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[发明专利]用于分配气体混合物的设备和方法-CN202180039659.6在审
发明人： V·托多罗娃;埃尔韦·迪尔菲 -专利权人：液化空气电子系统公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于输送气体混合物的设备，该设备包括第一气体(1)源；第二气体(2)源；流体连接到第一气体(1)源和第二气体(2)源的混合器装置(3)，所述混合器装置(3)被配置成在出口(33)处产生包括该第一气体和该第二气体的气体混合物；第一流量调节器构件(41)和第二流量调节器构件(42)，该第一流量调节器构件和该第二流量调节器构件被配置成分别根据第一流量设定点(D1)和第二流量设定点(D2)来调节流向该混合器装置(3)的该第一气体的流量和该第二气体的流量，该第一流量设定点和该第二流量设定点定义了在操作中在该混合器装置(3)的出口(33)处的该气体混合物的生产流量(DP)；控制单元(5)，该控制单元被配置成控制该第一流量调节器构件和该第二流量调节器构件(41，42)，以便调整该第一流量设定点(D1)和该第二流量设定点(D2)相对于该生产流量(DP)的相应比例，所述相应比例是根据该气体混合物中第一气体和/或第二气体的至少一个目标含量(C1，C2)确定的；缓冲罐(7)，该缓冲罐一方面流体连接到该混合器装置(3)的出口(33)，并且另一方面流体连接到输送管线(6)，该输送管线(6)被配置成将该气体混合物以表示该气体混合物的可变消耗量的消耗流量(DC)输送到消耗单元(10)；至少一个测量传感器(8)，该至少一个测量传感器被配置成测量物理量并提供所述物理量的第一测量信号，该物理量的变化表示通过输送管线(6)输送的消耗流量(DC)的变化；控制单元(5)，该控制单元连接到该测量传感器(8)并且被配置成从该第一测量信号产生第一控制信号，这些流量调节器构件(41，42)被配置成响应于所述第一控制信号而调整该第一流量设定点(D1)和该第二流量设定点(D2)。
用于分配气体混合物设备方法

[发明专利]用来掺杂硅晶片的气体混合物的分配设备和方法-CN202180037953.3在审
发明人： V·托多罗娃;埃尔韦·迪尔菲 -专利权人：液化空气电子系统公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：披露了一种用于将气体混合物输送到硅晶片掺杂单元的设备，该设备包括：掺杂剂气体(1)源；载气(2)源；连接到该掺杂剂气体容器(1)和载气(2)源的混合装置(3)；第一流量调节构件(41)和第二流量调节构件(42)，用于调节流向混合装置(3)的掺杂剂气体(1)和载气(2)的流量；控制单元(5)，用于控制第一和第二流量调节器构件(41，42)以调整第一流量设定点(D1)和第二流量设定点(D2)的比例，所述比例是根据混合物中的掺杂剂气体(1)和/或载气(2)的至少一个目标含量(C1，C2)确定的；缓冲罐(7)；输送管线(6)，用于将混合物以消耗流量(DC)输送到掺杂单元(10)；至少一个测量传感器(8)，用于测量物理量并且提供第一测量信号，该物理量的变化表示消耗流量(DC)的变化；该控制单元(5)连接到传感器(8)并且被配置为基于第一测量信号来产生第一控制信号，这些流量调节构件(41，42)被配置为响应于第一控制信号来调整第一和第二流量设定点(D1，D2)。
用来掺杂晶片气体混合物分配设备方法

[发明专利]用于分配工作气体的设备-CN201680043671.3有效
发明人：阿济兹·欧尔顿;埃尔韦·迪尔菲;瓦莱尔·劳伦;史蒂法纳·西乌夫 -专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;液化空气电子系统公司
申请日： 2016-07-20 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于供应气体的设备(1)，该设备设有隔绝腔室以及门(101)，该隔绝腔室包括后壁(102)和两个侧壁(100)，该门围绕竖直轴线(X)枢转以便允许打开和关闭该腔室，所述设备(1)包括两个多功能块(3)，这两个多功能块保护流体回路、在所述腔室内部被附接至所述后壁上、并且各自包括：单个高压调节器(4)；由三个低压阀(V1，V2，V3)构成的吹扫系统；用于流体地连接至缸(B，B’)的内容物的器具(6)；以及允许为装备供应气体的出口，其特征在于，该高压调节器(4)位于该吹扫系统的上游，并且在所述后壁上每个多功能块的壁凹部的表面积小于270cm2、优选地小于220cm2。
用于分配工作气体设备

[发明专利]气体分配设备的远程控制-CN201680043403.1在审
发明人：阿济兹·欧尔顿;亨里克·多斯赖斯;埃尔韦·迪尔菲 -专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;液化空气电子系统公司
申请日： 2016-07-20 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：一种气体分配设备，包括：壳体，所述壳体适于接收至少一个气瓶并且具有气体输入开口和气体输出开口；被安排在所述壳体中的气体管道系统，所述至少一个气瓶连接到所述气体管道系统；链接到所述输出开口从而允许向装备单元进行供应的气体分配系统，其特征在于，所述气体分配设备包括至少一个通信端口以及可编程的逻辑控制器，所述逻辑控制器配备有处理器，所述处理器能够处理至少部分地源自不同于所述设备的便携式数据存储及处理系统的数据。
气体分配设备壳体气体管道系统逻辑控制器输出开口处理器气瓶气体分配系统便携式数据处理系统输入开口通信端口远程控制装备单元可编程存储配备

[发明专利]用于气体分配设备的可枢转触摸屏-CN201680043566.X在审
发明人：阿济兹·欧尔顿;埃尔韦·迪尔菲;亨里克·多斯赖斯 -专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;液化空气电子系统公司
申请日： 2016-07-20 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： F17C13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于供应工作气体的设备，该设备配备有隔离室(3)并且配备有能够绕竖直轴线枢转的门(3’)以便使所述隔离室(3)能够被打开和关闭；该设备包括至少一个加压工作气体的源(5，7)，所述源安排在该隔离室(3)中；并且该设备包括用于分配工作气体的装置(9)；该装置包括一组管路(15，21，23)，所述管路连接至至少一个工作气体的源(5，7)并且连接至至少一条输出管路(10，10A)以便将工作气体输送到会消耗其的站点(10B)；功能部件(25，25A)，尤其是安排在所述管路(15，21，23)中并用于调节其中工作气体流量的阀门(27，29，27A，29A)、和气体泄漏检测器(34，34A)；以及监测和指令单元(35，35A)；该监测和指令单元包括用于与所述功能部件(35，35A)通信的器件(37)，用于监测与所述功能部件(25，25A)相关的任务的器件(39)，以及用于控制所述监测器件(39)的、能够由该分配装置(9，9A)的操作员启动的器件(45)；所述控制器件(45)包括触摸屏(47)，该触摸屏具有与监测相应任务相关联的指令区(60，61，62，63，64，65，66，67，68)，其特征在于，所述触摸屏被附接到建造于该门(3’)中的壳体(47A)上，所述壳体(47A)能够并被设计成绕竖直轴线(Y)枢转。
用于气体分配设备可枢转触摸屏

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