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[发明专利]一种适用于铜钴互连结构的化学机械抛光液及其制备方法-CN202211385376.X在审
发明人：杭弢;黄钰林;常鹏飞 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于铜钴互连结构的化学机械抛光液及其制备方法，其中，所述抛光液按照质量分数计，包括研磨颗粒0.1‑10％，氧化剂0.01‑3％，络合剂0.1‑5％和抑制剂0.01‑1.0％，余量为去离子水；其中抑制剂为松香酸及其盐，优选歧化松香酸及其盐，有效抑制铜和钴的静态腐蚀，所述抛光液的pH为8‑11。本发明抛光液中添加了松香酸及其盐的抑制剂，在保持铜较高抛光速率的同时能抑制铜的晶态腐蚀，有效提高抛光后的表面质量。同时，该抛光液对钴的静态腐蚀和去除速率都极低，可以满足互连结构第一步抛光过程中高选择比的要求。
一种适用于互连结构化学机械抛光及其制备方法

[发明专利]金属互连线表面电化学接枝低介电常数有机绝缘层的方法-CN202210814846.3在审
发明人：黄依琴;曹亮;陈丽萍;李明;杭弢 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C25D9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属互连线表面电化学接枝低介电常数有机绝缘层的方法，即在大气气氛下采用重氮盐还原技术在金属互连线表面电化学接枝low‑k有机绝缘层。用此方法接枝出来的绝缘层组成为重氮盐和单体的有机聚合物，其厚度均匀可控，介电常数很低，可防止金属表面被氧化并可作为low‑k层间绝缘层从而减缓互连层间的RC延迟。此方法完全可以在大气和室温下进行，不需要额外的惰性气体进行保护；并且可接枝任何含有双键或三键等不饱和键的可溶性单体；具有适用范围广，反应速度快，装置简易，成本低等优点，适用于集成电路的制造和生产。
金属互连表面电化学接枝介电常数有机绝缘方法

[发明专利]一种半导体表面制备自交联有机聚合物的方法-CN201910087448.4有效
发明人：刘阳;熊立双;董梦雅;杭弢;吴蕴雯;高立明;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/312 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体表面制备自交联有机聚合物的方法，该方法包括：半导体基底表面接枝；水解反应；退火处理。该方法采用重氮盐表面接枝技术，将含有氰基的单体接枝到半导体表面，然后通过水解反应，氰基水解为酰胺基与羧基，最后退火过程中羧基与酰胺基脱水缩合，基底表面原位制备具有三维空间交联结构的薄膜，改善了传统接枝法获得的聚合物膜层多为“梳形”或“线形”的结构，提升了现有有机薄膜二维结构的性能。
一种半导体表面制备交联有机聚合物方法

[发明专利]一种表面热氧化调控粗糙铜表面润湿性能的方法-CN201910954894.0有效
发明人：王淑慧;吴蕴雯;杭弢;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-10-09 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C23C8/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面热氧化调控粗糙铜表面润湿性能的方法，属于表面技术领域。该方法包括：对铜片表面进行电解抛光以及酸洗处理，利用电化学沉积技术在铜片表面形成粗糙结构；对粗糙结构铜表面进行清洗处理；对清洁后的铜片进行加热处理，再将铜片冷却至室温，通过控制温度以及气体氛围可以实现表面润湿性的调控。其中的超亲水状态具有0°的接触角，超疏水状态可达到超过160°的接触角。该方法具有操作简便，成本低等优势，可广泛应用于特殊润湿性材料、智能传感器等领域。
一种表面氧化调控粗糙润湿性能方法

[发明专利]电化学沉积制备具有高密度纳米孪晶的铜针锥结构的方法-CN202010147526.8有效
发明人：董梦雅;李明;杭弢 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C25D5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学沉积制备具有高密度纳米孪晶的铜针锥结构的方法，涉及微纳米和电化学交叉技术领域；将导电性基材作为阴极置于含有络合剂和添加剂的硫酸盐体系镀铜液中，施加电流，使电结晶按垂直于表面的方向纵向生长，便可在所述导电性基材表面形成所述高密度纳米孪晶铜针锥结构。本发明提供了一种工艺简单、成本低廉，适于工业化批量生产的含高密度纳米孪晶铜针锥结构的制备方法；此外，纳米孪晶铜具有优良的力学、电学性能，而具有三维针锥结构的纳米孪晶铜具有更广阔的的应用空间，可以为后续应用提供高强度、高抗电迁移性能的导电及支撑结构；既可以作为材料，又可以组成器件，从而为实现工业化生产和广泛应用的目的提供了可能。
电化学沉积制备具有高密度纳米铜针锥结构方法

