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- [实用新型]一种刻蚀机的自动门-CN202022615146.0有效
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顾学全
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-12
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2021-11-09
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E06B3/36
- 本实用新型提供了一种刻蚀机的自动门，属于刻蚀机技术领域。该刻蚀机自动门包括刻蚀机本体、开合装置和自动门，所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述液压缸转动连接于所述刻蚀机本体上侧，所述液压缸活塞杆顶端转动连接于所述连接杆上端，所述自动门包括门板、电磁锁、锁柱和门框，所述门框固定连接于所述刻蚀机本体一侧，所述门板转动连接于所述门框一侧，所述电磁锁安装在所述门框另一侧，所述连接杆下端转动连接于所述门板外侧，所述锁柱安装在所述门板靠近所述连接杆一侧内部，所述电磁锁和所述锁柱对应设置，本实用新型可以快速方便地开合刻蚀机门体，避免繁复的手动操作影响刻蚀机作业效率，避免过度磨损门板和密封件导致密封性下降。
- 一种刻蚀自动门
- [实用新型]一种高能注入机恒温超纯水装置-CN202022633182.X有效
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赵建江
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-13
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2021-11-09
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C02F1/04
- 本实用新型提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，属于高能注入机技术领域。该一种高能注入机恒温超纯水装置包括箱体组件、降温组件和恒温组件，使用时，导入箱体内的高温超纯水在输送水管内经过箱体内部的冷却水冷却，温度下降后的超纯水从输送水管出口落入箱体内，温控器控制加热件对其加热，使超纯水温度产生恒温，加热过程中，超纯水产生水蒸气，水蒸气经过冷凝管，冷凝管经过冷却水降温使冷凝之后的水蒸气以水滴的形式再次落入箱体底部，减少箱体内部压力，该装置中，输送水管配合换热器使进入箱体内的高温超纯水得到有效的降温，恒温过程中产生的蒸汽经过冷凝管收集凝结，减少了恒温装置内的压力，使该恒温效果更加稳定。
- 一种高能注入恒温超纯水装置
- [实用新型]一种半导体生产点锡装置-CN202022599768.9有效
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刘远伟
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-11
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2021-08-27
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B23K1/00
- 本实用新型提供了一种半导体生产点锡装置，属于点锡技术领域，该半导体生产点锡装置包括支撑台、角度组件和点锡组件。角度组件包括旋转轴、旋转座、角度盘和第一液压缸，点锡组件包括升降架、升降导轨、升降座、第二液压缸、焊机、焊架、第三液压缸和焊条。打开第三液压缸调整焊条的进料角度，打开第二液压缸控制焊机和焊条靠近点锡点，焊机外接电源熔融焊条对半导体进行多角度点锡，采用液压控制焊接角度设计，同一工位对半导体进行多角度点锡，采用液压控制焊材角度设计，辅助对半导体进行多角度点锡，无需人工调节，减少了人力物力，减少了半导体生产周转时间，半导体生产点锡角度调节更方便，半导体生产点锡效率更高。
- 一种半导体生产装置
- [实用新型]一种半导体生产翻转装置-CN202022604577.7有效
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刘强
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-11
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2021-08-27
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B23K37/04
- 本实用新型提供了一种半导体生产翻转装置，属于半导体技术领域，该半导体生产翻转装置包括支撑台、水平翻转组件和竖直翻转组件。所述水平翻转组件包括旋转台、驱动电机、第一液压缸、托台和真空吸盘，所述竖直翻转组件包括滑动导杆、滑动座、第二液压缸、第三液压缸、回转气缸和机械手。打开第三液压缸控制机械手移动到半导体集成电路板夹持边缘，打开机械手夹持半导体集成电路板，通过回转气缸控制半导体集成电路板的翻转角度，采用立体翻转设计，方便了半导体集成电路板的多角度翻转焊接，减少了半导体集成电路板的周转时间，一次装夹，多工序同步加工，半导体集成电路生产翻转更方便，半导体集成电路生产效率更高。
- 一种半导体生产翻转装置
- [实用新型]一种电路板刻蚀机的输送装置-CN202022615148.X有效
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陈胜江
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-12
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2021-08-27
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B65G13/06
- 本专利申请涉及刻蚀加工技术领域，公开了一种电路板刻蚀机的输送装置，包括安装座，安装座上转动安装有若干输送辊，安装座上设置有用于驱动输送辊转动的驱动组件，输送辊包括若干个沿轴线方向依次连接的输送段，每一输送段的两端分别同轴固定连接有用于放置电路板的支撑块，电路板架设于支撑块上，支撑块上形成有用于限制电路板输送方向的限位部，同一输送段上的两个限位部之间形成有用于容纳电路板的容纳空间，电路板容纳于容纳空间内，若干输送辊上的容纳空间依次相接形成用于输送电路板的输送通道，输送通道的长度方向垂直于输送辊的轴线方向，电路板放置在容纳空间内并沿输送通道进行输送，防止电路板从输送辊上脱落。
