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[发明专利]半导体结构分析方法-CN202110105536.X有效
发明人： 尹圣楠;袁安东;高金德 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体结构分析方法，包括：提供一绝缘体上的基底，基底包括上半导体层、下半导体层，以及位于上半导体层和下半导体层之间的氧化层；上半导体层的表面形成测试区块；刻蚀测试区块形成刻蚀槽，刻蚀槽贯穿上半导体层和氧化层；向刻蚀槽填充导电介质形成导电通路；以及利用二次离子质谱分析方法对测试区块进行分析。如此配置，在形成的刻蚀槽中填充导电介质形成导电通路，以连接上半导体层和下半导体层，从而消除测试区块富集大量正电荷形成的电场，在进行二次离子质谱分析时，使二次离子可正常偏向接收器。进一步，通过研究所述测试区块和基底的二次离子信号频谱图，可大致确定氧化层于基底中的位置和氧化层的厚度。
半导体结构分析方法

[发明专利]FIB样品座-CN201811396491.0有效
发明人： 尹圣楠;史燕萍 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G01N23/2204 文献下载
摘要：本发明公开了一种FIB样品座，包括样品座本体和底座，其中样品座本体与底座为一体结构，所述样品座采用防磁导电金属制成，所述样品座本体为六面体结构，该六面体的底面与顶面平行，四个侧面中至少一个侧面垂直于底面且至少一个侧面与底面的夹角α为40°～55°。本发明的样品座可以同时放置平面TEM样品、截面TEM样品以及FIB标记样品，从而可以提高物性失效分析的效率，延长螺纹连接的使用寿命，保持FIB真空值以提高FIB电子束的分辨率；同时与底面形成夹角的侧面上可同时放置FIB标记样品，从而减少进行共聚焦点高度Eucentric Height的时间。
fib 样品

[实用新型]一种重介质粉湿式投加系统-CN201821865026.2有效
发明人：贾伯林;王光辉;杨志宏;宋红军;黄竹青;周峰铖;邵宇;肖卫云;尹圣楠;吴柳青 -专利权人：贾伯林
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： B01F15/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种重介质粉湿式投加系统，主要由悬浊液混合池侧壁下方连通悬浊液输送泵构成；其特征在于：还包括一重介质干粉上料系统，所述重介质干粉上料系统包括干粉上料料斗，干粉输送系统，上料电动机及干粉出料口；所述干粉输送系统倾斜设于悬浊液混合池一侧，且其一端延伸至悬浊液混合池上方；所述干粉上料料斗设于干粉输送系统的低端侧；所述干粉出料口设于干粉输送系统的高端侧，且与悬浊液混合池顶部垂直连通。通过采用湿式投加方式，实现远距离重介质粉的投加，并保证重介质粉投加的均匀性、水处理系统的稳定性，同时实现对重介质粉的精确投加，避免大量重介质粉短时间内投加到水中从而增加对整个水处理系统以及混合搅拌器的负荷。
重介质干粉悬浊液干粉输送混合池湿式投加水处理系统上料料斗上料系统出料口本实用新型混合搅拌器垂直连通电动机均匀性输送泵远距离侧壁低端高端上料水中连通延伸保证

[发明专利]一种稀土掺杂石英玻璃原料粉的合成方法-CN201610969588.0有效
发明人： 尹圣楠;陈丹平;杨科;韩帅;王璠;张国栋;康帅 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C03C1/02 文献下载
摘要：本发明涉及稀土掺杂石英玻璃原料粉的合成方法，该方法使用四氯化硅水解法得到稀土与铝共掺的硅酸溶胶，然后对硅酸溶胶在常温下进行长时间老化处理；或者是高压釜中高温、高压老化处理，以缩短老化时间。将老化处理的凝胶进行脱水、除羟基和造粒处理，最终得到掺杂均匀的白色粉末状石英玻璃原料粉。本发明制备所得稀土与铝共掺的石英玻璃原料粉具有不易析晶的特点，该方法可应用于烧结法制备大模场石英光纤芯棒。
一种稀土掺杂石英玻璃原料合成方法

