相沉积作业的效率。
一种采用电磁加热物理沉积设备

[实用新型]一种用于物理气相沉积的腔室结构-CN202121577748.X有效
发明人：朱卫刚 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了种用于物理气相沉积的腔室结构，包括工作箱、移动装置、加热釜和真空泵，工作箱内部底端的两侧固定设置有移动装置，移动装置内部的一侧固定安装有旋转电机，旋转电机的一侧固定连接有螺旋轴，螺旋轴外部的一侧活动连接有第一活动块。本实用新型通过在工作箱的顶端设置有第一箱门，可以打开对基片进行放置，同时在工作箱内部顶端的两侧固定设置有空心套筒，通过拉动空心套筒一侧活动连接的固定夹，可以使固定夹通过第三活动块挤压空心套筒内部的弹簧，并使两侧的固定夹进行距离调整，同时将基片放置在固定夹上，由于弹簧被挤压的反作用力，可以带动第三活动块推动固定夹，使固定夹完成对基片的夹持。
一种用于物理沉积结构

[实用新型]一种物理气相沉积用多向转动装置-CN202121580017.0有效
发明人：朱卫刚 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种物理气相沉积用多向转动装置，包括框架、固定压板、连接转盘和减震转向机构，框架正面的中间位置连接设置有透明观察窗口，透明观察窗口的上方安装设置有控制面板，框架内部的一侧连接设置有加工件，框架外部的另一侧连接设置有电机，框架的内部连接设置有转向筒，转向筒的内部以及加工件一端的顶部和底部皆连接设置有固定压板。本实用新型通过在将加工件放置在转向筒内部以及两个固定压板之间位置时，利用控制面板控制启动电动伸缩杆，配合连接滑板以及第一滑槽的作用可对两个固定压板之间的距离进行调节，便于对加工件一端进行固定夹持工作，可避免加工时出现加工件移动以及掉落的问题。
一种物理沉积多向转动装置

[实用新型]一种物理气相沉积的升降机构-CN202121582736.6有效
发明人：朱卫刚 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种物理气相沉积的升降机构，包括气相沉积箱、伺服电机、转轴、安全门和靶材料，气相沉积箱的外壁上安装有安全门，安全门一侧的气相沉积箱内部安装有靶材料，靶材料下方的气相沉积箱内部安装有两组电磁场，电磁场下方的气相沉积箱内部设置有底座，且底座上方的气相沉积箱内部设有升降板，升降板的内部安装有上限位架，且上限位架下方的底座内部设有下限位架，下限位架一侧的底座顶端安装有主摆臂，且主摆臂的顶端延伸至上限位架的内部。本实用新型不仅实现了物理气相沉积的升降机构稳定的驱动，提高了升降机构运行时的稳定性，而且方便了物料进行快速的装夹固定。
一种物理沉积升降机构

[实用新型]一种低温物理气相沉积装置-CN202121582737.0有效
发明人：朱卫刚 -专利权人： 株洲科汇钛力新材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低温物理气相沉积装置，包括底座、活动块、蒸镀箱、真空罩和空心块，底座顶端的两侧皆固定连接有立板，立板的顶端固定连接有顶板，立板底端一侧的中间位置活动连接有螺旋杆，螺旋杆的一侧安装有电机，活动块顶端的中间位置设置有放置台，活动块的顶端活动连接有蒸镀箱，顶板顶端的两侧皆固定连接有空心块，真空罩外部一侧的中间位置安装有控制面板。本实用新型通过在螺旋杆的外部活动连接的活动块，螺旋杆的转动可以使得活动块带动蒸镀箱在螺旋杆上移动，从而使蒸镀箱内部蒸发物气体可以任意调节工作位置，使得可以均匀的进行蒸发物沉积，且可以进行局部位置的蒸镀作业。
一种低温物理沉积装置

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