[发明专利]一种半导体表面制备共聚交联有机聚合物的方法-CN201910088159.6有效
发明人：刘阳;熊立双;董梦雅;杭弢;吴蕴雯;高立明;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C08F292/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体表面制备共聚有机聚合物薄膜的方法，该方法包括：A1：半导体基底表面共聚接枝：将所述半导体基片放置于含氰基乙烯基类单体和羧基乙烯基类单体的接枝溶液进行接枝反应，接枝后，大多数氰基自发水解为酰胺基；A2：退火处理，对所述步骤A1所得样品进行退火处理，保温温度为150～300℃，保温时间为30～180min，得到含有酰亚胺结构的聚合物薄膜。本发明在半导体基底表面原位制备具有三维空间交联结构的薄膜，改善了传统接枝法获得的聚合物膜层多为“梳形”或“线形”的结构，提升了现有有机薄膜二维结构的性能。
一种半导体表面制备共聚交联有机聚合物方法

[发明专利]一种聚合物薄膜表面生长纳米金属钯颗粒的方法-CN201910087483.6有效
发明人：熊立双;刘阳;杭弢;吴蕴雯;高立明;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C18/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚合物薄膜表面生长纳米金属钯颗粒的方法，该方法包括：A1：聚合物表面预处理，将聚合物薄膜放置于预处理溶液中，在20～25℃下静置10～90min；A2：聚合物表面生长纳米钯颗粒，将所述步骤A1所得产物放置于纳米金属钯颗粒生长溶液中，在50～80℃下静置30～60min。本发明只需要两步简单的操作即可在聚合物薄膜表面生长纳米金属钯颗粒，而且也不要复杂、精密设备，在大气环境下即可操作，因此本发明有效地节约了成本。
一种聚合物薄膜表面生长纳米金属颗粒方法

[发明专利]一种聚合物薄膜表面化学镀的方法-CN201910088158.1有效
发明人：熊立双;刘阳;杭弢;吴蕴雯;高立明;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： C23C18/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚合物薄膜表面化学镀的方法，包括：A1：将聚合物薄膜放置于功能化溶液中，在20～25℃温度下静置接枝10～120min，使得所述聚合物薄膜表面接枝吡啶基团；A2：将所述步骤A1所得样品放置于活化溶液中，在20～25℃温度条件下持续搅拌5～30min；A3：将所述步骤A2所得样品放置于化学镀液中，调节至预设温度，持续搅拌15～45min。本发明将聚合物表面接枝了吡啶基团，吡啶基团能为活性离子提供化学吸附位点，吡啶基团对活化离子或原子具有较强的吸附作用，从而使聚合物薄膜在活化后具有催化活性的表面，进而使聚合物薄膜表面顺利镀上金属层。
一种聚合物薄膜表面化学方法

[发明专利]一种聚合物薄膜表面化学镀的方法-CN201910087446.5有效
发明人：熊立双;刘阳;杭弢;吴蕴雯;高立明;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： C23C18/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚合物薄膜表面化学镀的方法，该方法包括:首先将聚合物薄膜表面功能化，使得所述聚合物薄膜表面接枝硝基苯基团；然后将硝基苯基团还原为苯胺基团；再将还原为苯胺基团的聚合物薄膜放置于含有氢氟酸的活化溶液中进行活化，得到具有催化活性的表面；最后进行化学镀操作。本发明将聚合物表面接枝了硝基苯基团，并将其还原成苯胺，苯胺基团对活化离子或原子具有较强的吸附作用，从而使聚合物薄膜在活化后得到具有催化活性的表面，从而使聚合物薄膜表面顺利镀上金属层。本发明通过设计表面功能化步骤解决了聚合物表面能低、不能成为催化表面的问题，并且避免表面粗化、表面等离子体处理带来的负面影响。
一种聚合物薄膜表面化学方法

[发明专利]一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法-CN201910610693.9有效
发明人：杭弢;金泽滨;李明;胡安民;凌惠琴 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C23C18/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法；该方法包括：化学浴沉积前驱液配制；氧化锌薄膜沉积；反应温度控制。该方法采用锌盐和六亚甲基四胺的混合溶液为化学浴沉积前驱液，在常压、恒温水浴条件下利用锌离子的水解反应在锌上沉积氧化锌薄膜，通过调节化学浴温度控制水解反应的速率，从而调控氧化锌的形貌。与现有技术相比，本发明具备步骤简单，成本较低，可调控氧化锌薄膜的形貌等优势。
一种金属沉积氧化锌薄膜方法

