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[发明专利]台阶单片式光谱芯片制备方法-CN201911189981.8有效
发明人：张晨;刘舒扬;赵安娜;吕津玮;王天鹤;刘建辉;贾晓东 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明属于光谱成像技术领域，具体涉及一种台阶单片式光谱芯片制备方法。与现有技术相比较，本发明在多层堆叠分布式布拉格镜结构模拟设计和制造的基础上，采用CMOS工艺兼容的材料，以高反射率的布拉格镜为FP腔镜，在CMOS图像传感器上直接设计生长FP分光薄膜结构，形成单芯片单谱段光谱成像微系统；前期主要是目标是完成单谱段和双谱段的光谱成像芯片，在此基础上，逐渐实现多谱段台阶式的光谱成像芯片。本发明提高了台阶式光谱芯片制备的制造效率，节省了加工时间，有效的降低了工艺中掩膜和光刻的工艺次数，降低了光谱芯片的制造成本，使之更加具有竞争力。
台阶单片光谱芯片制备方法

[发明专利]单芯片集成型光谱成像微系统光谱数据校正方法-CN201911190015.8有效
发明人：刘舒扬;赵安娜;吕津玮;张晨;周涛;贾晓东 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01J3/12 文献下载
摘要：本发明属于光谱成像技术领域，具体涉及一种单芯片集成型光谱成像微系统光谱数据校正方法。所述校正方法包括：步骤1：完成底层校正算法的设计；步骤2：根据底层校正算法计算校正矩阵；步骤3：将校正矩阵作用于光谱成像微系统输出光谱数据，得到校正后结果。本发明相对于现有迭代校正的技术方法，从硬件结构特性出发，提高了光谱成像微系统的光谱数据准确度。同时，减小校正矩阵对参考目标光谱数据的依赖性，对于不同的实际场景下应用均适用。底层校正算法的引入，初步解决了光谱成像微系统硬件结构及固有特性带来的影响光谱准确因素对光谱数据的影响问题，提高了光谱成像微系统光谱数据准确度。
芯片集成光谱成像系统数据校正方法

[发明专利]高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构-CN201911190019.6有效
发明人：刘舒扬;赵安娜;吕津玮;张晨;周涛;贾晓东 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01J3/12 文献下载
摘要：本发明属于光谱成像技术领域，具体涉及一种高低通分布式单谱段集成型光谱成像芯片结构。所述芯片结构采用RGBG对应滤波单元呈两行两列排列的拜耳阵列结构，在CMOS传感器对应像素上集成不同滤波器，由四个微型滤波单元构成一个周期，按照该结构进行周期排列，形成单谱段光谱成像芯片的结构。其中，在每个所述周期中，包含两个相同中心波长的FPI滤波单元以及高通滤波单元、低通滤波单元；本发明中像素级微小高通滤波及低通滤波单元作为单谱段光谱成像微系统芯片结构组成部分，相对于现有技术依赖不同滤波器，该发明结构的单谱段光谱成像微系统结构应用简单，且半导体集成微小滤波单元相对于分立滤波器而言，成本较低，制作工艺成熟。
高低通分布式单谱段集成光谱成像芯片结构

[发明专利]基于移动设备屏幕光源的光谱解调系统及方法-CN201811299579.0有效
发明人：刘舒扬;张晨;吕津玮;贾晓东 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01J3/42 文献下载
摘要：本发明属于光谱检测技术领域，具体涉及一种基于移动设备屏幕光源的光谱解调系统及方法。该系统利用移动设备终端的屏幕作为光谱成像检测的光源，通过调节屏幕发出不同波长的光，作为光谱成像系统的光源，实现对目标的照射，利用光谱成像设备获取光谱图像系统，通过光谱拟合算法获取目标不同波长下的光谱信息。与现有技术相比较，本发明通过以上技术方案，可将普通随身携带的移动设备屏幕作为光源，将传统的光学结构组成的复杂光源环境，用可便携的移动设备屏幕和软件拟合的方式替代，提供了便携性，体积重量较小，可以在不同场景中进行使用。
基于移动设备屏幕光源光谱解调系统方法

