专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果7个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种不等高直齿光栅的制作方法-CN202310884452.X有效
  • 陈定强;陈和峰;郭旭红;李坤鹏;陈昕;汪威;普慧 - 上海鲲游科技有限公司
  • 2023-07-19 - 2023-10-03 - G02B5/18
  • 本发明提出了一种不等高直齿光栅的制作方法,包括1)在经过净化处理的基底上旋涂一层光刻胶,利用光刻技术对基底上的光刻胶进行图形化定义,得到载有图形化光刻胶的基底;2)使用刻蚀工艺对载有图形化光刻胶的基底进行刻蚀,将所述图形化光刻胶的图形转移到基底上,在基底上形成等高直齿光栅结构;3)依次对基底上形成有等高直齿光栅结构的表面的不同区域形成遮挡,并在每次形成遮挡后对基底蒸镀同质膜层,以在基底上形成不等高直齿光栅结构;任意相邻两次遮挡中,在后遮挡的区域覆盖在前遮挡的区域。相较于传统工艺,采用多次镀膜制备不同高度直齿光栅,即采用加法工艺具有意料不到的技术效果,降低工艺的复杂度,提高工艺的稳定性。
  • 一种不等高直齿光栅制作方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top