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[发明专利]一种晶圆位置校准方法及设备-CN202311011509.1有效
发明人： 李全腾;朱小庆;刘好好;刘海洋;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆位置校准方法及设备，晶圆放置于晶圆载台，方法包括：控制超声波发生器向晶圆发射第一声波，由于超声波发生器、超声波接收器和晶圆部分交叠，因此第一声波具有未被晶圆阻挡的部分，可以控制超声波接收器接收未被晶圆阻挡的第一声波。根据未被晶圆阻挡的第一声波计算得到晶圆的中心位置偏移晶圆载台的中心位置的偏移方向和偏移值，就可以根据偏移方向和偏移值定位晶圆在晶圆载台上的位置，实现利用超声波对晶圆的精准定位。在对晶圆定位之后，可以控制机械手臂根据偏移方向和偏移值调整抓取晶圆的位置信息，也就是说，对机械手臂抓取晶圆的位置进行校准，从而实现晶圆在传输过程中进行稳定且高精度的定位和校准。
一种位置校准方法设备

[实用新型]一种等离子体刻蚀设备及介质窗加热装置-CN202222717401.1有效
发明人： 李全腾;刘海洋;刘小波;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体刻蚀设备及介质窗加热装置，该介质窗加热装置包括介质窗和设置于所述介质窗上表面的加热板，本实用新型中加热板包括至少两个分部，每一分部对应介质窗不同的表面区域，每一分部内部的加热丝与加热电路一一对应，这样各分部的加热丝可以独立控制，根据介质窗不同表面区域的实际温度调控分部内部加热丝的工作状态，实现介质窗多区独立加热，介质窗各处温度可以快速处于相同温度范围，匀温效果好且结构简单。
一种等离子体刻蚀设备介质加热装置

[实用新型]收纳装置-CN202121531897.2有效
发明人： 李全腾;刘海洋;刘帅;魏子寒;朱小庆;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种收纳装置，包括：圆筒形外壳，所述圆筒形外壳固定在底座上，所述圆筒形外壳限定出容纳腔，在所述圆筒形外壳内设有与其中心轴线重合的转轴；多个分隔片，所述多个分隔片分别连接在转轴上，在垂直于所述转轴的横截面上所述多个分隔片由所述转轴径向向外辐射延伸，所述多个分隔片位于所述容纳腔内且将所述容纳腔分隔成多个分隔腔，每个所述分隔片的径向外端均与所述容纳腔的内壁留有间隙；在所述圆筒形外壳上方设有取放口以拿取或者放置物品。根据本实用新型实施例的收纳装置，通过采用圆筒形外壳和其内部多个分隔片之间的配合方式，该收纳装置无需采用卡扣等连接方式，不仅简化了连接结构，在拿取容纳腔内的物品时更加方便。
收纳装置