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[发明专利]一种基于白光光源的薄膜应力测量装置及方法-CN202210960339.0有效
发明人：陈剑;俞胜武;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于白光光源的薄膜应力测量装置及方法，涉及测量技术领域，该装置包括测量模组和控制模组，在测量模组中：白光激光器提供多波长宽带的白光光源，通过光束整形模组垂直入射晶圆平台，再反射到PSD上；滤光模组从垂直入射光中筛选出适用于待测晶圆镀膜前后的波段；PSD接收来自待测晶圆表面的反射光，并记录光强信息及光斑位置信息。在控制模组中：控制器控制测量模组沿导轨移动，还根据控制指令控制滤光模组旋转；处理器根据反馈的光强信息在滤光模组中寻找适合待测晶圆镀膜前后的波段，并下发控制指令；还用于根据反馈的光斑位置信息计算得到待测晶圆镀膜后的应力值。基于上述装置能够测量不同的镀膜晶圆，提升了测量精度。
一种基于白光光源薄膜应力测量装置方法

[发明专利]一种用于晶圆检测的超360度旋转平台设备及其操作方法-CN202211082510.9有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于晶圆检测的超360度旋转平台设备，包括旋转平台，所述旋转平台上表面通过支架安装有支撑组件，支撑组件的顶部为晶圆载盘，晶圆载盘通过旋转电机驱动，晶圆载盘吸附待检测的晶圆，晶圆载盘的底部设置有一号撞条；位于一号撞条一旁的旋转平台上安装有超360度补偿组件，所述超360度补偿组件上设置有二号撞条，所述二号撞条的一端与一号撞条对应，还包括控制旋转电机和超360度补偿组件是否工作的控制器。本发明结构紧凑、合理，操作方便，通过旋转平台、晶圆载盘、超360度补偿组件、控制器等部件的互相配合工作，可以方便的完成晶圆上每个角度测量点的检测工作，大大提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。
一种用于检测 360 旋转平台设备及其操作方法

[发明专利]薄膜应力测量方法、系统、数据处理设备、存储介质-CN202311029884.9在审
发明人：相宇阳;俞胜武;陈剑;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-08-16 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本说明书提供一种薄膜应力测量方法、系统、数据处理设备、存储介质，其中，所述薄膜应力测量方法包括：获取镀膜前晶圆表面的测量点对于第一入射光的第一光强信息和第一光斑位置信息；根据所述第一光强信息，确定镀膜后晶圆的入射光波长；根据所述入射光波长，生成波长选择信号，所述波长选择信号用于控制输出与入射光波长对应的第二入射光；获取镀膜后晶圆表面的测量点对于第二入射光的第二光斑位置信息，镀膜后晶圆表面的测量点位于镀膜后晶圆的薄膜表面；根据所述测量点的位置、所述测量点的第一光斑位置信息和第二光斑位置信息，确定镀膜后晶圆的应力。采用上述技术方案，能够测量不同晶圆的薄膜应力，获取精确测量结果。
薄膜应力测量方法系统数据处理设备存储介质

[发明专利]一种光信号处理装置、方法及应力检测系统-CN202310587763.X有效
发明人：陈剑;俞胜武;苏恒中;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明涉及模拟小信号采集及处理技术领域，本发明公开了一种光信号处理装置、方法及应力检测系统。其中，光信号处理装置包括光电位置敏感器、第一级放大处理模块、第二级放大处理模块和控制处理模块，第二级放大处理模块包括串联的至少两个放大处理单元，每个放大处理单元包括至少两个放大倍数不同的放大通道，控制处理模块用于根据光电位置敏感器接收的光信号所转换得到的数字信号切换第二级放大处理模块中放大处理单元的放大通道。本发明实施例提供的光信号处理装置、方法及应力检测系统，通过控制处理模块根据数字信号切换第二级放大处理模块中放大处理单元的放大通道，实现对放大倍数的调节，从而可满足不同应用场景的使用需求。
一种信号处理装置方法应力检测系统

[发明专利]激光器镜片固定装置及固定方法-CN202310652623.6在审
发明人：王海龙;相宇阳;陈剑;俞胜武;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G02B7/198 文献下载
摘要：本申请公开了一种激光器镜片固定装置及固定方法，该激光器镜片固定装置包括：镜架组件，所述镜架组件上开设有镜片安装孔，所述镜片安装孔用于安装镜片，所述镜片安装孔的内径与镜片的外径匹配；所述镜片安装孔内沿径向形成有镜片安装部，所述镜片安装部用于与镜片边缘的端面相抵，所述镜片安装部上涂设有粘接胶；夹持工装，包括两个夹臂，两个所述夹臂之间具有镜片夹持腔，所述镜片夹持腔用于夹持镜片；所述夹持工装和所述镜架组件通过连接组件可拆卸地固定连接。本申请解决了相关技术中的激光器镜片在安装时镜片容易发生角度位移的问题。
激光器镜片固定装置方法