- 一种电路板刻蚀输送装置
- [实用新型]一种刻蚀机过滤系统-CN202022617842.5有效
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魏宏雨
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-12
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2021-08-27
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B01D29/03
- 本实用新型提供了一种刻蚀机过滤系统，属于刻蚀机过滤技术领域。该一种刻蚀机过滤系统包括桶体组件、过滤组件和烘干组件，所述烘干组件包括机壳、电热管、第二过滤板和积液盒，使用时，当需要清理第一过滤板时，打开气缸，气缸推动刮板向前运动，刮板滑动于第一过滤板表面，将过滤杂质推入机壳内的第二过滤板上，过滤杂质中多余水分从第二过滤板流入积液盒中，打开电热管，电热管将过滤杂质烘干，烘干完成后工作人员取走第二过滤板和积液盒，将第二过滤板中的干燥过滤杂质和积液盒中的液体取出完成操作，该装置可在过滤系统运转过程中通过气缸与刮板完成清理滤板的工作，清理出来的过滤杂质可自动烘干，方便清理，提高了清理效率。
- 一种刻蚀过滤系统
- [实用新型]扩散炉炉门密封装置-CN202022628238.2有效
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周安涛
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-13
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2021-08-13
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F27D1/18
- 本实用新型提供了一种扩散炉炉门密封装置，属于扩散炉技术领域。该扩散炉炉门密封装置包括框架、开合装置和炉门，所述框架包括第一框体和第二框体，所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述炉门包括外门板、内门板、密封圈、转盘、弹性杆、撑紧块、定位环和锁止器，所述外门板转动连接于所述第二框体一侧，所述密封圈设置在所述外门板和所述内门板之间边缘，若干个所述弹性杆和若干个所述撑紧块沿所述转盘均匀分布，所述撑紧块包括推块和推拉杆，所述推块外侧贴合于所述密封圈内侧，所述锁止器安装在所述手轮外侧，本实用新型可以使密封圈保持撑紧状态，即使密封圈发生一定程度的老化变形，仍然可以达到能使扩散炉正常作业的密封要求。
- 扩散炉门密封装置
- [实用新型]一种扩散炉进气管防脱承载架-CN202022601050.9有效
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周涛
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-11
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2021-08-13
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F16L3/02
- 本实用新型涉及承载架领域，公开了一种扩散炉进气管防脱承载架，其技术方案要点是包括两个支架，支架上滑动连接有滑板，支架上设置有动力部，动力部用以带动同侧的滑板上下滑动，每个滑板顶面均开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑块，滑块上固定连接有支撑杆，支架顶面开设有两个滑动孔，设置两个支架，增加对扩散炉进气管的支撑力，并且通过动力部可以调整圆弧板与扩散炉进气管之间的竖直距离，可以通过滑块来调整圆弧板与扩散炉进气管之间的水平距离，来适应不同直径大小的扩散炉进气管，并且设置支撑杆，在支撑杆上设置有圆孔，与圆柱相配合，增加两个支架之间的稳定性。
- 一种扩散气管承载
- [实用新型]一种刻蚀机托盘结构-CN202022615897.2有效
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陈胜江
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-12
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2021-07-16
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H01L21/673
- 本专利申请涉及刻蚀机技术领域，公开了一种刻蚀机托盘结构，包括托盘，托盘上开设有若干用于放置硅片的圆形的凹槽，托盘上方设置有盖板，托盘与盖板可拆卸连接，盖板的边缘形成有环形的定位部，定位部的内侧壁与托盘的外侧壁相接触，托盘上固定连接有定位销，盖板上开设有与定位销滑动配合的销孔，盖板与各个凹槽相对的位置上开设有通孔，通孔的外缘上形成有环形的接触部，接触部位于盖板的下表面上，当盖板盖合于托盘上时，接触部与放置于凹槽内的硅片的上表面相接触，通过在托盘上设置有盖板，通过盖板自身的重力将硅片固定在凹槽内，避免在托盘的移动过程中的震动导致硅片脱离凹槽。
- 一种刻蚀托盘结构
- [实用新型]一种高能注入机射频加速装置-CN202022633183.4有效
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胡夏均
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-13
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2021-07-16
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H05H1/54
- 本实用新型提供了一种高能注入机射频加速装置，属于电子元件技术技术领域。该高能注入机射频加速装置包括加速器本体和连接组件。所述连接组件包括箱体、锁紧件、电容器芯包和风扇，所述锁紧件包括滑杆、弹簧和卡板，所述滑杆滑动贯穿所述箱体，所述卡板固定连接于所述滑杆位于所述箱体内一端，所述弹簧套接于所述滑杆表面，所述电容器芯包一侧设置有固定板，所述固定板开设有卡槽，所述卡板和所述卡槽相对应设置，所述箱体两侧开设有通孔，所述风扇设置于所述通孔内，通过滑杆、弹簧和卡板配合卡槽很大程度上方便了电容器芯包的拆卸维修，同时两个风扇相互配合工作加快箱体内空气流通，很好的进行了热量交换，保证使用寿命。