[发明专利]宽光谱范围的半导体工艺兼容高光谱成像芯片设计方法-CN201910184639.2有效
发明人：刘舒扬;王天鹤;张晨;吕津玮;贾晓东 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种易加工的宽光谱范围的半导体工艺兼容高光谱成像芯片设计方法，涉及半导体技术领域。本发明提供一种宽光谱范围、高光谱分辨率，高信噪比的FPI的腔镜设计，实现了一种宽光谱范围，高光谱分辨率，高信噪比的工艺兼容高光谱成像集成芯片。其中在设计半导体工艺的高光谱成像芯片时，考虑到高光谱需要涵盖更多的谱段数，通过对成像芯片结构的布拉格膜系的中心波长设计，并对布拉格镜膜系中心波长进行了优化设计，展宽了高光谱成像芯片的可用光谱范围，保证了FP腔长改变或调谐波长的过程中，滤波带宽的最优化，避免可用光谱范围变窄，边缘谱段的分辨率变差，信噪比变差，导致识别目标的特征谱段无法被区分等问题。
光谱范围半导体工艺兼容成像芯片设计方法

[发明专利]面向绿色植被检测的凝视型光谱芯片结构及其制备方法-CN201910220618.1有效
发明人：刘舒扬;张晨;王天鹤;吕津玮;贾晓东 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种面向绿色植被检测的凝视型光谱芯片结构及其制备方法，涉及光谱成像技术领域。本发明在具有较好透过率的光谱范围内，能够构造成一种3*3结构的马赛克式大滤波透镜阵列结构的面向绿色植被检测的凝视型光谱芯片结构，该面向绿色植被检测的凝视型光谱芯片结构可以集成为多光谱相机，能够实现快照拍摄。由于是半导体器件级别，体积小、重量轻、可以集成在不同的应用平台，此外成本也低。可将多光谱成像拓展在更广的应用场景中。该结构的面向绿色植被检测的凝视型光谱芯片结构主要是面向绿色植被检测的，可以用反伪装检测应用、叶绿素含量检测和蓝藻水华检测。
面向绿色植被检测凝视光谱芯片结构及其制备方法

[实用新型]一种烟气分析仪-CN201621334256.7有效
发明人： 吕津玮;周涛;贾晓东 -专利权人：天津津航技术物理研究所
申请日： 2016-12-06 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： G01N21/33 文献下载
摘要：本实用新型属于气体检测领域，具体涉及一种基于紫外吸收光谱和氧气传感器的烟气分析仪。本实用新型的分析仪包括信息采集系统、信息处理系统、整机供电系统和外设模块。信息采集系统用于烟气信息的采集；信息处理系统用于对所述外设模块进行控制以及对所述信息采集系统采集的数据进行浓度解算处理；整机供电系统用于对整机提供直流供电；外设模块分别用于控制信息采集系统中光源的参数，对氧气传感器进行供电并将氧气传感器采集的数据发送至工控机，以及获取工控机的控制参数，并将信息采集系统采集到的浓度数据转换为电流信号进行输出。本实用新型提出的烟气分析仪能够实现烟气的快速检测且便于携带，方便使用。
一种烟气分析

[实用新型]双测头结构-CN201120156007.4有效
发明人：李醒飞;陈诚;谭文斌;董成军;吕津玮;李想 -专利权人：天津大学
申请日： 2011-05-13 - 公布日： 2012-01-04 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了双测头结构，它包括测头，所述的测头为两个，两个所述的测头的端部按照预定的间距固定连接在转接板上，所述的转接板与测量仪器主轴垂直固定相连。本实用新型的突出优点是：在原有测量仪器的基础之上，将单测头改为双测头，机械结构改动不大，容易实现，且不增加运动控制系统的复杂度，避免了运动过程中引入误差，保证了原有仪器精度，减小了测头在测量过程中的运动时间，提高了测量效率。
双测头结构

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