[发明专利]一种水处理在线取样分析系统-CN201610400357.8有效
发明人：贾伯林;陈勇华;杨志宏;王光辉;冯锋;周小萍;尹圣楠;杨雪峰;周稳全;陈渔兵;邵宇 -专利权人：太平洋水处理工程有限公司
申请日： 2016-06-08 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种水处理在线取样分析系统，包括源水池、常规分析仪表模块、样水池、微过滤器、大型分析仪表模块和控制器；源水池依次连接电动阀门A、常规分析仪表模块和三通A；三通A的另外两端分别与电动阀门E和电动阀门B连接；电动阀门E的另一端连接样水池；电动阀门B连接三通B，三通B的另外两端分别与冲洗水泵和电动阀门C连接；冲洗水泵的进水端连接冲洗水源；电动阀门C连接三通C，三通C的另外两端分别与电动阀门D和微过滤器连接；电动阀门D与大型分析仪表模块连接；微过滤器设置在样水池内的中部；本发明中样水间隙性地淹没微过滤器并设置冲洗水源对微过滤器、取样管和样水管进行冲洗，延长了微过滤器的维护周期。
电动阀门微过滤器三通冲洗水池在线取样分析冲洗水泵分析仪表连接三通仪表模块源水池水处理间隙性地模块连接维护周期一端连接依次连接控制器水源进水端取样管水管淹没

[实用新型]一种新型高效节能农村污水一体化处理设备-CN201620247312.7有效
发明人：王光辉;贾伯林;杨志宏;徐前;邢岩;焦辉平;管雁南;郭建飞;肖卫云;王汐;殷达瑞;尹圣楠;冯锋;周稳全;陈渔兵;邵宇;沈杰 -专利权人：太平洋水处理工程有限公司
申请日： 2016-03-29 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型高效节能农村污水一体化处理设备，包括玻璃钢罐体、沿玻璃钢罐体中轴线方向设置的反应调节区、缺氧反应区、好氧反应区及沉淀排水区；所述反应调节区、缺氧反应区及好氧反应区内部依次沿玻璃钢罐体长轴方向设置具有弹性填料的绳挂式软填料支架；所述沉淀排水区底部设置一与污泥回流管连接的污泥回流泵，污泥回流管中部连接一释放箱，端部延伸至反应调节区底部。本实用新型的优点在于新型高效节能农村污水一体化处理设备能够对农村污水污染引发的疾病进行有效的控制,达到改善和保障农村人口生活环境，减少疾病传播的目的，应用广泛，整个污水处理过程耗时短、耗资少、使用寿命长，且能做到固液有效分离，处理达标。
一种新型高效节能农村污水一体化处理设备

[实用新型]一种智能应急储水净水系统-CN201620522459.2有效
发明人：杨志宏;贾伯林;王光辉;尹圣楠;冯锋;周稳全;陈渔兵;邵宇;沈杰;周小萍;杨雪峰;张振国;陈勇华 -专利权人：太平洋水处理工程有限公司
申请日： 2016-06-01 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智能应急储水净水系统，包括储水模块、清洁模块、净化模块及控制器；储水模块包括储水箱和电动阀门A；储水箱的上方固定设置有液位计和透气阀；储水模块通过水管固定连接电动阀门C；电动阀门C通过三通阀门A与清洁模块和日常用水水龙头连接；清洁模块包括电动阀门D，三通阀门B、增压泵、电动阀门G、三通阀门C和电动阀门E；电动阀门E通过清洗加药管路连接在储水箱的上端；电动阀门G的另一端连接清洗剂储池；净水模块包括电动阀门F和多重过滤装置；所述净水模块的另一端连接直饮水龙头；本实用新型通过设置有若干电动阀门、增压泵、紫外消毒器、超声波发生器和液位计，实现了控制器对系统的自动控制。
一种智能应急储水净水系统

[实用新型]一种水处理在线取样分析系统-CN201620549858.8有效
发明人：陈勇华;贾伯林;杨志宏;王光辉;冯锋;周小萍;尹圣楠;杨雪峰;周稳全;陈渔兵;邵宇 -专利权人：太平洋水处理工程有限公司
申请日： 2016-06-08 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水处理在线取样分析系统，包括源水池、常规分析仪表模块、样水池、微过滤器、大型分析仪表模块和控制器；源水池依次连接电动阀门A、常规分析仪表模块和三通A；三通A的另外两端分别与电动阀门E和电动阀门B连接；电动阀门E的另一端连接样水池；电动阀门B连接三通B，三通B的另外两端分别与冲洗水泵和电动阀门C连接；冲洗水泵的进水端连接冲洗水源；电动阀门C连接三通C，三通C的另外两端分别与电动阀门D和微过滤器连接；电动阀门D与大型分析仪表模块连接；微过滤器设置在样水池内的中部；本实用新型中样水间隙性地淹没微过滤器并设置冲洗水源对微过滤器、取样管和样水管进行冲洗，延长了微过滤器的维护周期。
一种水处理在线取样分析系统

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