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[发明专利]一种碳化硅晶体边缘切削自适应调节的防停机-CN202310643954.3在审
发明人： 奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅晶体加工技术领域，具体是涉及一种碳化硅晶体边缘切削自适应调节的防停机；包括工作台、旋转切削单元、加热装置、冷却装置、翻转提升装置和旋转架；通过冷却装置、加热装置和翻转提升装置的相互配合，能够实现旋转架在无需拆解的情况下，同时对旋转架进行加热和冷却，有效的解决了现有技术中需要将旋转架拆卸加热以及冷却时间过长的技术问题，通过旋转架与旋转切削单元的配合，使得旋转切削单元与旋转架反向旋转，进而提升刀头的切削效果，并且通过旋转切削单元的设置，能够切削不同直径以及厚度的碳化硅晶片，进一步提升设备的实用性。
一种碳化硅晶体边缘切削自适应调节停机

[发明专利]一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置-CN202310923139.2在审
发明人： 奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于碳化硅长晶炉的送料装置，包括安装板，安装板的两侧分别开设有若干安装槽口，安装板的一端固定连接支撑筒体的底部，支撑筒体的一侧开设有竖向滑口，竖向滑口的顶部连通有横向滑口，横向滑口开设在支撑筒体的顶部，支撑筒体内活动设有送料组件，送料组件固定连接活动环，活动环滑动套接在支撑筒体外，活动环的一侧外壁固定连接伸缩件的一端，伸缩件的另一端固定连接夹持机构，夹持机构的底部连接有放置盘。本发明提供的送料组件，以升降配合旋转的方式，同时横向滑口和竖向滑口的配合，限制旋转的角度，使装料、送料的位置更加固定且精准，同时可以适用炉口较高的碳化硅长晶炉，无需人工在攀爬操作。
一种应用于碳化硅长晶炉装置

[发明专利]一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置-CN202311057210.X在审
发明人： 奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-08-22 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置，涉及半导体碳化硅衬底微管检测技术领域；包括：第一安装架，所述第一安装架上通过安装轴安装有传送链组件，第一安装架一侧安装有用于驱动传送链组件的驱动组件；安装框，安装框等距安装于传送链组件上；容纳座，容纳座用于容纳微管，容纳座可拆卸的安装于安装框内；检测机构，检测机构包括安装罩，安装罩的位置与安装框适配。本发明通过设置传送链组件、检测机构等结构，能够利用传送链组件工作，对装有微管的容纳座进行输送，输送至检测机构下方时，能够利用CCD检测组件对微管进行检测，安装罩能够防止外界光照干扰，提升了实用性，保障了检测的可靠性。
一种半导体碳化硅衬底尺寸微管检测吸附装置

[发明专利]一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉-CN202310923201.8在审
发明人： 奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉，包括加热冷却子系统及坩埚旋转系统，所述加热冷却子系统包括保温结构、加热组件及冷却组件，所述坩埚旋转系统包括旋转结构、绝缘保护结构及坩埚结构，还包括机架结构，所述机架结构包括机体及机板。本发明采用旋转结构中的主轴带动坩埚结构进行旋转，在主轴旋转时，四个从动齿轮带动四个L型架绕主轴转动，使得横轴实现绕主轴的转动，同时横轴因为锥齿环与锥齿轮的啮合关系实现自转，这样多个稳定杆端部的第一滚珠会对主轴上的球形轴进行支撑，保证主轴定心平稳转动，保证坩埚结构的平稳转动，使得加热时温度场分布更易控制，保证温度均匀性，保证晶体的生产品质。
一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统

[实用新型]一种PVT法生长SiC晶棒的石墨坩埚-CN202320364829.4有效
发明人：王洁;奚衍罡;李海飞 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本申请涉及SiC长晶领域，一种PVT法生长SiC晶棒的石墨坩埚，包括石墨坩埚组件和碳素钢桶，石墨坩埚组件包括坩埚、上盖、结晶座、底座和搁板；底座安装在坩埚底面上，搁板安装在底座上，其中搁板的顶面为凸起，搁板的顶部沿圆周均匀设置有若干加热棒，坩埚的顶部盖装有上盖，籽晶粘贴于坩埚内上盖底部，上盖由螺纹连接结晶座，sic原材料升华至结晶座成核生长成晶棒，结晶座控制晶棒的扩径。碳素钢桶设置在石墨坩埚组件的外侧，碳素钢桶内壁及外侧贴裹石墨碳毡。本申请有利于保证传输通道畅通，防止原材料的再结晶，提高升华速率以及晶棒的生长长度和质量。
一种 pvt 生长 sic 石墨坩埚

