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[发明专利]兼容大焦深、高分辨率的多焦点并行激光划片设备-CN201911396634.2有效
发明人：余俊杰;周常河;夏克贵 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B23K26/402 文献下载
摘要：本发明公开了一种兼容大焦深、高分辨率的多焦点激光划片设备，属于激光划片、激光加工领域。所述激光划片设备包括激光工作模块、数字监控模块、自聚焦伺服模块、载片扫描模块。本发明激光划片机基于衍射光学元件实现横向和轴向多焦点阵列，最终实现多焦点并行划片。这种多焦点并行重复划片工作模式，一方面可以提高激光划片的工作效率，另一方面由于单焦点能量低于光热消融反应阈值而大大改善激光划片的切割面质量，避免由于热效应导致的崩边等不良效应。因而，本发明多焦点激光划片设备在半导体行业晶圆切割、LED行业芯片分割、太阳能电池划片、以及陶瓷、晶体等脆性材料切割等领域具有重要的实用价值。
兼容焦深高分辨率焦点并行激光划片设备

[发明专利]一种非平面透明元件的偏振特性检测装置及检测方法-CN202110412690.1有效
发明人：曾爱军;张灵浩;夏克贵;朱玲琳;孙晓冬;王振 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：一种非平面透明元件的偏振特性检测装置及检测方法，装置包括：偏振特性测量设备、匹配液、容器、夹持件；匹配液置于容器内，夹持件用于夹持非平面透明元件，并将其完全浸没于容器内的匹配液中；匹配液与非平面透明元件配合使用以使测量光束经过匹配液和非平面透明元件后的射出方向与单独经过平面透明元件后的射出方向一致；偏振特性测量设备用于检测非平面透明元件与匹配液配合使用的整体偏振特性，并基于整体偏振特性获得非平面透明元件的偏振特性。由于将非平面透明元件完全浸没于匹配液中，使测量光束经过匹配液和非平面透明元件后的射出方向与单独经过平面透明元件后的射出方向一致，进而达到平面透明元件的效果。
一种平面透明元件偏振特性检测装置方法

[发明专利]一种深紫外退偏器检测装置及检测方法-CN202010689303.4有效
发明人：曾爱军;张灵浩;夏克贵;朱玲琳;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种深紫外退偏器检测装置及检测方法。高端光刻机工作波长位于深紫外波段，可选用光学材料非常稀少，许多其他波段常用的偏振器件难以加工，这给退偏器的性能检测带来了困难。本装置中，单色光源发出的光依次通过布儒斯特起偏镜、待测退偏器和布儒斯特检偏系统。布儒斯特检偏系统包含布儒斯特检偏镜和探测器，由探测器记录出射强度。起偏和检偏镜的表面为平面，光以布儒斯特角入射，获得线偏反射光。由记录的出射光强度的最大值和最小值，可得到退偏光的偏振度，从而反映了退偏器的退偏性能。本发明提供的一种深紫外退偏器检测装置及检测方法具有结构稳定、光路简洁、元部件易生产制造等特点，满足了深紫外退偏器的检测需要。
一种深紫外退偏器检测装置方法

[发明专利]多光束输出的激光器-CN201710408615.1有效
发明人： 夏克贵;李建郎;李桂运;谭诗文;吴勇晓;孙雪焕 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：一种多光束输出的激光器，包括泵浦源、平面前腔镜、激光增益介质、平面输出耦合镜，其特点是在所述的激光增益介质和平面输出耦合镜之间置有腔内拼合透镜，所述的平面输出耦合镜位于所述的腔内拼合透镜的像方焦平面。本发明具有结构简单、激光增益介质利用率高和输出功率高的特点。
光束输出激光器

[发明专利]高阶拉盖尔-高斯光束固体激光器-CN201711310716.1在审
发明人：李建郎;吴勇晓;夏克贵;孙雪焕 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01S3/091 文献下载
摘要：一种高阶拉盖尔‑高斯光束的固体激光器，包括泵浦源，沿泵浦源的输出光方向还包括：聚焦透镜、环形光转换单元、激光增益介质、激光输出耦合镜。所述的环形光转换单元由双轴晶体和成像透镜组合而成，所述的双轴晶体放置在可旋转调整架的夹具上。本发明具有装置简单，输出功率高，输出光束质量好，输出横模可调等优点。
高阶拉盖尔光束固体激光器

[发明专利]基于达曼光栅的点阵输出固体激光器-CN201410158186.3有效
发明人： 夏克贵;李建郎;王峥 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-04-18 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： H01S3/0941 文献下载
摘要：一种基于达曼光栅的点阵输出固体激光器，激光器在光路上依次包括激光器泵浦源、准直透镜、点阵达曼光栅、聚焦透镜、激光介质、输出镜。激光器泵浦源输出端置于所述的准直透镜物方焦点处，所述的点阵达曼光栅工作波长为泵浦光中心波长，置于所述的准直透镜和所述的聚焦透镜中间，所述的激光介质的前表面镀有对激光全反、对泵浦光增透双色膜，作为激光器的前腔镜，激光介质的后表面镀有激光增透膜，所述的输出镜镀有激光部分透过膜，输出镜与激光介质前表面构成激光谐振腔。本发明是点阵输出的固体激光器，仅采用一个激光器泵浦源，使用一套准直、聚焦耦合系统对激光介质进行点阵泵浦，具有结构简单、紧凑和易实现的优点。
基于光栅点阵输出固体激光器

[发明专利]环形光泵浦、切换输出柱状矢量光的被动调Q固体激光器-CN201410161327.7在审
发明人：李建郎;方志强;夏克贵;韩侠辉;李桂运;王峥 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-04-22 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： H01S3/091 文献下载
摘要：一种环形光泵浦、切换输出柱状矢量光的被动调Q固体激光器，包括输出光束呈环形分布的泵浦源，沿泵浦源输出光束方向依次为泵浦耦合系统、激光增益介质、可饱和吸收体和输出耦合镜。本发明具有结构简单、紧凑，效率高、光束质量好，工作稳定、成本低、易于调试，通过改变泵浦功率即可实现切换输出柱状矢量偏振光，在输出为角向偏振光时通过调节晶体相对光轴的倾斜角度可以将输出切换为径向偏振光，柱状偏振光之间的切换对激光器效率无影响等优点。
环形光泵浦切换输出柱状矢量被动固体激光器

[发明专利]空心环形光束输出的固体激光器及其使用方法-CN201210049178.6有效
发明人：康民强;李建郎;夏克贵 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2012-02-29 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01S3/091 文献下载
摘要：一种空心环形光束输出的固体激光器及其使用方法，激光器包括泵浦源，在泵浦源输出的泵浦光方向依次是同光轴的耦合准直透镜、耦合聚焦透镜、激光增益介质和输出镜，泵浦源的输出端置于所述的耦合准直透镜物方焦点处，激光增益介质的前表面镀激光高反膜和泵浦光增透膜作为前腔镜，该激光增益介质的后表面镀激光增透膜，输出镜与激光增益介质前表面构成激光谐振腔，耦合聚焦透镜和激光增益介质各具有沿所述的光轴方向的移动调节机构，通过调节可使泵浦光经所述的耦合聚焦透镜的泵浦光的焦点位于激光增益介质的内部或者外部。本发明输出空心环形激光光束，具有结构简单紧凑、光束质量好、系统运行稳定和可实现性强的特点。
空心环形光束输出固体激光器及其使用方法

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