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- [发明专利]一种超高真空样品转移腔-CN202010860212.2在审
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董国材;张祥;梁枫
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国成仪器（常州）有限公司
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2020-08-25
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2022-03-01
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G01N35/10
- 本发明公开了一种超高真空样品转移腔，包括：转移腔、辅助腔、传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀、进气阀、真空计组成，所述转移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰；所述辅助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，所述传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀与转移腔连接；所述插板阀另一端与辅助腔法兰连接，所述真空计、进气阀与辅助腔法兰连接。这样能保证样品在超高真空系统间转移时一直处于超高真空环境中，防止外界对样品的污染，同时不会破坏设备的真空，便于操作。
- 一种超高真空样品转移
- [实用新型]一种超高真空样品转移腔-CN202021785006.1有效
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董国材;张祥;梁枫
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国成仪器（常州）有限公司
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2020-08-25
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2021-06-01
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G01N35/10
- 本发明公开了一种超高真空样品转移腔，包括：转移腔、辅助腔、传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀、进气阀、真空计组成，所述转移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰；所述辅助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，所述传样磁力杆、摆动磁力杆、观察窗、离子泵、插板阀与转移腔连接；所述插板阀另一端与辅助腔法兰连接，所述真空计、进气阀与辅助腔法兰连接。这样能保证样品在超高真空系统间转移时一直处于超高真空环境中，防止外界对样品的污染，同时不会破坏设备的真空，便于操作。
- 一种超高真空样品转移
- [实用新型]一种五轴真空位移台-CN202021785249.5有效
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董国材;张祥;梁枫;张金龙
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国成仪器（常州）有限公司
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2020-08-25
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2021-05-28
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G01N35/10
- 本发明涉及真空设备,具体是一种五轴真空位移台，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，本发明实现在超高真空环境下的样品的立体驱动，Z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的要求，中空构造，同时X、Y、Z向直线滑驱动顺畅，X、Y、Z三个方向的驱动位置可精确控制,可针对不同的角度对样品进行旋转和偏转调整，易于操作。
- 一种真空位移
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