专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种喷嘴清洗装置及清洗方法-CN201510571023.2有效
  • 尹宁 - 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
  • 2015-09-09 - 2019-11-26 - B08B3/02
  • 本发明属于半导体行业晶片处理技术领域,具体地说是一种喷嘴清洗装置及清洗方法。所述装置包括清洗槽、接液盒及真空发生器,其中清洗槽设置于接液盒内,所述接液盒的底部设有接液盒排废口,所述清洗槽的两端为开口结构,并槽体内布设有流道,所述清洗槽的内壁上设有与所述流道连通的多个喷孔,所述清洗槽的底部设有与所述流道连通的液体进出口,所述液体进出口分别与供液管路和排液管路连接,所述真空发生器与所述排液管路连接,并利用真空将清洗槽内的废液排除。本发明可以保证清洗液对喷嘴易沾污位置的有效清洗,延长了喷嘴的维护周期,从而提高设备的工作效率。
  • 一种喷嘴清洗装置方法

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