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[发明专利]厚度测量装置-CN202280008217.X在审
发明人：曹瑞晛;林大铁 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：厚度测量装置可以包括：载物台模块；上部光学模块，其在载物台模块上方并且在Z轴方向上与载物台模块间隔开；载物台，其在载物台模块下方且在Z轴方向上与载物台模块间隔开，并且包括下部光学模块，其中载物台模块具有比上部光学模块和下部光学模块更大的面积；用于使载物台沿着Y轴移动的Y轴移动机构；测量样本放置部，其设置在载物台上且在其上放置测量样本；样本安装部，其上选择性地安装参考样本或校正样本中的一者；以及样本安装部移动机构，其设置在载物台上并使样本安装部沿着Z轴移动，其中，参考样本可以是用作用于厚度测量的参考的样本，并且校正样本可以是形成有至少一个标记部的样本。
厚度测量装置

[发明专利]薄膜检查方法及其装置-CN02157513.4无效
发明人：郑富溶;林大铁;金敬玖 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2002-10-18 - 公布日： 2003-04-30 - 主分类号： G01N21/86 文献下载
摘要：本发明提供薄膜检查方法及其装置，该装置通过使用能够调节从不同角度入射的光的波长和强度的两个以上光源调节干涉强度，即使多种薄膜混合也能够设定最合适的检查条件而得到有充分可靠性的检查结果。其解决手段是，利用有以下构成的光学系统放置具有不同折射率和厚度的模型的平板；使光照射到所述模型上并可改变光的照射角的照明部；位于所述照明部和所述平板之间并调节入射到所述模型上的光的入射光调节部；识别由所述模型反射的反射光的传感器部；位于所述平板和所述传感器部之间并调节由所述传感器部识别的所述模型的反射光的反射光调节部和控制所述照明部及传感器部移动的控制部。
薄膜检查方法及其装置