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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]蒸发源单元、成膜装置以及成膜方法-CN202310073900.8在审
  • 风间良秋;山田尚人;菅原由季;山田美悠 - 佳能特机株式会社
  • 2023-01-18 - 2023-08-01 - C23C14/24
  • 本发明涉及蒸发源单元、成膜装置以及成膜方法。抑制从蒸发源放出的蒸镀物质的放出状态的监视精度降低。蒸发源单元对在移动方向上相对移动的基板进行成膜。多个蒸发源相互独立地具有容器和对收容于容器的蒸镀物质进行加热的加热构件。多个监视构件分别监视来自多个蒸发源中的对应的蒸发源的蒸镀物质的放出状态。多个蒸发源包括在蒸发源单元相对于基板的相对移动方向上排列配置的第一蒸发源和第二蒸发源。多个监视构件包括监视来自第一蒸发源的蒸镀物质的放出状态的第一监视构件和监视来自第二蒸发源的蒸镀物质的放出状态的第二监视构件。第一监视构件和第二监视构件在与移动方向交叉的交叉方向上排列配置。
  • 蒸发单元装置以及方法
  • [发明专利]成膜装置、成膜方法及蒸发源单元-CN202210710546.0在审
  • 风间良秋;山田美悠 - 佳能特机株式会社
  • 2022-06-22 - 2022-12-30 - C23C14/54
  • 本发明提供抑制成膜装置的大型化的成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。成膜装置具备对在移动方向上相对地移动的基板进行成膜的成膜单元。成膜单元包括：多个蒸发源，分别具有加热部件和独立的材料容器，并放出蒸镀物质；以及多个监视部件，分别监视来自多个蒸发源的蒸镀物质的放出状态。多个蒸发源包括在与移动方向交叉的第一方向上排列的第一蒸发源及第二蒸发源。多个监视部件包括在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一监视部件及第二监视部件。第一监视部件监视来自第一蒸发源的蒸镀物质的放出状态，第二监视部件监视来自第二蒸发源的蒸镀物质的放出状态。
  • 装置方法蒸发单元
  • [发明专利]成膜装置、成膜方法及蒸发源单元-CN202210710881.0在审
  • 风间良秋;山田美悠 - 佳能特机株式会社
  • 2022-06-22 - 2022-12-30 - C23C14/24
  • 本发明提供有效地进行监视装置对蒸发源的监视的成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。成膜装置具备对在移动方向上相对地移动的基板进行成膜的成膜单元。成膜单元包括：多个蒸发源，分别具有加热部件和独立的材料容器，并包括放出蒸镀物质的第一蒸发源及第二蒸发源；多个监视部件，包括监视来自第一蒸发源的蒸镀物质的放出状态的第一监视部件及监视来自第二蒸发源的蒸镀物质的放出状态的第二监视部件；以及抑制板，抑制蒸镀物质从第二蒸发源向第一监视部件的飞散。
  • 装置方法蒸发单元
  •  1 
  • 共 3 条
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