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[发明专利]加热单元及包括其的基板处理装置-CN202211614312.2在审
发明人： 崔东旻;金慧智 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供能够利用形成于衬套的孔来去除微粒的加热单元及包括其的基板处理装置。所述基板处理装置包括：加热单元，包括加热板，并且加热基板；冷却单元，冷却基板；以及搬运单元，向加热单元或冷却单元移动基板，其中，加热板包括：第一板，向基板提供安置表面；以及第二板，布置在第一板的下部，并且在第二板的内部设置有加热器和衬套，以及衬套向用于通过衬套的内部空间使基板升降的升降销提供移动空间，并且包括从内部空间向外侧方向贯通形成的多个孔。
加热单元包括处理装置

[发明专利]衬套的制造方法、基板支撑组件及基板处理装置-CN201910316819.1在审
发明人： 崔东旻;梁镇赫;丁永勋;卢润曙 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： B29C45/00 文献下载
摘要：本发明提供一种衬套的制造方法、基板支撑组件及基板处理装置。基板支撑组件可包括板、顶杆及衬套。所述板上可用于配置基板。所述顶杆为了支撑所述基板的底面而能够贯通所述板向上方及下方移动。所述衬套可具有所述顶杆贯通所述板移动时用于引导所述顶杆的移动的内部孔。所述衬套可通过利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件为了同时形成所述衬套的外形及所述内部孔而包括用于形成所述衬套的外形的成型空间及用于形成所述内部孔的内部销。
衬套顶杆基板支撑组件内部孔基板处理装置成型部件基板移动贯通成型空间注塑成型底面可用制造支撑配置