专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种接触式电容微加速度传感器-CN201110341475.3无效
  • 刘妤;米林;王国超;杨鄂川 - 重庆理工大学
  • 2011-11-02 - 2012-06-20 - G01P15/125
  • 本发明公开了一种接触式电容微加速度传感器,包括衬底、固定支撑、衬底电极、敏感薄膜、绝缘薄膜、微梁和惯性质量块。固定支撑的上、下两端分别设有衬底,两个衬底内侧设有衬底电极,其上覆盖绝缘薄膜;惯性质量块通过四根微梁悬挂于固定支撑的中部,惯性质量块的上、下两侧设有与其接触的敏感薄膜;固定支撑上、下的衬底电极与对应端的敏感薄膜对应。在加速度测量中,惯性质量块通过敏感薄膜始终与衬底电极保持“接触”,能承受比非接触式电容微加速度传感器更大的载荷和冲击力,抗过载能力强;传感器通过在大于接触载荷状态下敏感薄膜与绝缘薄膜接触面积的变化所引起的电容变化来测量加速度,较之变间距式电容微加速度传感器线性度更好。
  • 一种接触电容加速度传感器

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