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[实用新型]一种可调节式红外探测器-CN202321085523.1有效
发明人：黄梅;袁秋雁;杜建林 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节式红外探测器，包括红外探测器本体、安装板和安装孔。本实用新型通过设置控制箱启动角度调节机构对红外探测器本体的使用角度进行调节，解决了现有的红外探测器在使用中，虽然实现了便捷的安装和拆卸方便了后期的维护，但红外探测器在安装固定后，就无法对使用的角度进行调节，这也使得红外探测器的探测方向是固定的，而在实际的使用中，多会在安装时对红外探测器的使用方向进行调节，以达到良好的探测效果，但由于使用环境和安装板仅在红外探测器顶部的限制，使得使用者往往无法对红外探进行合适的调节，因此红外探测器在使用中无法对使用角度进行调节，降低了红外探测器使用效果的问题。
一种调节红外探测器

[实用新型]一种定点式红外热像仪-CN202320890572.6有效
发明人：袁秋雁;杜建林;黄梅 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及红外检测技术领域，特别涉及一种定点式红外热像仪。包括防护外壳；所述防护外壳内设有安装室；所述安装室内设有红外热像仪本体；所述防护外壳的底部开设有滑槽；所述滑槽内限位滑动连接有滑板；所述滑板远离防护外壳的一侧壁上阻尼转动连接有转盘；所述转盘远离滑板的一侧壁上阻尼铰接有支撑机构。本实用新型的支撑机构在携带时可当做把手使用，提高了红外热像仪的便携性，当需要定点使用时，可解除第二连接杆与防护外壳的卡接，再将滑板滑动至防护外壳的底部中心处后进行限位，再使若干组支撑板从收纳槽内伸出对红外热像仪形成支撑效果，形成定点使用，避免了需要使用者长时间手持使用，降低了使用者的工作强度。
一种定点红外热像仪

[实用新型]一种具有接口保护功能的红外探测器-CN202220955338.2有效
发明人：袁秋雁;杜建林 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有接口保护功能的红外探测器，所述前盖的一侧通过螺丝固定有显示屏，所述显示屏的一侧固定有电路板，所述电路板的一侧设置有后盖；本实用新型在探测器接口连接完成后，使接口位于后盖与翻转板和移动板之间，避免与外部接触，从而提高导线接线的稳定性，通过设置限位槽，使与探头连接的导线可以从外壁压紧，在有外力拉动时，导线的压力和与限位槽的摩擦力可以分担接口处的拉力，从而对接口保护，通过将翻转板与移动板设置为可翻转可上下移动，使接口在接线时，操作便捷，且接线完成后仅需要压动翻转板一端，将两个移动板与翻转板压合，即可实现对导线压紧，使用方便。
一种具有接口保护功能红外探测器

[实用新型]一种具有防阻挡功能的红外探测器-CN202220956622.1有效
发明人：杜建林;袁秋雁 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具有防阻挡功能的红外探测器，所述安装结构包括第一侧板、第二侧板和驱动电机，所述第一侧板和第二侧板之间通过固定导杆固定连接，所述驱动电机安装于第一侧板的一侧，且所述驱动电机的输出轴贯穿第一侧板并固定连接有螺纹杆，所述红外探测机构与螺纹杆传动连接，所述第一侧板的一侧固定连接有第一固定机构，且所述第二侧板的一侧通过手动调节机构连接有第二固定机构，所述红外探测机构包括驱动块和红外探测器本体，所述红外探测器本体固定连接于驱动块的下端，装置通过安装结构上的第一固定机构和第二安装机构安装在厂房的上方，驱动电机能够带动红外探测机构进行来回移动，从而对下方设备的温度进行监测。
一种具有阻挡功能红外探测器

