专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种组合式晶圆检测传感器-CN202223295211.1有效
  • 吴凌峰;刘大威;徐铭 - 江苏启微半导体设备有限公司
  • 2022-12-09 - 2023-10-20 - H01L21/66
  • 本实用新型公开了一种组合式晶圆检测传感器,包括气动执行元件、固定在气动执行元件上并可在气动执行元件的带动下上下移动的连接件、固定在连接件上的可拆卸的固定块、以及多个垂直卡设在固定块上的用以检测晶圆片篮内晶圆的数量和位置的光电传感器;多个光电传感器错位排布,且后一光电传感器的发射器与前一光电传感器的接收器相对齐,气动执行元件和光电传感器均与控制器电连接。本实用新型实现了具有常规卡槽间距的晶圆片篮和具有特殊卡槽间距的晶圆片篮内的晶圆的兼容检测,能够精准检测出晶圆片篮内晶圆的数量和位置。
  • 一种组合式检测传感器
  • [实用新型]一种兆声波清洗装置的水槽结构-CN202320430470.6有效
  • 陈龙;吴凌峰;刘大威 - 江苏启微半导体设备有限公司
  • 2023-03-09 - 2023-10-20 - B08B3/12
  • 本实用新型公开了一种兆声波清洗装置的水槽结构,包括设置于兆声波盛水盘内的内槽、以及设置于内槽外侧并使其上边沿低于内槽上边沿的外槽,内槽的上部设置有管口贯穿外槽的水阻值计套管、下部设置有内槽进液管和内槽排液管,所述外槽的底部设计成前高后低的倾斜结构,且所述外槽后部的最低点处连接有外槽排液管,所述外槽排液管的排液流量大于所述内槽进液管的进液流量。本实用新型通过在内槽的外侧设置导流用的外槽,可使内槽内的液体溢流进外槽,避免溢流液体对兆声波装置造成影响,确保兆声波能够更好的去除晶圆片上的附着颗粒物,有效保证了晶圆清洗效率。
  • 一种声波清洗装置水槽结构
  • [实用新型]一种晶圆清洁的气体流场装置-CN202320769997.1有效
  • 季恺;吴凌峰;陈丁堃 - 江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司
  • 2023-04-07 - 2023-10-10 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种晶圆清洁的气体流场装置,应用于半导体制备领域,包括:晶圆清洁供风部件和形成气体通道的气体流场部件;气体流场部件中开有出风口,以及供晶圆承载部件移动和进出气体流场部件的缺口;缺口靠近晶圆清洁供风部件的一侧设置有增设挡壁,阻挡气体通道内的气体从缺口流出。本实用新型通过在气体流场部件中,缺口靠近晶圆清洁供风部件的一侧设置增设挡壁,进而减小该缺口的截面面积,达到阻挡气体通道内的气体从缺口流出的效果,有效防止了气体流场部件中气体的大量散失,降低了供风部件的能源消耗,进而提高了对晶圆进行清洁的效率。
  • 一种清洁气体装置
  • [实用新型]分体式钢箱梁桥-CN202320428913.8有效
  • 梅瀚雨;王昌将;陈向阳;李磊;魏益峰;徐祖恩;王国韬;庄万律;吴凌峰 - 浙江数智交院科技股份有限公司
  • 2023-03-03 - 2023-09-08 - E01D2/04
  • 本实用新型提供了一种分体式钢箱梁桥,涉及桥梁建设的技术领域,分体式钢箱梁桥包括桥体,桥体上具有贯穿其上下表面的开槽;桥体上设置有可活动的翻板机构,翻板机构用于封闭开槽或者将开槽打开。当用户观测到实际风速小于阈值风速时,可以将翻板机构关闭,以使中央开槽封闭,开槽处于不透风或接近不透风的闭合状态,从而阻断开槽处产生漩涡,防止涡振发生。当实际风速大于阈值风速时,可以将翻板机构打开,以使中央开槽透风,此时桥体中央开槽处于全透风状态,颤振性能较好。因此,根据实时风速大小改变中央开槽开闭状态,翻板机构在不同风速下的闭合和打开状态用于分别控制涡振和颤振。
  • 体式钢箱梁桥
  • [实用新型]一种晶圆传送装置及晶圆清洗设备-CN202320862437.0有效
  • 陈军宇;吴凌峰;刘大威;徐铭 - 江苏启微半导体设备有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司
  • 2023-04-18 - 2023-09-01 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种晶圆传送装置及晶圆清洗设备,包括限位模组,包括对称设于平台上晶圆盒承载位四周的限位块,限位块包括第一凹槽和第二凹槽,在一个晶圆盒承载位上实现不同尺寸的晶圆盒的限位固定;传送模组,包括托板与托举移动装置,托板上设置有承载第一尺寸的晶圆盒的第一卡槽,及承载第二尺寸的晶圆盒的第二卡槽,托举移动装置用于托起托板,并带动托板在竖直方向与水平方向的移动,以实现不同尺寸的晶圆盒的传送。本申请提供的一种晶圆传送装置及晶圆清洗设备,通过限位模组的限位块实现对不同尺寸的晶圆盒的限位固定,由传送模组完成对不同尺寸的晶圆盒的传送,不同尺寸的晶圆盒用于存放不同尺寸的晶圆,以降低晶圆运输的难度及成本。
  • 一种传送装置清洗设备

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