专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置-CN202321356119.3有效
  • 程辉;吾继明;杨志帅;葛浩浩;陈聪 - 福建华佳彩有限公司
  • 2023-05-31 - 2023-10-17 - F16K1/36
  • 一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置,包括:堵头接头、中心环、密封圈、盖板、夹具;堵头接头的上部与所述自动压力控制阀的阀门固定连接;堵头接头的下部的开口处通过盖板盖住,并通过夹具将所述堵头接头的下部和所述盖板夹紧;堵头接头的下部和盖板之间还设有中心环,中心环的外围套设密封圈。本实用新型的堵头装置设计为可拆分结构,包括:堵头接头、中心环、密封圈、盖板、夹具,使用时,无需拆卸堵头接头,只需将夹具松开,拿下盖板即可,拆卸方便简洁,对阀门本体无损伤。自动压力控制阀门保养清洁以及更换时,可拆卸盖板进行放气泄压处理,可重复使用多次,对阀门本体无影响。
  • 一种蚀刻自动压力控制装置
  • [实用新型]一种新型干蚀刻机下电极顶料销的密封结构-CN202320285006.2有效
  • 闫俊鹏;吾继明;杨志帅;葛浩浩;陈聪 - 福建华佳彩有限公司
  • 2023-02-22 - 2023-08-04 - H01J37/32
  • 本实用新型提供了一种新型干蚀刻机下电极顶料销的密封结构,包括有安装在下电极下表面的套管,套管的中心处沿套管的轴向开设有与顶料销相匹配的中心孔,套管的底部开设有用于安装O型密封圈的凹陷槽,凹陷槽与中心孔相连通,凹陷槽内壁设置有螺纹段,螺纹段螺旋连接有紧固块,紧固块旋入后,紧固块的端部与O型密封圈接触从而将O型密封圈压紧,紧固块的中部设置有使顶料销穿过紧固块的通孔。紧固块将O型密封圈压紧,因此,O型密封圈不易发生扭曲变形甚至是断裂的问题,避免了在顶料销上下作动时将断裂的O型密封圈带到下电极表面,造成下电极的污染,减少背压宕机频率,延长保养周期,提高机台稼动率,提升产能。
  • 一种新型蚀刻机下电极顶密封结构
  • [实用新型]一种改良进气端的干蚀刻机废气处理设备-CN202320235161.3有效
  • 程辉;吾继明;杨志帅;葛浩浩;陈聪 - 福建华佳彩有限公司
  • 2023-02-16 - 2023-07-25 - B01D47/02
  • 一种改良进气端的干蚀刻机废气处理设备,包括:进气端管体,其上部设置连通废气的进气法兰三通,下部设置进气头组件,其下部侧端连接进水口;进气端管体内设置一筒状体;筒状体,包括:上部大筒部、中部过度部和下部小筒部;上部大筒部为空心圆柱体,其围设在进气法兰三通周围并与其保持设定的缝隙,中部过度部为上大下小的锥形体,下部小筒部为空心圆柱体,与进气头组件密封连接。本实用新型通过新增筒状体部件,改变机台进气端内部循环水流向,使废气持续被循环水所稀释处理及排出,避免生成物持续积累,导致结晶堵塞。改善后进气端无结晶堵塞现象,避免进气端结晶造成管路堵塞导致机台宕机,提高机台稼动率,提升产能。
  • 一种改良进气端蚀刻废气处理设备
  • [实用新型]一种改良的基板异物检测装置-CN202223451381.4有效
  • 陈聪;吾继明;杨志帅;葛浩浩;程辉 - 福建华佳彩有限公司
  • 2022-12-22 - 2023-05-30 - G01V8/10
  • 一种改良的基板异物检测装置,包括:机架和基板平台,基板平台设于机架上,基板平台上方横跨一龙门架式箱体,龙门架式箱体内设有检测摄像头、滑块和线轨,检测摄像头连接滑块在线轨上滑动;线轨下方安装一挡油板。挡油板“Z”字形。所述龙门架式箱体内靠近端部处还设有一负压风扇,所述负压风扇连接一管道的一端,所述管道的另一端为自由端,置于所述基板异物检测装置之外的位置。本实用新型的龙门架式箱体线轨下方沿横轴安装挡油板,避免线轨的油污溅射到量测基板上导致检测异常。龙门架式箱体内增加负压风扇,箱体内环境产生负压,优化流场,使各机构作动时产生的异物可以通过风扇排出,避免掉落在量测基板上。
  • 一种改良异物检测装置
  • [发明专利]一种新型干蚀刻机下电极顶料销的密封结构-CN202310150529.0在审
  • 闫俊鹏;吾继明;杨志帅;葛浩浩;陈聪 - 福建华佳彩有限公司
  • 2023-02-22 - 2023-05-26 - H01J37/32
