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- [实用新型]单晶生产投料装置-CN97250230.0无效
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吴胜登
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浙江硅峰电子有限公司
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1997-11-21
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2000-03-29
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种直拉单晶炉单晶生产投料装置。它包括一个圆台状的筒体和设置在筒体底部的若干扇扇形门,以及位于筒体中心轴位置上的控制杆及其保护套四部分。筒体上设有定位圈、掺杂器;保护套由连接在筒体上的加强筋定位;控制杆下端是铁钉的尾部状结构,顶端设有连接槽和连接孔。它解决了现有直拉单晶炉生产单晶只能作一次性投料生产,一次(一炉)需要消耗一只石英坩埚;无法人为控制单晶纵向电阻率梯度;不能进行阶段性连续生产,每生产一炉都需停炉,设备利用率低的难题。
- 生产投料装置
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