[发明专利]一种刻蚀聚酰亚胺牺牲层的方法及应用-CN202211310477.0在审
发明人：黄梅;杜建林;左元呈;李明;文朝军;张欢 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：本发明提供一种刻蚀聚酰亚胺牺牲层的方法与应用。该方法包括：在衬底上沉积一层氮化硅介质薄膜；在氮化硅介质薄膜上均匀的涂覆聚酰亚胺并固化以形成聚酰亚胺牺牲层；在聚酰亚胺牺牲层上沉积一层氮化硅介质作为硬掩膜；在硬掩膜上均匀的涂覆光刻胶，并对光刻胶进行曝光、显影、烘焙，使光刻胶上形成掩模版上预定图形；采用ICP干法蚀刻掉部分硬掩膜，使掩模版上预定图形转移至剩余未被蚀刻掉的硬掩膜上；采用ICP干法刻蚀氮化硅下层的牺牲层，使掩模版的图形转移到牺牲层，直到将牺牲层刻蚀完成；清洗残留的光刻胶或者刻蚀后残留的聚酰亚胺。本发明提供的方法能够使聚酰亚胺牺牲层的刻蚀坡度达到接近垂直。
一种刻蚀聚酰亚胺牺牲方法应用

[发明专利]一种非制冷红外焦平面阵列探测器-CN202210389564.3在审
发明人：杜建林;袁秋雁;左元呈 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器，包括硅衬底、支撑桥墩、桥臂层、桥面层，所述硅衬底和桥面层的的形状设置为类圆形结构，突破现有器件结构的惯性思维，采用类圆形结构的结构并引入增强吸收层的设计，并且不同形状的类圆形探测器的阵列面按照对应边数进行灵活排列，不仅增强了非制冷红外探测焦平面器件的红外吸收率，也使得非制冷焦平面器件的探测效率得到进一步提升，而类圆形非制冷红外焦平面探测器结构是采用的相邻的探测器结构复用桥墩的形式支撑连接，这不仅完全能够保证整体结构的平整性，稳定性，还进一步节省面积，在同样大小的面积内能够集成更多器件结构进一步提高红外吸收层与敏感薄膜层的有效面积。
一种制冷红外平面阵列探测器

[实用新型]一种便于拆装维护的红外探测结构-CN202220853705.8有效
发明人：袁秋雁;黄梅 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01J5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于拆装维护的红外探测结构，属于红外线探测器技术领域，包括机芯、上外壳和下外壳，所述机芯位于上外壳和下外壳之间，所述上外壳和下外壳的内腔均一体成型有配合机芯使用的限位框，所述上外壳和下外壳相向的左侧开设有凹槽，所述机芯的左侧贯穿凹槽并向外延伸，本实用新型通过第一旋转轴、卡扣和卡槽的配合，方便对上外壳和下外壳进行拆装，方便对机芯进行固定盒拆除，然后通过调节机构的配合，方便对第一旋转轴的转动方向进行控制，同时可对第一旋转轴的位置进行限定，防止红外探测器的外壳在安装后松动，造成机芯裸露，容易对内部的零件造成破坏，同时方便对红外探测器进行维修，操作简单易行。
一种便于拆装维护红外探测结构

[发明专利]一种干法刻蚀聚酰亚胺牺牲层的方法-CN202210969462.9在审
发明人：袁秋雁;杜建林;陈环玉;左元呈;毛敏 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种干法刻蚀聚酰亚胺牺牲层的方法，该方法包括：S1、在半导体晶圆衬底上均匀涂覆聚酰亚胺并退火固化以形成聚酰亚胺层薄膜；S2、在聚酰亚胺层薄膜上淀积溅射铝膜；S3、在铝膜上涂覆光刻胶，并对光刻胶进行曝光、显影；S4、继续刻蚀铝掩膜，使预定图形转移至铝掩膜上；S5、再分两步反应对涂覆光刻胶的牺牲层进行离子刻蚀；S6、依次用酸性溶液与碱性溶液交替洗涤，腐蚀铝掩膜，并去除氧化铝微掩膜；S7、清洗残留胶体。本发明采用金属Al与薄层光刻胶作为“双重掩膜”，解决了目前介质硬掩膜仍会出现钻刻无法形成良好的刻蚀形貌，不能有效控制关键尺寸，从而影响器件的性能及悬空结构稳固性的问题。
一种刻蚀聚酰亚胺牺牲方法

[发明专利]基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜-CN202210800859.5在审
发明人：杜建林;袁秋雁;毛敏;左元呈;文朝军;李明 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜，涉及氧化物热敏薄膜技术领域，所述基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜是以稀土元素钒作为掺杂剂制备；所基于混频脉冲反应磁控溅射制备的热敏薄膜包括衬底层和热敏薄膜层，所述热敏薄膜层沉积在衬底层上。通过上述方式，本发明优化结晶的同时适当减小薄膜电阻，降低材料热噪声；此外快速加热也可以减小因退火引起的氧空位增加量，有利于薄膜TCR的提高。
基于混频脉冲反应磁控溅射制备热敏薄膜

