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[发明专利]真空泵及真空泵用风门-CN201980017410.8有效
发明人： 川岛敏明 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： F04D29/66 文献下载
摘要：本发明提供构造简单且能够提高扭转方向的除振性并且能够限制相向的凸缘彼此的偏离来防止O型圈、弹性体的断裂、损伤的真空泵及真空泵用风门。具备被互相相向地配置而呈环状的第1凸缘（13）及第2凸缘（14）、配置于第1凸缘（13）与第2凸缘（14）之间的中间环（15）、分别配置于第1凸缘（13）与中间环（15）之间和中间环（15）与第2凸缘（14）之间的O型圈（16）、在第1凸缘（13）与第2凸缘（14）之间被在中央开口（13a、14a）的周向上散布地配置的多个弹性体（17）、具有将分别设置于第1凸缘（13）、中间环（15）、第2凸缘（14）的定位孔（13e、15e、14e）内按顺序穿过地配置的定位销（41）的气密保持机构（51）。
真空泵风门

[发明专利]谐波除去电路、位置检测装置、磁轴承装置和真空泵-CN202180010894.0在审
发明人： 川岛敏明 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： H03B1/04 文献下载
摘要：提供一种在不使用昂贵的部件的情况下除去在同步检波电路中产生的谐波而实现了低振动、低噪声的谐波除去电路、位置检测装置、磁轴承装置和真空泵。传感器载波频率的奇次谐波能够通过使同步检波电路的开关的通电期间为特定的值而从检波后的位移信号中除去。脉冲的生成方法的条件基本上以在180度+360度×n（n为包括0的正整数）的相位角下产生的方式进行调整。而且，同步检波的开关的脉冲的通电期间以谐波波形的正侧面积和负侧面积相等的方式进行设定。此外，调整脉冲的通电期间，以使得传感器信号的灵敏度最大的相位角成为中心。即，如果传感器信号为360度的正弦波，那么优选以90度、270度的相位角为中心来调整脉冲的通电期间。
谐波除去电路位置检测装置磁轴真空泵

[发明专利]真空泵、磁轴承装置及转子-CN201880024595.0有效
发明人： 川岛敏明 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供一种减轻转子的振摆及振动的真空泵、磁轴承装置及转子。一种真空泵（1），沿着气体的排气方向，依次配置有转子（20）的重心（G1）、在径向方向（R）上以磁力非接触支承转子（20）的主动径向轴承（71）及在径向方向（R）上以磁力非接触支承转子（20）的被动径向轴承（72）。
真空泵磁轴装置转子

[发明专利]控制装置和具备该控制装置的真空泵-CN202080018130.1在审
发明人： 川岛敏明 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：提供了一种能够通过不使噪声混入到电流控制量来实现振动或噪音较少的磁性轴承并且谋求了电路的低成本化、小型化的控制装置和具备该控制装置的真空泵。常数存储部1存储了电磁石线圈111的电阻值Rm、电感值Lm、采样时间Ts等常数值。电流存储部3存储了由电流控制电路137内的微计算机定期地采样的过去的电流指令值Ir。低频反馈电路5生成并输出用于抑制所输入的电流指令值Ir与电流检测值IL的直流分量或低频分量的误差的信号。输出电压运算电路7基于所输入的电流指令值Ir［n+1］、电流存储部的存储值Ir［n］、常数存储部的存储值、低频反馈电路5的信号，来计算并输出用于在电磁石线圈111中流动如指令的电流的电压。
控制装置具备真空泵

[发明专利]电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵-CN201680036551.0有效
发明人： 川岛敏明 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2016-07-01 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：提供高精度地检测旋转体的径向的位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。上方电磁铁单元(61)具备将转子(20)在径向(R)上非接触支承的径向电磁铁(63)、检测转子(20)的径向(R)的位移的径向传感器(64)、卷绕线圈(63a)及线圈(64a)的磁芯(65)。在磁芯(65)的周向(C)上相邻的两个径向电磁铁(63、63)配置成在两个径向电磁铁(63、63)，相邻的磁极(66、66)彼此为同极，在两个径向电磁铁(63、63)间形成低磁通量干涉区域(m)。径向传感器(64)配置于低磁通量干涉区域(m)内。
电磁铁单元磁轴装置真空泵

