专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆释放方法-CN202210890755.8在审
  • 金亨源;金成旭;郑熙锡 - 吉佳蓝科技股份有限公司
  • 2022-07-27 - 2023-03-28 - H01L21/67
  • 本发明公开一种晶圆释放方法,其用于晶圆处理系统及晶圆处理方法。本发明的晶圆释放方法包括:使施加于卡盘的电压的极性反转的极性反转步骤;使容纳在卡盘的升降销以第一移送速度从卡盘上升以将支撑于卡盘的晶圆移送到第一设定位置的第一移送步骤;以及使升降销以不同于第一移送速度的第二移送速度上升以将配置于第一设定位置的晶圆移送到高于第一设定位置的第二设定位置的第二移送步骤。
  • 释放方法
  • [发明专利]喷头-CN202210215541.0有效
  • 金龙洙;金荣范;郑熙锡 - 吉佳蓝科技股份有限公司
  • 2022-03-07 - 2023-03-24 - B05B1/00
  • 本发明的一实施例公开一种喷头,包括:气体分配板,具有多个气孔以使一个以上气体通过;第一支承部件,配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面;以及第二支承部件,配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面即第二面,并且形成为比所述第一支承部件小。
  • 喷头
  • [发明专利]包括与升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置-CN201811368390.2有效
  • 郑相坤;金亨源;权赫俊;郑熙锡 - 吉佳蓝科技股份有限公司
  • 2018-11-16 - 2023-01-31 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种包括与在腔室的内部升降的引导部联动的排气调节部的基板处理装置。本发明包括:腔室,其包括处理物质形成区域、处理区域以及排出区域;夹盘,其使基板位于处理区域;引导部,其将处理物质引导至处理区域;排出部,其形成有排出处理物质的多个排气孔;上升下降部,其在基板被搬入及搬出腔室时在腔室的内部使引导部上升,且在处理基板时在腔室的内部使引导部下降;驱动部,其向上升下降部提供驱动力;以及排气调节部,其与上升下降部联动而上升下降,上升下降部在上升下降的一部分区间使引导部和排气调节部一同升降,且在上升下降的另外的一部分区间使排气调节部升降来调节排出部的排出量。
  • 包括升降引导联动排气调节处理装置
  • [发明专利]基板配合连接器-CN202011153669.6有效
  • 郑敬勋;宋和伦;金永祚;李瑜珍;李在浚;徐相民;郑熙锡 - 吉佳蓝科技股份有限公司
  • 2020-10-26 - 2022-12-20 - H01R13/502
  • 本发明涉及一种基板配合连接器,包括:第一主体部,在内部形成第一中空;信号接触部,插入于所述第一中空;电介质部,位于所述第一主体部与所述信号接触部之间;第二主体部,在内部形成第二中空,并位于所述电介质部与所述第一主体部之间,且由金属板材形成;接地接触部,从所述第二主体部的上侧向上方延伸,并被多个狭缝分离成多个而具备弹性;以及固定部,从所述第二主体部的下侧向内部折弯并延伸,并设置有多个,所述固定部位于所述电介质部的下方。
  • 配合连接器

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