[发明专利]一种在长波红外波段具有偏振选择的超材料电磁波吸收器-CN202210783322.2在审
发明人：杜建林;袁秋雁;李明;何宏黎;左元呈;陈环玉 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种在长波红外波段具有偏振选择的超材料电磁波吸收器，涉及超材料电磁波吸收器技术领域，包括单元结构，所述单元结构设有n组，n组的所述单元结构组成周期性的超材料电磁波吸收器；所述单元结构包括金属光栅层和MIM结构，所述金属光栅层设于MIM结构上方的中心位置，通过上述方式，本发明在TM电磁波入射下在8‑14um波段具有高达平均95.7％的吸收率，应用于红外探测器可以大幅提高在长波红外探测的探测能力，在TE电磁波入射下吸收率低于平均1.7％，对TM、TE两种偏振电磁波的选择性吸收性能，使其可以应用在8‑14um波段的偏振光探测，通过引入强度维度外的偏振维度，可以有效增强不同目标之间的对比度，适用于目标之间温差较小和偏振差异明显的应用场景。
一种长波红外波段具有偏振选择材料电磁波吸收

[实用新型]一种耐受振动和冲击的双层红外焦平面微桥结构-CN202221102923.4有效
发明人：杜建林;黄梅 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐受振动和冲击的双层红外焦平面微桥结构，包括保护底板，所述保护底板内部活动安装有复合桥面，所述保护底板上部设置有桥板，所述桥板上部通过支柱连接有红外吸收层，所述红外吸收层左右两侧设置有侧撑板，所述侧撑板上部设置有缓冲垫，所述红外吸收层上部活动设置有保护缓冲层。通过设置的抵紧弹簧对压板施加向下作用力，来增加复合桥面在使用过程中的稳定性，同时设置在底板对复合桥面进行限位固定，设置的缓冲座卡接在底板内部对复合桥面起到减震缓冲的作用，且能够在受到震动或冲击时对红外吸收层进行保护，同时通过缓冲垫减少保护缓冲层对红外吸收层的力，最大程度上保证整体使用稳定。
一种耐受振动冲击双层红外平面结构

[实用新型]一种具有防潮湿组件的红外探测器-CN202220955340.X有效
发明人：杜建林;黄梅 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G01J5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有防潮湿组件的红外探测器，属于红外探测器技术领域，包括红外探测器本体和固定板，所述红外探测器本体的外侧设置有外壳，所述外壳的内腔设置有防潮湿组件，所述外壳的外侧相对称距离均栓接有支撑杆，通过设置第一防潮板和第二防潮板的作用可对外壳内部起到防潮的作用，能够对红外探测器本体进行防潮，从而防止红外探测器本体发生受潮，通过设置干燥盒储备干燥剂能够对湿润的空气吸收水分，使位于防护壳内部的红外探测器本体始终保持干燥的，通过设置支撑杆和安装板的作用，能够对红外探测器本体提供支撑作用，可以将红外探测器本体远离墙体和其他物件直接接触，提高了红外探测器本体的防潮效果。
一种具有潮湿组件红外探测器

[发明专利]一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法-CN202210389550.1在审
发明人：黄梅;袁秋雁;毛敏 -专利权人： 成都市精鹰光电技术有限责任公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法，该方法可以用来改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触。首先，该方法通过离子注入技术，将钨与钛作为掺杂元素，注入区域为氧化钒薄膜中与钛电极接触的区域。其次，注入元素选择钨与钛可以有效降低氧化钒接触区域的电阻，获得优异的金半接触，从而降低氧化钒本身的1/f噪声，有助于获得低噪声器件；此外通过掺杂钨元素还可以提高氧化钒薄膜TCR，提升器件信噪比。第三，离子注入后的热处理方式为脉冲电流快速退火，可以实现晶格修复，同时快速退火可以避免升温过程中的失氧，从而减小氧空位，使氧化钒电阻不会降低太多。
一种改善辐射热氧化电极接触方法

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