[实用新型]一种激光器SESAM用精密位置调节装置-CN202320654587.2有效
发明人：陈剑;俞胜武;魏坤;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01S3/1118 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光器技术领域，尤其涉及一种激光器SESAM用精密位置调节装置，包括激光器腔体、导向组件、SESAM本体和驱动组件，导向组件设置于激光器腔体中，且导向组件上滑动架设有转接板，SESAM本体安装于转接板上，驱动组件包括调节轴和调节螺母，调节轴自激光器腔体的外部伸入激光器腔体中，且调节轴的内端与调节螺母螺纹配合，调节螺母上设置有导向销，导向销与转接板保持抵接，调节轴旋转运动时带动调节螺母与导向销于激光器腔体内平移运动，从而驱动SESAM本体沿着导向组件移动。上述激光器SESAM用精密位置调节装置可实现SESAM受光位置微米级的精准调整，整个调节过程在激光器外进行，无需拆卸盖板等，有效避免了激光器内光学元件被污染。
一种激光器 sesam 精密位置调节装置

[实用新型]一种控制激光器关断的装置-CN202320667793.7有效
发明人：陈剑;俞胜武;马刚飞;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：一种控制激光器关断的装置，包括激光源，用于释放激光；偏折组件，能可控的变为光栅并将一道激光束分为两道；收光装置，吸收废光；高精度转盘，与偏折组件连接，并控制偏折组件与激光束之间的角度；光敏传感器，连接在收光装置上，并与高精度转盘电性连接，用于检测废光强度，并能捕捉光强和对应偏折组件角度关系。本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，采用声光晶体对光束的衍射作用实现输出光束方向的切换，能够高效率的控制断光和出光，同时通过光敏传感器和高精度转盘，采集到收光装置上的光强强弱，自动控制高精度转盘的最优角度，使得第三出射光功率最强，提高了调节精度和效率，具有很强的实用性。
一种控制激光器装置

[实用新型]曲率半径测量装置-CN202320139514.X有效
发明人：陈剑;俞胜武;高强;戴丹蕾;魏坤 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本申请公开了一种曲率半径测量装置。该曲率半径测量装置包括第一底座，所述第一底座上设有光源，与所述光源的输出端处于一条直线且依次设置的平行光管、镜片固定结构；第二底座，其与所述第一底座可转动的连接；CCD相机，其滑设于所述第二底座上，且面对所述光源。本申请解决了由于现有的测量仪器不能兼顾价格低廉、无接触测量、且高精度的优点的技术问题。
曲率半径测量装置

[发明专利]一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法-CN202310332211.4有效
发明人：陈剑;俞胜武;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法。其中晶圆载台与机械臂的平行度调节结构包括基板，基板上设置有晶圆载台和横移驱动件，晶圆载台上放置有调平块，横移驱动件位于晶圆载台的一侧，且横移驱动件的活动端设置有转接板，转接板上设置有第一调节块，第一调节块上转动连接有第二调节块，第二调节块上转动连接有固定板，固定板上设置有升降驱动件，升降驱动件的活动端设置有延伸至晶圆载台上方的机械臂，通过调节第二调节块相对于第一调节块的转动角度、固定板相对于第二调节块的转动角度，使得机械臂的姿态可调，当机械臂的下表面与调平块完全贴合时，机械臂与晶圆载台平行。
一种晶圆载台机械平行调节结构方法

[发明专利]适于透明晶圆的薄膜应力检测系统及方法-CN202310231713.8在审
发明人：陈剑;俞胜武;刘明东;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种适于透明晶圆的薄膜应力检测系统及方法。其包括光路单元，光路单元包括：激光器；入射光束调控部，包括用于压缩入射激光束束腰半径的光束束腰控制机构，其中，入射激光束的束腰半径经所述光束束腰控制机构压缩后适配所述待薄膜应力检测晶圆的最大允许束腰半径；反射光束调控部，包括用于反射光聚焦的聚焦透镜组，其中，反射形成的反光激光束经聚焦透镜组聚焦到二维位置传感器上，以基于反射激光束在二维位置传感器上的位置点对晶圆的薄膜应力检测。本发明能有效实现对晶圆的薄膜应力检测，尤其可适应于透明晶圆的薄膜应力检测，提高薄膜应力检测的范围、稳定性以及可靠性。
适于透明薄膜应力检测系统方法

