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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]热处理系统和可成形的垂直腔-CN03806135.X无效
发明人： 戴尔·R·杜博伊斯;杰米·H·纳姆;克雷格·威尔德曼;邱泰庆;杰弗里·M·科瓦尔斯基 -专利权人：阿维扎技术公司
申请日： 2003-07-10 - 公布日： 2005-07-20 - 主分类号： F27B5/14 文献下载
摘要：提供一种热处理装在托架(106)中的基片(108)的装置(100)和方法。装置(100)包括具有顶部(134)，侧面(136)和底部(138)的容器(101)和带有接近它的加热元件(112－1，112－2，112－3)的热源(110)。容器(101)的尺寸使它封闭大致不大于容纳托架(106)所需的容积，并形成等温处理区(128)。在一实施例中，底壁(138)包括带有底部加热元件(112－1)的可动的支座(140)。其可升降将托架(106)插入容器(101)中。装置(100)可包括插入在支座(140)和托架(106)之间以屏蔽基片(108)不受加热元件(112－1)作用及保持支座温度的可动屏蔽件(146)。磁性耦合的重定位系统(162)不需使用穿过被容器(101)包围的容积中的可动引线且不需移动支座(140)中的底部加热元件(112－1)，可在处理基片(108)中重定位托架(106)。
热处理系统成形垂直

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