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[发明专利]清洗装置-CN201710999225.6有效
发明人： 山村英司 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供清洗装置，其抑制异物的附着。清洗装置(1)具有：卡盘工作台(2)；旋转轴单元(3)，其具有轴承部(5)和轴部(4)，该轴承部和轴部将卡盘工作台支承为能够旋转；清洗流体提供喷嘴(6)，其对晶片(W)提供清洗液；清洗室腔体(8)，其形成清洗室；以及排气单元(9)，其将清洗室腔体的气氛气体排出，其中，清洗室腔体在底壁(812)具有开口(814)，旋转轴单元(3)的轴部(4)的前端从开口(814)突出，该旋转轴单元的轴部对卡盘工作台(2)从背面进行支承，在竖立设置于开口(814)的周围的内侧壁(833)上安装有密封部件(86)，该密封部件防止气氛气体从开口(814)向清洗室腔体(8)侵入，密封部件(86)具有安装于内侧壁(833)的环状主体部(861)和从环状主体部(861)延伸的延伸部(862)，延伸部(862)的上端与卡盘工作台(2)的背面接触。
清洗装置

[发明专利]切削装置-CN201710882110.9有效
发明人：田中诚;粕谷健太;山村英司 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B24B53/12 文献下载
摘要：提供切削装置，其对是否是符合修整的条件的修整板进行确认。控制单元具有指定部、识别部、判定部以及输出部，该指定部具有对修整板的种类进行指定的功能，该识别部具有根据利用拍摄相机对第一修整板用卡盘工作台所保持的第一修整板的识别标记进行拍摄而得到的拍摄图像对该第一修整板用卡盘工作台所保持的该第一修整板的种类进行识别的功能，该判定部具有对该识别部所识别的该第一修整板的种类是否与该指定部所指定的修整板的种类一致进行判定的功能，该输出部具有输出该判定部的判定结果的功能。
切削装置

[发明专利]旋转清洗装置-CN201110178916.2有效
发明人：香西宏彦;山村英司 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2011-06-29 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供旋转清洗装置，其具备：旋转工作台，其对晶片进行吸附保持并旋转；清洗液供给构件；清洗液接收容器，其具有围绕旋转工作台的环状外周侧壁、环状内周侧壁和底壁；驱动构件，其在清洗位置和退避位置之间移动清洗液供给构件；以及排气构件，其与清洗液接收容器的底壁连接，其特征在于，清洗液供给构件包括：旋转轴，其与驱动构件连接；臂，其与旋转轴一体连结并沿着水平方向伸长；以及清洗液喷嘴，其形成于臂的末端并向保持于旋转工作台的晶片喷射清洗液，在环状外周侧壁形成有在清洗液供给构件定位于退避位置时收纳清洗液供给构件的收纳开口部，在清洗液供给构件配设有封闭罩，在清洗液供给构件收纳于收纳开口部时封闭罩封闭收纳开口部。
旋转清洗装置