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- [实用新型]一种高精度纳米划痕测试装置-CN202320766359.4有效
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张浩飞;吴浩翔;王博;何贵浩;刘通;刘宇欣;黄雅明;黄虎
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吉林大学
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2023-04-10
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2023-10-24
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G01N3/46
- 本实用新型涉及一种高精度纳米划痕测试装置,属于机电一体化领域。测试装置包括底座、大理石龙门架、z轴方向宏动调整单元、精密压入驱动单元、横向力检测单元、x轴方向调整单元、y轴方向调整单元和轴向力检测单元。其中z轴方向宏动调整单元安装在大理石龙门架上,精密压入驱动单元安装在z轴方向宏动调整单元上,横向力检测单元安装在精密压入驱动单元底部,x轴方向调整单元、y轴方向调整单元安装在底座上,轴向力检测单元安装在x轴方向调整单元上。优点在于:通过合理设计划痕主运动与力检测单元的结构,达到了结构简单、加工方便的目的,且可以实时检测划痕过程轴向力和横向力,提高了判断涂层剥落或延脆转变临界力的精准度。
- 一种高精度纳米划痕测试装置
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