专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]锣切一体机-CN202111447398.X有效
  • 刘轩;宋勇超;周伟;李志强;俞勤;陈楚杰;胡洋;黄金鹏;黄蓉 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2021-11-30 - 2023-01-31 - B23D79/00
  • 本发明涉及一种锣切一体机,包括锣切底座、锣切支架、X轴组件、Y轴组件、第一切割刀具以及第二切割刀具,所述锣切支架及所述X轴组件安装在所述锣切底座上,所述X轴组件可用于承载待切割件并可驱动其承载的待切割件沿X轴方向运动;所述Y轴组件安装在所述锣切支架上,所述第一切割刀具及所述第二切割刀具安装在所述Y轴组件上,所述Y轴组件可驱动所述第一切割刀具及所述第二切割刀具沿Y轴方向运动,所述第一切割刀具可用于曲线切割,所述第二切割刀具可用于直线切割。该锣切一体机使得第一切割刀具可在X轴组件及Y轴组件的作用下进行曲线切割,第二切割刀具可在X轴组件的作用下进行直线切割,达到提高实用性的目的。
  • 一体机
  • [发明专利]自动上下料机以及自动上下料加工系统-CN202210087360.4有效
  • 宋勇超;李志强;周伟;俞勤;陈楚杰;黄金鹏;胡洋;曹汉富;黄蓉 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2023-01-17 - B23Q7/00
  • 本发明涉及半导体制造设备领域,具体提供一种自动上下料机以及自动上下料加工系统。其中自动上下料机包括基座、料盒矫正机构、物料调整及推出机构、传送带机构、三轴取放机构、缓存机构、旋转取放机构以及工作台;所述物料调整及推出机构位于所述基座的一侧,所述料盒矫正机构设于所述物料调整及推出机构上,所述传送带机构邻近所述物料调整及推出机构设置,所述传送带机构、所述缓存机构、所述旋转取放机构以及所述工作台沿X轴依次排列设于所述基座上,所述三轴取放机构固定于所述基座上且邻近所述传送带机构和所述缓存机构设置。本发明的自动上下料机能实现自动化上料及下料且结构简单。
  • 自动上下以及加工系统
  • [发明专利]一种能实现自由旋转的电气导通工作台-CN202111453037.6有效
  • 宋勇超;刘轩;李志强;周伟;俞勤;陈楚杰;胡洋;黄金鹏;黄蓉 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2021-11-30 - 2022-10-14 - B25H1/14
  • 本发明涉及一种能实现自由旋转的电气导通工作台,包括安装底座、驱动电机、芯体以及吸附组件,所述驱动电机包括定子以及转子,所述定子安装在所述安装底座上,所述转子安装在所述定子上并可相对所述定子进行θ轴旋转;所述吸附组件包括吸盘,所述吸盘安装在所述转子上,所述吸盘上形成有用于真空吸附的第一真空通道;所述芯体穿过所述定子及所述转子安装在所述吸盘与所述安装底座之间,所述芯体上形成有用于真空吸附的第二真空通道,所述第二真空通道的一端与所述第一真空通道连通,以用于对待加工产品进行吸附固定;所述第二真空通道的另一端露出于所述安装底座。该能实现自由旋转的电气导通工作台可有效避免吸盘在长期使用后发生倾斜,还可使吸盘可实现无限旋转。
  • 一种实现自由旋转电气工作台
  • [实用新型]料盒矫正机构-CN202220206274.6有效
  • 宋勇超;李志强;俞勤;周伟;陈楚杰;胡洋;黄金鹏 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-08-23 - B65G47/24
  • 本实用新型涉及一种料盒矫正机构,包括矫正底板以及矫正组件,矫正底板具有矫正面以及安装面,矫正面设置有可放置料盒的第一矫正区域以及第二矫正区域,第一矫正区域与第二矫正区域相接的位置设置有第一限位块,第一矫正区域内设置有不与第一限位块平行的第二限位块,第二矫正区域内设置有不与第一限位块平行的第三限位块;矫正组件安装于安装面,矫正组件可驱动放置于第一矫正区域内的料盒及放置于第二矫正区域内的料盒运动,以使放置于第一矫正区域内的料盒可同时与第一限位块及第二限位块相贴,并使放置于第二矫正区域内的料盒可同时与第一限位块及第三限位块相贴。该料盒矫正机构可对两个料盒进行位置矫正。
  • 矫正机构
  • [实用新型]一种适用于基板传输的装置-CN202220209075.0有效
  • 宋勇超;周伟;俞勤;李志强;胡洋;黄金鹏;陈楚杰 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-08-23 - B65G47/82
  • 本实用新型涉及一种适用于基板传输的装置,包括限位组件、推料组件以及用于输送基板的传送带组件,传送带组上设置有第一输送位置以及第二输送位置,限位组件靠近第一输送位置设置,推料组件靠近第二输送位置设置,传送带组件具有送料状态以及出料状态;当传送带组件处于送料状态时,传送带组件上的基板可沿第一方向由靠近第二输送位置的一侧输送至第一输送位置,限位组件可对处于第一输送位置的基进行限位;当传送带组件处于出料状态时,传送带组件上的基板可沿与第一方向相反的第二方向由靠近第一输送位置的一侧输送至第二输送位置,推料组件可将处于第二输送位置的基板推出。该适用于基板传输的装置可满足不同的基板传送需求。
  • 一种适用于传输装置
  • [实用新型]一种适用于基板的位置校正及夹持装置-CN202220209206.5有效
