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- [实用新型]一种氧化物薄膜晶体管-CN202221022743.5有效
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陈玉云;沈奕;吕岳敏;杨秋强;余荣;陈远明
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汕头超声显示器技术有限公司
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2022-04-29
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2022-08-02
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H01L29/786
- 本实用新型涉及一种氧化物薄膜晶体管,包括设置在基板上的栅极和绝缘层,以及有源层、源极、漏极和沟道保护层,栅极被绝缘层所覆盖,有源层、源极、漏极均设置在绝缘层的上表面上,沟道保护层设置在有源层上表面的沟道部位上,源极、漏极相对设置并与有源层顶部搭接,源极、漏极为由金属层图形化而成的金属电极,源极、漏极分别设有向沟道保护层顶部延伸的源极延伸部、漏极延伸部,源极延伸部和漏极延伸部覆盖沟道保护层而构成沟道保护层的遮挡结构,源极延伸部与漏极延伸部之间设有缝隙。这种氧化物薄膜晶体管不仅结构紧凑,而且遮光效果好,能够避免在外部光照环境下其沟道部位出现漏电的情况,从而保证沟道部位的半导体开关特性。
- 一种氧化物薄膜晶体管
- [发明专利]一种氧化物薄膜晶体管-CN202210465622.6在审
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陈玉云;沈奕;吕岳敏;杨秋强;余荣;陈远明
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汕头超声显示器技术有限公司
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2022-04-29
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2022-07-22
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H01L29/786
- 本发明涉及一种氧化物薄膜晶体管,包括设置在基板上的栅极和绝缘层,以及有源层、源极、漏极和沟道保护层,栅极被绝缘层所覆盖,有源层、源极、漏极均设置在绝缘层上,沟道保护层设置在沟道部位上,源极、漏极相对设置并与有源层顶部搭接;沟道保护层包括混有吸光物质的光敏树脂涂层;源极、漏极为由金属层图形化而成的金属电极,源极、漏极分别设有向沟道保护层顶部延伸的源极延伸部、漏极延伸部,源极延伸部和漏极延伸部覆盖光敏树脂涂层而构成沟道保护层的遮挡结构,源极延伸部与漏极延伸部之间设有缝隙。本发明不仅结构紧凑,而且遮光效果好,能够避免在外部光照环境下其沟道部位出现漏电的情况,从而保证沟道部位的半导体开关特性。
- 一种氧化物薄膜晶体管
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