[发明专利]一种改善铝基底化学镀NiP镀层平整性的前处理方法-CN202010267177.3在审
发明人：杭弢;周天燊;甘伟星;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-04-07 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： C23C18/18 文献下载
摘要：本发明属于电子封装材料技术领域，公开了一种改善铝基底化学镀NiP镀层平整性的前处理方法，先对铝基底表面进行除油和酸洗等预处理，再浸入含Cu2+的酸性溶液中，使其表面沉积一层非常薄的铜，成为浸锌时的活性点，然后进行二次浸锌，在基底表面形成一层均匀细小的锌层，从而在化学镀后得到平整度显著提高的NiP镀层，具有工艺简单、成本低廉、反应条件温和等优点。
一种改善基底化学 nip 镀层平整处理方法

[发明专利]一种实现高铁用护环精确控形的夹具及包含有夹具的装置及护环的热处理方法-CN201610401529.3有效
发明人：周志云;宋克兴;杭弢;陈小红;陈阳;孟高军 -专利权人：江苏迅达电磁线有限公司
申请日： 2016-06-11 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： C21D9/40 文献下载
摘要：本发明涉及一种实现高铁用护环精确控形的夹具及包含有夹具的装置及护环的热处理方法。所述夹具包括套筒，所述套筒内开设有供芯轴穿入并可使芯轴在套筒内作轴向运动的型腔；所述套筒外端面套设有护环；控形装置的夹具设置在热处理炉内，热处理炉侧面设有一端连接在芯轴上的拉绳，拉绳另一端连接应力加载装置；本发明的处理方法包括试样装夹、施加应力场、时效热处理、护环保温阶段、卸载取样阶段。本发明为在传统热处理的基础上实现了护环应力场的施加，其技术优点主要表现在通过自行设计的工装夹具，可有效改善/消除护环等环形件制备加工过程中的残余应力，对防止护环后续使用过程中发生变形具有明显的抑制作用。
一种实现高铁用护环精确夹具含有装置热处理方法

[发明专利]超疏水纳米银结构拉曼增强基底材料及其制备方法-CN201410255626.7有效
发明人：杭弢;吴蕴雯;李明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2014-06-10 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： C23C18/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种超疏水纳米银结构拉曼增强基底材料及其制备方法；制备时，将基材依次进行表面除油和酸洗处理；置于化学镀银沉积液中进行化学沉积，所述化学沉积的时间为2～30min，温度为20～80℃；将沉积得到的纳米银基底放置1～2月，即得所述超疏水纳米银结构拉曼增强基底材料。本发明的方法系一步法化学沉积，简单易行，且无需任何表面修饰即可获得高接触角滞后的超疏水表面；制备得到的基底有超灵敏的拉曼增强效果，以罗丹明6G(R6G)作为探针分子，探测极限低至10‑12mol/L；同时，该基底有很好的表面结构稳定性，包括耐酸、耐碱、耐有机溶剂及耐低温、高温等优良性能，可满足实际应用需要。
疏水纳米结构增强基底材料及其制备方法

[发明专利]一种护环用高强高韧Cu‑Al‑Fe‑Ni‑RE材料及其制备方法-CN201610401789.0在审
发明人：宋克兴;周志云;李军;陈小红;封心波;杭弢;施振川 -专利权人：江苏迅达电磁线有限公司
申请日： 2016-06-11 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： C22C9/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种护环用高强高韧Cu‑Al‑Fe‑Ni‑RE材料及其制备方法。合金成分（wt%）为：Al：5‑10，Fe：3‑6，Ni：2‑5，RE：0.01‑0.5，余量为Cu或为Cu和不可避免的杂质元素。本发明通过在多元微合金化和稀土改性手段设计开发新型Cu‑Al‑Fe‑Ni‑RE合金，制得的合金具有高的强度韧性和导热性能；本发明采用真空熔炼、加压凝固制备铸锭，有效改善铸态缺陷，提高铸锭致密度。
一种护环用高强 cu al fe ni re 材料及其制备方法

[发明专利]一种提高高铁用端环性能的形变热处理方法-CN201610401530.6在审
发明人：宋克兴;周志云;王攀;杭弢;陈小红;孟高军;杨永平 -专利权人：江苏迅达电磁线有限公司
申请日： 2016-06-11 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： C22F1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高高铁用端环性能的形变热处理方法。其工艺为在制件固溶处理后，对制件进行胀形处理，在端环径向施加预应力，然后进行时效热处理。本发明通过固溶后、时效前对端环进行胀形形变，提高了端环后续时效析出动力，可加快时效析出速率，缩短时效时间，降低热处理成本。
一种提高高铁用端环性能形变热处理方法

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