专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]锡氧化物薄膜及其制备方法、太阳能电池及其制备方法-CN202110790590.2有效
  • 林京洋;吴文政;何颜玲 - 南方科技大学
  • 2021-07-13 - 2023-09-05 - H10K30/82
  • 本发明涉及一种锡氧化物薄膜及其制备方法、太阳能电池及其制备方法。上述锡氧化物薄膜的制备方法包括如下步骤:将衬底置于原子层气相沉积反应室内,进行如下步骤:步骤A:先通入氧源0.005s~0.015s,再通入保护气体15s~30s,然后抽真空15s~30s;步骤B:先通入锡源0.65s~1s,再通入保护气体20s~30s,然后抽真空20s~30s;以步骤A和步骤B为一个周期,重复15次~200次,得到锡氧化物薄膜。上述锡氧化物薄膜的制备方法能够得到兼具适宜的功函数、导电性好和透过率高的锡氧化物薄膜,能够用于ITO电极和电子传输层之间,提高太阳能电池的光电转换效率。
  • 氧化物薄膜及其制备方法太阳能电池

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