  • 宋勇超;周伟;黄蓉;陈楚杰;胡洋;黄金鹏;李志强;俞勤;曹汉富 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-08-23 - H01L21/683
  • 本实用新型涉及半导体制造设备领域,具体提供一种适用于基板的位置校正及夹持装置,包括缓存台,缓存台的顶部具有若干个向内凹陷且与基板配合的吸附槽,吸附槽的底部开设有气孔,缓存台的内部具有气路通道,气路通道与气孔连通,吸附槽的两侧具有在竖直方向上贯穿缓存台且相对设置的通孔;固定于缓存台的底部的夹持组件,夹持组件包括固定于缓存台的底部的驱动件以及与驱动件固定连接且用于夹持固定基板的夹持部,夹持部贯穿通孔设置,驱动件驱动夹持部远离或靠近基板;与气路通道连接的真空发生器,真空发生器用于将吸附槽内的空气抽离以固定基板。本实用新型的适用于基板的位置校正及夹持装置精度高且能很好地固定基板。
  • 一种适用于位置校正夹持装置
  • [实用新型]物料调整及推出装置-CN202220202297.X有效
  • 宋勇超;周伟;陈楚杰;刘轩;李志强;俞勤;黄金鹏;胡洋;黄蓉 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-08-09 - B65G47/82
  • 本实用新型涉及一种物料调整及推出装置,包括推出机构、托料机构、第一驱动机构以及第二驱动机构,所述托料机构上可放置有物料,所述托料机构安装在所述第一驱动机构上,所述第一驱动机构用于驱动所述托料机构沿第一方向运动,所述第一驱动机构安装在所述第二驱动机构上,所述第二驱动机构用于驱动所述第一驱动机构沿第二方向运动,所述推出机构用于将所述第一驱动机构上的物料沿第三方向推出;所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两垂直。该物料调整及推出装置通过第一驱动机构与第二驱动机构的驱动随时调整物料的位置,达到提高推出上料的准确度及效率的目的。
  • 物料调整推出装置
  • [实用新型]一种适用于基板的三轴取放装置-CN202220210176.X有效
  • 宋勇超;周伟;俞勤;刘轩;李志强;黄蓉;陈楚杰;胡洋;黄金鹏 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-08-09 - B25J9/02
  • 本实用新型涉及一种适用于基板的三轴取放装置,包括X轴驱动组件、Y轴驱动组件、Z轴驱动组件以及可对基板进行吸附的吸附组件,Y轴驱动组件安装在X轴驱动组件上并由X轴驱动组件进行沿X轴方向的驱动,Z轴驱动组件安装在Y轴驱动组件上并由Y轴驱动组件进行沿Y轴方向的驱动,吸附组件安装在Z轴驱动组件上并由Z轴驱动组件进行沿Z轴方向的驱动,以靠近或远离Z轴驱动组件;Z轴驱动组件上设置有传感器,吸附组件上设置有挡块;Z轴驱动组件驱动吸附组件向靠近Z轴驱动组件的方向运动时,挡块可与传感器抵接;传感器与挡块抵接时,Z轴驱动组件停止对吸附组件进行向靠近Z轴驱动组件方向的驱动。该适用于基板的三轴取放装置可避免Z轴驱动组件与吸附之间发生碰撞。
  • 一种适用于三轴取放装置
  • [实用新型]真空吸附工作台以及真空吸附装置-CN202220210178.9有效
  • 宋勇超;周伟;李志强;黄蓉;陈楚杰;胡洋;黄金鹏;俞勤;曹汉富 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-08-09 - B25H1/00
  • 本实用新型涉及半导体制造设备领域,具体提供一种真空吸附工作台以及真空吸附装置。其中真空吸附工作台包括工作台本体,工作台本体的顶部设有若干个独立的吸附结构,所述工作台本体的内部设有气路通道,所述吸附结构设有向内凹陷的吸附槽,所述吸附槽的底部开设有与所述气路通道连通的第一气孔,所述工作台本体的底部开设有与所述气路通道连通的第二气孔,所述吸附结构的边缘还设有用于排水的排水槽。本实用新型的真空吸附工作台,通过在工作台本体上设置若干个独立的吸附结构,使每个吸附结构都能与一块基板形成独立的密封空间,大大增加了加工的灵活度;在吸附结构的边缘设置排水槽,能将在加工过程中残留在工作台本体上的水排出。
  • 真空吸附工作台以及装置
  • [实用新型]一种适用于基板的旋转取放装置-CN202220211982.9有效
  • 宋勇超;李志强;黄蓉;周伟;俞勤;刘轩;胡洋;黄金鹏;陈楚杰 - 深圳市华腾半导体设备有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-08-09 - H01L21/677
  • 本实用新型涉及半导体制造设备领域,具体提供一种适用于基板的旋转取放装置,包括:旋转电机、传动组件、转轴组件以及可对基板进行吸附的吸附组件;所述旋转电机与所述传动组件驱动连接,所述转轴组件的一端与所述传动组件连接,所述转轴组件的另一端设有连接部,所述连接部的两端分别对称设有所述吸附组件;所述吸附组件包括固定于所述连接部的Z轴驱动件、与所述Z轴驱动件固定连接的吸附底板以及若干个设于所述吸附底板上的吸嘴,所述吸嘴可吸附所述基板;旋转电机驱动转轴组件旋转,从而带动连接部和吸附组件绕转轴组件的轴心旋转;Z轴驱动件驱动吸嘴沿Z轴方向直线运动以靠近或远离Z轴驱动件。本实用新型能同时实现上料和下料。
  • 一种适用于旋转装置

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