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[实用新型]板状试样的液氮环境拉伸试验装置-CN202321052119.4有效
发明人：王玉辉;柳恩泽;熊建超;赵腾祥;杨延皓;张程皓 -专利权人：燕山大学
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01N3/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种板状试样的液氮环境拉伸试验装置，包括低温环境箱、上拉伸夹具和下拉伸夹具，关键在于：在所述上拉伸夹具和所述下拉伸夹具的夹持端均设有与试样端部的形状匹配并呈燕尾形的夹持槽，在所述上拉伸夹具的两侧分别设有限定所述试样在夹持槽内位置的限位组件以及将试样定位在所述限位组件的限位端的定位组件。本实用新型的有益效果是：1、通过设计限位组件和定位组件，可以将不同厚度的试样稳定的限定在夹持槽的指定位置；2、将待拉伸试样及夹具相连后，倒入液氮可使拉伸试样迅速降低至液氮温度（‑196℃），相比于常规环境箱，大大降低了液氮的使用量，可降低成本、高效率的完成液氮环境下的拉伸试验。
试样液氮环境拉伸试验装置

[发明专利]一种芯片用高纯钽溅射性能测定方法-CN202211449268.4在审
发明人：王玉辉;于凯;孔玲;柳恩泽 -专利权人：燕山大学
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01N23/2206 文献下载
摘要：本发明提供了一种芯片用高纯钽溅射性能测定方法，包括：获取待分析钽靶样本；在钽靶样本上打若干个标记点；获取钽靶样本的SEM像；根据标记点确定位置，在位置进行取样，得到样品，去除样品表面应力层；将样品放入扫描电镜中，根据标记点找到SEM像中的区域，扫描EBSD图并做出相应的反极图；根据EBSD图及反极图确定样品的微观结构；基于微观结构，结合微观结构对溅射速度的影响分析结果确定溅射性能，其中，微观结构对溅射速度的影响分析结果，采用一块溅射后的钽靶，应用SEM、EBSD等技术分析晶粒尺寸和晶向与溅射速率之间的关系得到。本发明能够得到更准确、更精细的溅射性能测定结果，有利于提高靶材性能，提高芯片制造加工工艺。
一种芯片高纯溅射性能测定方法