[实用新型]一种碳化硅衬底片封装装置-CN202223427833.5有效
发明人： 奚衍罡;王洁 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及碳化硅技术领域，一种碳化硅衬底片封装装置，包括用于盛装衬底片的盒体单元和设置在盒体单元上的盒盖单元；盒体单元内设有多个用来容纳衬底片的存放槽和位于存放槽下方的空腔，且存放槽的底部和空腔连通，空腔内设有用来将衬底片取出的取片机构；盒盖单元包括滑动连接的内盒盖和外盒盖，其中内盒盖与盒体单元的顶部开口适配，且内盒盖的两侧设有的活动插销与盒体单元内壁的插槽适配，内盒盖上设有驱动活动插销伸缩的升降杆，其中外盒盖上设有与升降杆适配的限位槽。本申请提高了碳化硅衬底片的封装紧密程度，提高封装便捷程度，降低了脱落的风险。
一种碳化硅衬底封装装置

[实用新型]一种SiC晶棒料双向切割装置-CN202223427873.X有效
发明人： 奚衍罡;王洁 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请涉及SiC晶棒切割领域，一种SiC晶棒料双向切割装置，包括放线辊、收线辊、切割基台和夹持机构，放线辊和收线辊之间设有两组导线机构，切割基台的两侧均开设有切割槽位，导线机构安装在切割槽位上；放线辊的上方设有轴线相互平行的第一导向轮和第二导向轮，收线辊的上方设有与第一导向轮和第二导向轮对称的第三导向轮和第四导向轮，其中第一导线轮和第三导线轮的转轴上均转动连接有排线摆臂，排线摆臂的端部设有排线轮；夹持机构分别设置在切割槽位的开口处，包括晶棒放置架、移动架体和夹持部。本申请有效提高晶棒的切割质量和切割效率。
一种 sic 晶棒料双向切割装置

[实用新型]一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器-CN202223427825.0有效
发明人：王洁;奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B01D29/56 文献下载
摘要：本申请涉及一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器，包括筒体，筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒和过滤网之间设有间隙，筒体的内壁设有环形支撑板，过滤筒顶部固定连接有过滤板，且过滤板的四周搁置在环形支撑板上；过滤筒底部采用倒置的圆锥结构，其中过滤筒底部连接有螺旋导料机构，且螺旋导料机构贯穿筒体的侧壁；筒体的顶部可拆卸连接有顶盖，顶盖的顶部设有电机和砂浆进口，电机的输出轴上设有数个搅拌叶片；筒体的底部可拆卸连接有底座，过滤网设置在底座顶部，底座的底部开设有砂浆出口。本申请的砂浆过滤器方便过滤筒和过滤网的拆卸更换，简化了维护的难度，保证过滤效率的同时保证过滤质量的效果。
一种降低切割过程断线砂浆过滤器

[发明专利]一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置-CN202310542014.5在审
发明人： 奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明属于长晶炉技术领域，尤其是一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，针对长晶炉内壁钙质杂质有很强的附着性，很难将其去除的问题，现提出以下方案，包括水平设置的固定顶环，所述固定顶环的圆周内壁通过铰接固定有四个圆周阵列分布的固定夹爪，所述固定顶环的底部螺纹套接有圆周阵列分布的八组紧固机构，且每组紧固机构包括两个锁紧螺栓，所述固定顶环的圆周外壁中间位置开设有外环槽。本发明通过设置固定中轴为固定不动，通过清理刷轴筒的转动过程使得固定轴套圆周位移，由于啮合的转轴端齿轮与中轴固定齿轮，使得第二清理柱实现转动，对长晶炉内壁顽固的钙物质杂质进行搅落的过程，可以提高清理的效果。
一种用于生长过程中的长晶炉除尘装置

[发明专利]一种碳化硅晶体切割改善用防崩边及降低冲击力装置-CN202310644492.7在审
发明人： 奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及切割设备技术领域，具体是涉及一种碳化硅晶体切割改善用防崩边及降低冲击力装置，包括工作台、夹持模组、滑动模组、第一直线驱动器、加工模组、废料收集机构和压料模块，通过滑动模组的设置，能够调节第一夹持装置与第二夹持装置的相对位置，通过减震机构的设置可实现切割装置的输出端与碳化硅晶体之间的软着陆，从而有利于降低切割断面的崩边概率，通过夹持模组与压料模块的设置，能够实现碳化硅晶体的转动切割以及在切割过程中翘头的可能性，进而可大概率的降低切割断面的崩边的概率，通过冷却装置的设置，可实现对待切割的碳化硅晶体与切割装置之间进行冷却，防止因摩擦过热导致崩边。
一种碳化硅晶体切割善用防崩边降低冲击力装置

