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- [实用新型]一种导轨组件及晶圆传送单元-CN202021141178.5有效
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张冬欣;张雷
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厦门通富微电子有限公司
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2020-06-18
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2021-10-08
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B65G47/90
- 本申请公开了一种导轨组件及一种晶圆传送单元，所述导轨组件包括第一导轨、滑动设置在所述第一导轨上的第一滑块，还包括感应组件，所述感应组件包括至少一个检测装置，所述感应组件被配置为所述第一滑块滑动到所述第一导轨上的某些位置时可触发所述检测装置以确定所述第一滑块的当前位置；所述晶圆传送单元包括所述导轨组件，通过将需要传送的晶圆设置在所述第一导轨的一侧的特定位置，将所述感应组件配置为当手臂到达晶圆的位置时触发所述检测装置，使晶圆传送单元可以通过感应组件确定晶圆的位置，避免了因丝杆磨损或伺服电机异常导致的定位错误而引发的安全事故。
- 一种导轨组件传送单元
- [发明专利]一种吊杆及晶圆处理设备-CN202010485344.1在审
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张冬欣;简永幸;张雷
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厦门通富微电子有限公司
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2020-06-01
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2020-08-28
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H01L21/67
- 本发明公开了一种吊杆及晶圆处理设备，所述吊杆包括用于与吊车连接的第一杆、用于挂取产品的第二杆，和用于连接所述第一杆和所述第二杆的连接组件，所述连接组件包括分置于所述第一杆和所述第二杆的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别具有面向对方的配合面；所述第一连接部和所述第二连接部配置为可拆卸连接；当晶圆处理装置在处理晶圆出现故障时，可通过所述连接组件快速拆下第二杆，从而将设置在第二杆上的晶圆及时从药液中取出，避免了晶圆在药液里浸泡过久而导致晶圆报废的现象，本发明结构简单，设计合理，具有较强的实用性。
- 一种吊杆处理设备
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