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[发明专利]螺纹槽泵机构、使用该螺纹槽泵机构的真空泵、及用于前述螺纹槽泵机构的转子、外周侧定子及内周侧定子-CN201480052339.4有效
发明人：坂口祐幸;和田昭彦;桦泽刚志 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2014-09-01 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种螺纹槽泵机构、使用该螺纹槽泵机构的真空泵、及用于前述螺纹槽泵机构的转子、外周侧定子及内周侧定子，所述螺纹槽泵机构抑制螺纹槽泵机构内的气体的逆流，并且减少螺纹槽泵机构的出口附近的泵径向上的压力差，使螺纹槽泵机构的排气性能及压缩性能提高。螺纹槽泵机构（PB）在外周侧螺纹槽部（71）和内周侧螺纹槽部（81）上具备排气性能提高机构，所述外周侧螺纹槽部（71）被刻设于外周侧定子（70）的相对于转子圆筒部（45）的对置面，所述内周侧螺纹槽部（81）被刻设于内周侧定子（80）的相对于转子圆筒部（45）的对置面。
螺纹机构使用真空泵用于前述转子外周侧定子内周侧

[发明专利]排气泵-CN201180028585.2有效
发明人：坂口祐幸;伊藤彰浩;和田昭彦 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2011-07-25 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供一种具备适于令去毛刺作业容易且能够提高气体的排气性能的的连通开口部的排气泵。构成为，排气泵（P）的转子（6）（筒形旋转部件）具备：在背面外周部具有环状凸部（60A）的板体（60）、和嵌入安装于该环状凸部（60A）的外周的筒体（61），该排气泵（P）的连通开口部（H）由将板体（60）的外周部以及环状凸部（60A）的外周部切去而形成的孔（H1、H2）构成，并且，该孔（H1、H2）整体中以横孔的方式开口的部分（具体而言孔（H2））被筒体（61）的上端部外周封闭。
气泵

[发明专利]涡轮分子泵-CN201180011499.0有效
发明人：坂口祐幸;三轮田透;和田昭彦 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2011-07-20 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中的一部分，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15a)构成的螺纹槽部被排出，剩余经由开口(51)而被引导至转子筒部(17)的内侧，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15b)构成的螺纹槽部被排出。开口(51)，在形成于转子叶片保持部(31)和台阶部(72)的接合部的情况下，能够承受转子(4)的旋转所导致的应力。另外，通过将设置有平衡器用的重锤的槽(61)设置于比定子螺纹槽(15b)更靠近吸气口侧的间隙部分，从而没有必要缩短定子螺纹槽(15b)的长度。
涡轮分子