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- [发明专利]工件检验与传送-CN97197169.2无效
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M·A·斯托克;D·R·法尔克纳;P·M·H·莫兰茨;M·G·皮尔瑟
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尤诺瓦英国有限公司
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1997-06-11
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2002-12-25
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B24B9/06
- 使圆形工件从第一个检验工位移至第二个加工工位的工件定位和移动系统，包括用于固定圆盘工件的表面以便使圆盘工件从一个位置移至另一个位置的工件装夹装置；控制工件装夹装置的位置并适于在至少两个互相垂直的方向上移动的机器人装置，当圆盘占据第一个工位时这两个方向均平行于圆盘的表面；使圆盘在检验工位和加工工位旋转的装置；当圆盘在第一个工位旋转时确定圆盘几何中心位置的检验装置；以及计算装置，计算由检验装置所传递的需沿机器人装置的两个互相垂直的运动方向移动的距离，以使圆盘的几何中心移至已知坐标的第二个理想位置。计算装置包括用于存储上述坐标的存储器。坐标指工件装夹装置或上述第二个工位吸盘旋转中心的坐标。工件装夹装置由真空操纵。使用三轴机器人装卸半导体材料硅圆盘进行周缘磨削，采用沿机器人X轴和Z轴两轴的移动来控制第二个磨削工位真空吸盘上圆盘的定心。
- 工件检验传送
- [发明专利]具有单旋转主轴的机床-CN98806602.5无效
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P·B·利德比特
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尤诺瓦英国有限公司
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1998-06-23
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2002-03-27
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B24B41/04
- 特别用于磨削工件的机床，它具有单旋转主轴(2)，该主轴(2)携带固定的杯形内砂轮(8)和轴向可滑动的杯形外砂轮(22)。T形环状活塞(14)在槽内与主轴配合，以便形成前和后环形腔，液压油可以相互连通到每一环形腔。活塞具有安装砂轮(22)的外部(18)，优选地是安装两个砂轮中的粗磨砂轮。齿形定位装置(32)在活塞(14)每一侧与主轴上相应的装置(34)啮合，以便防止砂轮(22)的相对转动，并当砂轮(22)超过内砂轮(8)前进到它的加工位置时提供驱动转矩。$#!
- 具有旋转主轴机床
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