- 一种高能注入射频加速装置
- [实用新型]一种半导体生产夹取装置-CN202022600502.1有效
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陈灿荣
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-11
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2021-06-11
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H01L21/683
- 本实用新型提供了一种半导体生产夹取装置，属于半导体夹取技术领域。该半导体生产夹取装置包括输送机和夹取吸附机构。所述夹取吸附机构包括支架箱、电缸、滑动箱、电动推杆、夹板、抽气泵、软管和吸盘，所述支架箱固定连接于所述输送机顶面两侧，所述电缸固定连接于所述支架箱内顶部，所述电缸输出端与所述滑动箱顶部固定固定连接，所述滑动箱两侧与所述支架箱底部滑动连接，所述电动推杆固定连接于所述滑动箱内部对称两侧，所述电动推杆输出端均与所述夹板顶部一侧固定连接，所述夹板另一侧滑动贯穿于所述滑动箱底部。本实用新型可以根据需求改变夹取方式来实现对半导体稳固夹取，提高了装置的夹取稳固性。
- 一种半导体生产装置
- [实用新型]一种扩散炉石英舟的升降装置-CN202022600959.2有效
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周涛
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-11
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2021-06-11
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H01L21/677
- 本实用新型提供了一种扩散炉石英舟的升降装置，属于石英舟技术领域。该扩散炉石英舟的升降装置包括支撑机构和升降机构。所述支撑机构包括箱体，升降机构包括电机、螺纹杆、滑动组件、第一密封板、密封筒、第二密封板、圆杆和托板，所述电机连接于所述箱体一侧，所述螺纹杆安装于所述电机的输出轴，所述螺纹杆贯穿延伸至所述箱体内部，所述螺纹杆螺纹连接于所述滑动组件。本实用新型通过电机、螺纹杆、滑块、滑板、支架、支撑杆、第一密封板、第二密封板、密封筒、圆杆和托板的作用，从而达到了升降过程中稳定的目的，升降停顿时会有缓冲力，使石英舟时不易产生晃动，使硅片稳定，提高硅片的质量。
- 一种扩散石英升降装置
- [实用新型]一种扩散炉用的石英舟-CN202022600978.5有效
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俞聪聪
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-11
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2021-06-11
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H01L21/673
- 本实用新型提供了一种扩散炉用的石英舟，属于硅片工艺设备技术领域。该扩散炉用的石英舟包括支架机构和调节机构。所述支架机构包括第一支板、第二支板和支撑组件，所述支撑组件两端与所述第一支板和所述第二支板连接，所述调节机构包括第一支撑杆、把手、第一齿轮、传动组件、第二齿轮、转杆和第二支撑杆，所述传动组件包括第三齿轮和第四齿轮。本实用新型通过把手、第一齿轮、第一支撑杆、第三齿轮、第四齿轮、第二齿轮、第二支撑杆、第一凹槽和第二凹槽的作用，从而达到了便于夹持不同大小硅片的目的，可根据硅片的大小，不用更换石英舟即可夹持不同大小的硅片，省时省力，提高了生产效率。
- 一种扩散石英
- [实用新型]一种刻蚀机上料结构-CN202022616619.9有效
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黄友林
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-12
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2021-06-11
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种刻蚀机上料结构，属于硅片加工设备技术领域。该刻蚀机上料结构包括上料组件和驱动组件。所述上料组件包括底座、第一气缸、支撑架和存料盒，所述支撑架为U型架，所述支撑架固定连接于所述第一气缸活动端，所述存料盒设置于所述支撑架顶部，所述存料盒内水平间隔设置有若干硅片，所述驱动组件包括支撑座、第二气缸、槽架、转动件和传送带，所述转动件包括第一转动辊、第二转动辊和皮带，通过底座、第一气缸和支撑架的配合使用，将存料盒内硅片通过底面接触方式移动至皮带上方，再通过传送带传送至刻蚀加工工位，过程中避免了接触硅片加工面，从而有效地保证了产品质量。
- 一种刻蚀机上料结构
- [实用新型]一种刻蚀机的下电极载片台-CN202022633372.1有效
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王亚骏
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杭州帕兹电子有限公司
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2020-11-13
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2021-06-11
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H01J37/32
- 本实用新型提供了一种刻蚀机的下电极载片台，属于载片台技术领域。该刻蚀机的下电极载片台包括基座箱和升降清扫机构。所述升降清扫机构包括减速电机、垂直丝杆、滑块、支杆、载片台体、电动推杆和刷子，所述减速电机固定连接于所述基座箱内底部一侧，所述垂直丝杆转动连接于所述基座箱内部，所述减速电机输出端与所述垂直丝杆底部传动连接，所述滑块与所述垂直丝杆传动连接，所述支杆底部与所述滑块顶面两侧固定连接，所述支杆滑动贯穿于所述基座箱内顶部，所述支杆顶部与所述载片台体底部固定连接。本实用新型方便对载片台的高度进行调节以及方便对载片台清理，从而提高载片台适用于以及保障了载片台清洁型。
- 一种刻蚀电极载片台
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