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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种沉浸式光刻机浸没罩的污染检测系统、方法及装置-CN202310786126.5在审
发明人： 旷文璟 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01N29/12 文献下载
摘要：本发明涉及光刻设备维护领域，特别是涉及一种沉浸式光刻机浸没罩的污染检测系统、方法及装置。包括超声接收探头及数据处理组件；所述超声接收探头与待检测光刻机的浸没罩接触连接，用于获取所述浸没罩的超声振动信息；所述数据处理组件与所述超声接收探头信号连接，用于根据所述超声振动信息确定所述浸没罩的污染信息。本发明利用超声波信号检测浸没罩上的脏污，超声信号不直接侵入介质，因此不需要机台处于特定状态即可进行检测，因此能实现对污染的持续实时监测，同时，由于浸没罩上任一点存在脏污均会影响浸没罩的振动情况，因此可对浸没罩的全部区域进行检测，本发明速度更快，数据量也更多，致使检测结果的可信度更高，更准确。
一种沉浸光刻浸没污染检测系统方法装置

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