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- [实用新型]一种碳化硅烧结设备的抽真空装置-CN202222757744.0有效
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姜佑霖;马良来
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昊石新材料科技南通有限公司
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2022-10-20
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2022-12-27
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F27D7/06
- 本实用新型属于烧结设备技术领域,尤其为一种碳化硅烧结设备的抽真空装置,包括工艺腔室,所述工艺腔室的上端设置有泵体,所述泵体的一侧设置有干泵,所述泵体与干泵的中间设置有抽真空管道。本实用新型通过设置过滤腔室、滤网、清理刷、齿轮、齿条、活动件、活动槽、转盘、导杆、伺服电机、水冷系统、控制阀、温度传感器、控制器和冷却管,能够实现对进入抽真空装置内部气体的过滤作用,结合内部清理刷的转动,还能够实现对内部过滤后灰尘的清理作用,保证了抽真空装置的正常作业,提高了抽真空装置的抽真空作业效率,同时通过温度传感器对装置外侧温度的实时监控,能够及时对抽真空装置产生热量的释放作用,提高了抽真空装置的使用效果。
- 一种碳化硅烧结设备真空装置
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