[发明专利]磁力轴承装置和具备该磁力轴承装置的真空泵-CN201480020398.3有效
发明人： 川岛敏明 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2014-03-07 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：提供一种通过省略为了得到磁力轴承的控制电源电压而使用的DC/DC转换器来谋求电路的低成本化、小型化的磁力轴承装置和具备该磁力轴承装置的真空泵。具备：位置检测单元，对旋转体的半径方向位置和轴向位置进行检测；磁力轴承单元，基于由位置检测单元检测的半径方向位置和轴向位置并且通过电磁铁来控制半径方向位置和轴向位置；励磁电路，包含使电磁铁与电源之间断开接通的开关元件；电磁铁电流检测单元，对在电磁铁中流动的电流进行信号检测；电源电压检测单元，对电源的电压进行信号检测；以及脉冲宽度运算单元，按照每个定时运算对开关元件进行脉冲控制的脉冲宽度，脉冲宽度基于由电源电压检测单元检测的电源的电压和由电磁铁电流检测单元检测的电流来运算。
磁力轴承装置具备真空泵

[发明专利]磁力轴承装置、以及真空泵-CN201480064003.X有效
发明人： 川岛敏明 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2014-10-03 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：本发明提供一种磁力轴承装置，该磁力轴承装置初始调整简单，且不增加控制设备的存储器容量，能够以简单的算法进行最合适的轴承控制。一对平方器（32xp、32xm）以及加法运算器（33）取得将未图示磁力轴承的转子轴在径向方向上在相反方向上吸引的一对电磁铁的各电流稳态值（Ip、Im），分别进行平方化并进行加法运算。然后，为了与磁力轴承的安装姿势相应地使各电磁铁的电流最合适地变化，补正系数运算器（35）根据被平方、加法运算后的电流稳态值（Ip^2＋Im^2）计算作用于电磁铁的补正增益指令值Kcomp。接着，将在电磁铁的控制电路的基本增益Kctrl上加上补正增益指令值Kcomp而得的增益指令值G向输入增益放大器（38）输入。增益放大器（38）基于增益指令值G，生成被补正的电流指令值，从而最合适地控制磁力轴承。
磁力轴承装置以及真空泵

[发明专利]保护轴承、轴承装置及真空泵-CN201480056963.1在审
发明人： 川岛敏明;中川功 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2014-09-10 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：本发明提供一种保护轴承、轴承装置及真空泵，前述保护轴承、轴承装置及真空泵在转子被非接触地浮起地支承的期间防止触底轴承随着转子的旋转发生共转。在固定部件（211）的内侧4处，狭缝（215）在径向上被切口。在被狭缝（215）划分的4个区域的各自的上表面上分别固接有2个同极的永久磁铁（217）。固定部件（211）的内边缘朝向下方地周状地形成有凸部（211a）。在外环（201）和内环（203）间产生引力。在固定部件（211）的内侧端突出设置的凸部（211a）和内环（203）间也产生引力。由此，在旋转体（103）旋转时，即使对触底轴承（200）的内环（203）施加旋转力矩，由于静止力矩较大，所以不会发生共转。
保护轴承装置真空泵

[发明专利]磁轴承装置和塔载有该磁轴承装置的涡轮分子泵-CN200580006978.8有效
发明人： 川岛敏明 -专利权人：英国博克爱德华兹日本有限公司
申请日： 2005-02-28 - 公布日： 2007-03-14 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：本发明提供一种通过减少对电磁铁进行励磁驱动的放大电路的元件个数以减少涡轮分子泵的制造、设置等所需的成本并且能够在检测流过电磁铁的电流时减少误差的磁轴承装置和搭载有该磁轴承装置的涡轮分子泵。构成各电磁铁(104、105、106A、106B)的电磁铁绕组(151)的一端(151a)与公共节点C连接。在该公共节点C上连接有包括晶体管(281)和二极管(285)的切换电路(280)。另一方面，在电磁铁绕组(151)的另一端(151b)上连接有包括晶体管(261)和二极管(265)的放大电路(250)。
磁轴装置载有涡轮分子

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