[实用新型]一种螺旋旋转限位装置-CN202222805192.6有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种螺旋旋转限位装置，包括工作平台，其上表面中间位置通过支架安装有支撑组件，支撑组件的顶面安装有旋转盘，支撑组件的一侧固定有旋转电机，旋转电机的输出端通过传动部件连接旋转轴，旋转轴与旋转盘连接，控制旋转盘转动；位于旋转盘的底面安装有螺旋导轨，位于工作平台的上表面还固定安装有并排的传感器固定座和直线导轨固定座，传感器固定座上设置有上下间隔的上激光传感器和下激光传感器，直线导轨固定座上通过直线导轨安装滑块，所述滑块上固定限位轴，限位轴伸入至螺旋导轨中，随着螺旋导轨一同转动，限位轴的跟动带动滑块沿着直线导轨上下滑动，上下滑动的极限位置被上激光传感器和下激光传感器触发控制，工作可靠，保证测量精度。
一种螺旋旋转限位装置

[实用新型]一种圆弧型旋转限位机构-CN202222803085.X有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种圆弧型旋转限位机构，包括底座，所述底座的上表面中间位置一体式连接有支架，支架的顶部为支撑件，所述支撑件的一侧安装旋转电机，所述旋转电机的输出端通过传动组件安装旋转轴，所述旋转轴上安装吸盘，位于吸盘的底部设置有与吸盘底面垂直的限位杆；所述底座上安装有固定座，所述固定座的顶部设置有台阶，在台阶面处设置有圆弧导轨，所述圆弧导轨上配合安装有圆弧滑块，所述圆弧滑块的顶面固定有限位座，所述限位座与限位杆配合抵接，限位杆推动限位座沿着圆弧导轨滑动，使平台能够旋转满360度后再回到原点，且平台无论正转、反转时都能起到保护作用。
一种圆弧旋转限位机构

[实用新型]一种超360度旋转的旋转平台测试装置-CN202222367167.4有效
发明人：俞胜武;陈剑;高为达;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超360度旋转的旋转平台测试装置，包括工作台，所述工作台的中部通过电机驱动安装有晶圆承载盘，晶圆承载盘吸附待检测的晶圆，晶圆承载盘的下表面垂直方向设置有一号撞条，位于一号撞条一旁的工作台上安装有超360度限位开关，所述超360度限位开关上前后端设置有对称的二号撞条，超360度限位开关的前端面设置有对称的光电传感器，所述光电传感器上设置有凹槽，所述二号撞条的后端与一号撞条对应，所述二号撞条的前端与凹槽对应，还包括控制器，所述控制器与电机和光电传感器电信号连接。提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。
一种 360 旋转平台测试装置

[实用新型]双波段激光光束功率吸收装置-CN202222223913.2有效
发明人：陈剑;俞胜武;高强;戴丹蕾 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种双波段激光光束功率吸收装置，该双波段激光光束功率吸收装置包括：激光吸收体，所述激光吸收体具有两个吸收腔，以及位于两个所述吸收腔之间的激光通路；所述激光通路贯穿所述激光吸收体，所述吸收腔朝向激光发射器的一端设置有吸收入口，另一端设置为封闭结构。本申请实现了使光束功率吸收装置能够同时吸收两种类型的光束，提高使用灵活性的技术效果，进而解决了相关技术中的光束功率吸收装置只能吸收单一光束，无法对两种无用光进行处理的问题。
波段激光光束功率吸收装置

[发明专利]薄膜电阻自动测量系统及方法-CN202210861180.7在审
发明人：俞胜武;陈剑;戴丹蕾;刘明东;高为达 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01R27/08 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种薄膜电阻自动测量系统及方法，通过晶圆搬运模块，用于控制机械臂，将待测量晶圆从晶圆存放处搬运至晶圆平台的特定位置；晶圆电阻测量模块，用于控制探针臂带动探针从晶圆边界处沿半径方向直线移动，对晶圆进行逐点电阻测量。本发明能够实现晶圆从搬运到测量的全自动化流程，提高测量效率，节约人力成本。
薄膜电阻自动测量系统方法

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