  • 本发明提供了一种新型干蚀刻机下电极顶料销的密封结构,包括有安装在下电极下表面的套管,套管的中心处沿套管的轴向开设有与顶料销相匹配的中心孔,套管的底部开设有用于安装O型密封圈的凹陷槽,凹陷槽与中心孔相连通,凹陷槽内壁设置有螺纹段,螺纹段螺旋连接有紧固块,紧固块旋入后,紧固块的端部与O型密封圈接触从而将O型密封圈压紧,紧固块的中部设置有使顶料销穿过紧固块的通孔。紧固块将O型密封圈压紧,因此,O型密封圈不易发生扭曲变形甚至是断裂的问题,避免了在顶料销上下作动时将断裂的O型密封圈带到下电极表面,造成下电极的污染,减少背压宕机频率,延长保养周期,提高机台稼动率,提升产能。
  • 一种新型蚀刻机下电极顶密封结构
  • [实用新型]一种改良下电极陶瓷保护片的干蚀刻机-CN202223073267.2有效
  • 程辉;吾继明;杨志帅;葛浩浩;陈聪 - 福建华佳彩有限公司
  • 2022-11-17 - 2023-04-07 - H01J37/32
  • 一种改良下电极陶瓷保护片的干蚀刻机,包括:反应腔,供蚀刻气体对基板进行干蚀刻反应;上电极,设于所述反应腔内部的上方空间;下电极,设于所述反应腔内部的下方空间并与所述上电极相对设置,其上表面承载用于接受所述蚀刻气体蚀刻的所述基板,其周边设有陶瓷保护片;所述下电极的四个侧面周边的陶瓷保护片在靠近所述下电极处设置凹槽结构。凹槽结构的深度为4mm,宽度为1mm。本实用新型通过改变下电极四周侧面陶瓷保护片结构样式,内侧进行切槽设计,使生成物剥落不会直接导致背压异常宕机,延长机台保养周期,提升机台稼动率。
  • 一种改良电极陶瓷保护蚀刻
  • [实用新型]一种改良的干蚀刻机-CN202222826037.2有效
  • 陈聪;吾继明;杨志帅;葛浩浩;程辉 - 福建华佳彩有限公司
  • 2022-10-26 - 2023-03-24 - H05F3/00
  • 一种改良的干蚀刻机,包括:反应腔,供蚀刻气体对基板进行干蚀刻反应;上电极,设于反应腔内部的上方空间;下电极,设于反应腔内部的下方空间并与上电极相对设置,其上表面承载用于接受蚀刻气体蚀刻的基板;下电极的四个侧面均设有导流板,导流板平铺于下电极侧壁陶瓷保护片和反应腔侧壁之间,底部通过两侧的固定块进行支撑;反应腔侧壁的固定块的侧边孔与螺丝的螺丝帽相接触的部位做裸铝处理;所述螺丝的螺丝帽上均套设有氧化铝陶瓷帽。本实用新型通过改造,通过改造后的导流板和固定块将运行过程中产生的静电导出腔体本体,改造后有效降低电磁吸附电压异常波动的宕机率,并避免部件的损坏。
  • 一种改良蚀刻
  • [实用新型]一种新型渠道量水设施-CN201521089902.3有效
  • 杨志帅;李丽;褚洪国 - 正业勘测设计集团有限公司
  • 2015-12-24 - 2016-05-18 - G01F1/05
  • 一种新型渠道量水设施。本实用新型涉及一种新型渠道量水设施。所述的支撑板(1)架在渠道的渠壁(2)上,所述的支撑板(1)开有一组固定轴通孔(3),一组所述的固定轴通孔(3)内装入固定轴Ⅰ(4)、固定轴Ⅱ(5)与固定轴Ⅲ(6),所述的固定轴Ⅰ(4)上连接叶片Ⅰ(7),所述的固定轴Ⅱ(5)上连接叶片Ⅱ(8)所述的叶片Ⅰ(7)与所述的叶片Ⅱ(8)的面积、高度均相等;所述的叶片Ⅰ(7)与所述的叶片Ⅱ(8)横向平行设置,所述的叶片Ⅰ(7)的根分别连接拨杆(9)的底端,所述的拨杆(9)的顶端连接旋转圆盘(10)的根部,所述的旋转圆盘(10)连接在所述的固定轴Ⅰ(4)的顶端,所述的旋转圆盘(10)啮合十字旋转凹轮(11),所述的十字旋转凹轮(11)连接在所述的固定轴Ⅲ(6),所述的十字旋转凹轮(11)上连接挡片(12),所述的挡片(12)配合红外线计数器(13)的探头使用。本实用新型用于渠道量水。
  • 一种新型渠道设施
  • [实用新型]一种农业灌溉雨水净化循环装置-CN201521047454.0有效
  • 李丽;杨志帅;褚洪国 - 正业勘测设计集团有限公司
  • 2015-12-16 - 2016-04-27 - E03B3/02
  • 一种农业灌溉雨水净化循环装置,属于农业灌溉器械设备技术领域,包括耕地地面、集水水槽、过滤水槽、过滤材质、连接水管、过滤罩、储水水槽,其特征在于:所述耕地地面上顶端表面设有集水水槽,所述集水水槽内部固定插装有过滤水槽,所述过滤水槽内部放置有若干个过滤材质,所述集水水槽内部下顶端表面中间层固定插装有连接水管,所述连接水管上顶端表面固定覆盖有过滤罩,所述连接水管下顶端表面固定连接有储水水槽,并所述储水水槽与所述连接水管相通,可以方便工作人员快速的更换过滤材质,并且长时间使用可以防止污染物堵住水管。
  • 一种农业灌溉雨水净化循环装置

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