专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种薄膜沉积设备的晶圆对准环-CN202221797286.7有效
  • 李得平;王明山 - 盛吉盛半导体技术(上海)有限公司
  • 2022-07-13 - 2022-11-22 - C23C16/458
  • 本实用新型公开了一种薄膜沉积设备的晶圆对准环,包括安装板,所述安装板上固定有环体,所述环体上端内壁固定有覆盖环,且所述覆盖环的截面设置成三角形结构,所述覆盖环下端固定有加热器,所述加热器上端设有若干背压气孔。本报警装置能够增大覆盖环上端的开口面积,从而能够有利于晶圆的放置,从而降低背压报警的概率,并且能够减小晶圆在加热器上的滑动空间,从而能够进一步降低背压报警的概率,并且能够利用承托环将晶圆从覆盖环内托起,从而能够便于将晶圆从加热器上取下。
  • 一种薄膜沉积设备对准
  • [实用新型]一种应用于化学气相沉积设备的阀件-CN202221295761.0有效
  • 李得平;王明山 - 盛吉盛半导体技术(上海)有限公司
  • 2022-05-27 - 2022-09-27 - F15B15/14
  • 本实用新型公开了一种应用于化学气相沉积设备的阀件,包括汽缸和固定滑块,所述汽缸的一侧壁与可调节螺纹杆的一端固接,可调节螺纹杆另一端的外壁上设有外螺纹,固定滑块的一侧壁开设有螺纹安装槽,可调节螺纹杆通过外螺纹和螺纹安装槽与固定滑块螺纹连接,固定滑块内设有锁定机构,此应用于化学气相沉积设备的阀件,区别于现有技术,可根据使用需求改变可调节螺纹杆的长度,当其长度调节完成后,将活动杆的一端拧入到固定滑块上的螺纹安装槽内,通过锁定机构的设置,从而实现对活动杆的锁定,在活动杆与固定滑块原先螺纹连接的基础上更进一步固定住了活动杆,限制了固定杆活动,极大降低了活动杆松动导致汽缸脱扣的概率,起到相辅相成的作用。
  • 一种应用于化学沉积设备
  • [实用新型]一种高密度等离子腔体测漏装置-CN202221214956.8有效
  • 王明山;李得平 - 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
  • 2022-05-20 - 2022-09-27 - G01M3/20
  • 本实用新型公开了一种高密度等离子腔体测漏装置,包括底板,所述底板上安装有腔室、涡轮泵和干泵,腔室和涡轮泵之间连接有连接管一,连接管一上安装有涡轮闸阀和涡轮节流阀,涡轮泵和干泵之间连接有连接管二,连接管二上安装有隔离阀,干泵和腔室之间连接有连接管三,连接管三上安装有粗节流阀和粗阀,隔离阀上还连接有延伸管,延伸管的一端处通过两个安装结构可拆卸连接有氦气测漏仪,此高密度等离子腔体测漏装置,区别于现有技术,打开旋钮阀门后可直接进行氦气测漏,不使用时将旋钮阀关闭,腔室可进行正常工艺,可直接跳过腔室降温以及破真空等条件,直接连接氦气测漏仪进行测漏,大大提高工作效率。
  • 一种高密度等离子腔体测漏装置
  • [发明专利]一种薄膜沉积设备的晶圆对准环-CN202210820226.0在审
  • 李得平;王明山 - 盛吉盛半导体技术(上海)有限公司
  • 2022-07-13 - 2022-09-20 - C23C16/458
  • 本发明公开了一种薄膜沉积设备的晶圆对准环,包括安装板,所述安装板上固定有环体,所述环体上端内壁固定有覆盖环,且所述覆盖环的截面设置成三角形结构,所述覆盖环下端固定有加热器,所述加热器上端设有若干背压气孔。本报警装置能够增大覆盖环上端的开口面积,从而能够有利于晶圆的放置,从而降低背压报警的概率,并且能够减小晶圆在加热器上的滑动空间,从而能够进一步降低背压报警的概率,并且能够利用承托环将晶圆从覆盖环内托起,从而能够便于将晶圆从加热器上取下。
  • 一种薄膜沉积设备对准

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