专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]测量晶片设备-CN202011524836.3有效
  • 梅·孙;厄尔·詹森;凯文·奥布赖恩 - 科磊股份有限公司
  • 2015-10-13 - 2022-04-01 - H01L21/67
  • 一种用于测量辐射强度及温度的测量晶片装置包含晶片组合件,所述晶片组合件包含一或多个空腔。所述测量晶片装置进一步包含检测器组合件。所述检测器组合件安置于所述晶片组合件的所述一或多个空腔内。所述检测器组合件包含一或多个光传感器。所述检测器组合件进一步经配置以执行对入射于所述晶片组合件的表面上的紫外光强度的直接或间接测量。所述检测器组合件进一步经配置以基于所述一或多个光传感器的一或多个特性确定所述晶片组合件的一或多个部分的温度。
  • 测量晶片设备
  • [发明专利]原位温度感测衬底、系统及方法-CN201980037539.5有效
  • 厄尔·詹森 - 科磊股份有限公司
  • 2019-06-04 - 2021-12-21 - H01L21/67
  • 本发明揭示一种用于检测在环境中施加于衬底上的温度分布的传感器。所述传感器包含传感器衬底与形成于所述传感器衬底上的一或多个温度感测元件。在实施例中,温度感测元件包含:至少一个腔,其具有安置于所述腔内的热膨胀材料;及通道,其从所述腔延伸且具有安置于所述通道内的棒。在实施例中,所述腔具有固定体积且由安置于或形成于所述腔上方的盖层围封。所述热膨胀材料经配置以从所述腔延伸到所述通道中而将所述棒从所述通道内的第一位置致动到所述通道内的至少第二位置,其中所述棒的所述位置指示所述传感器衬底的相应部分的温度。
  • 原位温度衬底系统方法
  • [发明专利]位置灵敏衬底装置-CN201480070153.1有效
  • 厄尔·詹森;凯文·奥布赖恩 - 科磊股份有限公司
  • 2014-12-16 - 2020-03-24 - H01L21/66
  • 本发明的一些方面涉及一种系统,其具有衬底装置、衬底支撑表面及将所述衬底装置定位在所述衬底支撑表面上的衬底处置器。所述衬底装置及所述衬底支撑表面可具有配对的粗略位置单元及精细位置单元。所述系统可测量第一与第二粗略位置单元之间的粗略位置偏移、基于所述粗略位置偏移来将所述衬底装置重新定位在所述衬底支撑表面上,且随后测量第一与第二精细位置单元之间的精细位置偏移。在一些实施方案中,所述衬底装置经由无线通信链路一体地耦合到所述衬底处置器以传递位置信息作为用于进一步放置的反馈。
  • 位置灵敏衬底装置
  • [发明专利]晶片级光谱仪-CN201611139570.4有效
  • 厄尔·詹森;梅·孙;凯文·奥布赖恩 - 科磊股份有限公司
  • 2012-06-12 - 2019-08-13 - G01J3/02
  • 本申请涉及晶片级光谱仪。本发明涉及一种用于测量光学辐射的特性的传感器设备,所述传感器设备具有衬底及位于所述衬底内在一个或一个以上空间上分离的位置处的低轮廓光谱选择性检测系统。所述光谱选择性检测系统包含以光学方式耦合到对应光学检测器阵列的大体层状波长选择器阵列。应强调,提供本摘要以符合需要将允许搜索者或其它读者快速断定技术性揭示内容的标的物的摘要的规则。提交本摘要是基于以下理解:其将不用于解释或限制权利要求书的范围或含义。
  • 晶片光谱仪
  • [发明专利]晶片级光谱仪-CN201280036758.X有效
  • 厄尔·詹森;梅·孙;凯文·奥布赖恩 - 科磊股份有限公司
  • 2012-06-12 - 2017-01-18 - G01J3/02
  • 本发明涉及一种用于测量光学辐射的特性的传感器设备,所述传感器设备具有衬底及位于所述衬底内在一个或一个以上空间上分离的位置处的低轮廓光谱选择性检测系统。所述光谱选择性检测系统包含以光学方式耦合到对应光学检测器阵列的大体层状波长选择器阵列。应强调,提供本摘要以符合需要将允许搜索者或其它读者快速断定技术性揭示内容的标的物的摘要的规则。提交本摘要是基于以下理解其将不用于解释或限制权利要求书的范围或含义。
  • 晶片光谱仪

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