[发明专利]一种碳化硅原料酸洗提纯加工工艺-CN202310385915.8在审
发明人： 奚衍罡 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C01B32/956 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅原料酸洗提纯加工工艺，包括以下步骤：分别对碳化硅原料进行筛分和清洗处理，得到碳化硅颗粒；利用改进的BP神经网络模型输出与碳化硅颗粒成分相对应的酸洗参数；将筛选出的碳化硅颗粒放入酸洗槽，并利用输出酸洗参数的酸液对碳化硅颗粒进行酸洗处理；将酸洗后的碳化硅颗粒放入离子交换柱中进行离子交换；依次对离子交换后的碳化硅颗粒进行烘干及筛分处理，得到高纯度的碳化硅。本发明可以实现对酸洗参数的优化，相比于传统的加工工艺，不仅可以有效地提高碳化硅原料的酸洗效率及产品质量，而且还可以减少废料的产生，降低生产成本，提高生产稳定性，从而可以更好地满足于碳化硅原料的酸洗提纯加工需求。
一种碳化硅原料酸洗提纯加工工艺

[发明专利]一种PVT法制备大尺寸4H-碳化硅单晶扩径的生长装置及生长方法-CN202310193621.5在审
发明人：王洁;奚衍罡;李海飞 -专利权人：南通罡丰科技有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种PVT法制备大尺寸4H‑碳化硅单晶扩径的生长装置及生长方法，包括坩埚部件及机台，所述坩埚部件包括石墨锅体，所述石墨锅体顶面内侧开设扩口，所述扩口内侧套接结晶器组件。本发明中结晶器组件采用双锥形口的结构，截面呈现一种半工字型形状，使结晶器组件内外侧最大限度的缩小与石墨锅体内侧壁距离，通过石墨的热导效应，保证结晶器温度不至于过低，导热性能更佳，经过实际使用，在辅以合适的温度梯度后，即便制作6‑7英寸的大尺寸碳化硅晶体时，结晶器内侧壁也不会产生多晶连结，可以成功去除边缘多晶，不会影响碳化硅晶体的取出，也不会出现退火时因边缘多晶的影响导致晶体应力无法释放最终导致晶体开裂的现象。
一种 pvt 法制尺寸碳化硅单晶扩径生长装置方法

[实用新型]一种气相沉积炉的炉盖密封结构-CN202320029232.4有效
发明人： 奚衍罡 -专利权人：苏州冠岚新材料有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气相沉积炉的炉盖密封结构包括炉体和炉盖本体，所述炉盖本体位于炉体的上方，所述炉体的外壁固定连接有安装板，且安装板的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的外壁固定连接有发条弹簧，且发条弹簧的一端固定连接有连接件，所述连接件的一侧外壁固定连接有弹性密封带，所述安装板的顶部固定连接有限位杆，且限位杆的外壁与弹性密封带的外壁相接触，所述炉体的外壁固定连接有固定件，且弹性密封带的一端固定连接于固定件的一侧外壁，所述弹性密封带的内壁与炉体和炉盖本体的外壁相接触。本实用新型公开的气相沉积炉的炉盖密封结构具有提高装置使用时密封效果的作用，同时提高了产品的生产质量。
一种沉积密封结构

[实用新型]一种沉积炉的炉盖提升装置-CN202320031205.0有效
发明人： 奚衍罡 -专利权人：苏州冠岚新材料有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种沉积炉的炉盖提升装置，包括沉积炉本体和沉积炉盖体，所述沉积炉盖体安装固定在沉积炉本体的上端位置上，所述沉积炉本体的外侧设置有凹型金属机架，所述凹型金属机架的下端内侧设置有抵触固定杆，所述抵触固定杆的内端位于沉积炉本体外侧设置有圆弧夹板，所述沉积炉盖体的上端设置有双头提升板，所述双头提升板的外端设置有侧边限位器，所述双头提升板的上端位于凹型金属机架上设置有炉盖提升器，所述炉盖提升器与外部控制器电性连接。本实用新型公开的沉积炉的炉盖提升装置具有两侧驱动提升，从而有效避免提升晃动的技术效果。
一种沉积提升装置

[实用新型]一种用于生产碳化硅原料的破碎机-CN202223232685.1有效
发明人： 奚衍罡 -专利权人：苏州冠岚新材料有限公司
申请日： 2022-12-03 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B02C4/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于生产碳化硅原料的破碎机，包括机体，所述机体的两侧内壁活动连接有破碎锟，且机体包括顶板，所述顶板的顶端外壁固定连接有第二支架，且第二支架的内壁固定连接有步进电机，所述步进电机的外壁同时固定连接有支架，且支架底端外壁固定在顶板的顶端，所述步进电机包括输出端，且步进电机的输出端固定连接有支轴，所述支轴的一侧外壁固定连接有支撑圆板，且支撑圆板的一侧外壁设置有偏心杆，所述偏心杆的外壁活动套接有连接环，且连接环的内直径不小于支撑圆板的直径，本实用新型公开的用于生产碳化硅原料的破碎机具有有效解决了原料投放时卡住造成堆积的问题，保障了原料投放和粉碎的正常进行的效果。
一种用于生产碳化硅原料破碎

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