专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]碳化硅晶体生长装置-CN202210336011.1有效
  • 柯金煌;蔡文必;袁文博 - 福建北电新材料科技有限公司
  • 2022-03-31 - 2023-09-26 - C30B23/00
  • 本申请的实施例提供了一种碳化硅晶体生长装置,涉及材料制备领域。本申请提供的碳化硅晶体生长装置包括坩埚和设置于坩埚内的支架组件以及第一滤网。支架组件包括支撑座和设置于支撑座的支撑板,坩埚腔体中部具有第一通道,第一通道与支架组件通过第一滤网隔开。在使用碳化硅晶体生长装置时,可以将碳化硅原料放置在坩埚底部以及支撑板上,令原料不会堆积过厚,相对分散,使得各个位置的原料能够良好地受热,提高原料的利用率。并且,第一通道形成于坩埚的中部,在第一滤网的阻拦作用下,仅供支撑板上的原料气化后进入。第一通道处于坩埚中部,热量相对来说难以到达,减少固态原料在此处的分布,也可以提高原料的利用率。
  • 碳化硅晶体生长装置

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