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[发明专利]一种球面波前曲率半径测量装置及测量方法-CN202111545370.X有效
发明人：陆洋;卞点;于连栋;高荣科;贾华坤;陈孝喆 -专利权人：中国石油大学（华东）
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明公开一种球面波前曲率半径测量装置，包括初始波前调节模块、球面波生成模块、径向剪切干涉模块；球面波生成模块包含有透射式球面波生成模块和反射式球面波生成模块；从激光器输出耦合光束，耦合光束用作于产生两种不同类型球面波的初始输入波前，初始波前经初始波前调节模块调节后分别进入透射式球面波生成模块和反射式球面波生成模块；初始输入波前经过透射式和反射式球面波生成模块后发生对应的形变，再传播至径向剪切干涉模块后，由偏振相机接收最终输出波前，根据获得的原始球面波前分布实现曲率半径测量。本发明还公开了球面波前曲率半径的测量方法，实现大曲率球面波前的恢复，不受振动操作影响、高效数据动态采集的优点。
一种球面曲率半径测量装置测量方法

[发明专利]一种延时光路锁定装置及锁定方法-CN202110433650.5有效
发明人：于连栋;龙谢芬;黄河;高浩然;卞点;程杰 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种延时光路锁定装置及方法，包括飞秒激光器、频率反馈单元、迈克尔逊干涉系统、平衡互相关单元和长光纤锁定单元；飞秒激光器输出光频梳，光频梳的一部分进入频率反馈单元，通过频率反馈单元记录光频梳重复频率并向飞秒激光器的频率控制器反馈频率信号，光频梳的另一部分进入迈克尔逊干涉系统，迈克尔逊干涉系统输出合束的光频梳进入平衡互相关单元，平衡互相关单元输出光学互相关差分信号到长光纤锁定单元，长光纤锁定单元根据光学互相关差分信号调节长光纤光路的光学长度。本发明能够补偿由环境等其他因素造成的长光纤光学长度的偏差，而且，相较于使用连续波激光器构成辅助干涉光路获取误差信号，不会引入不可知的系统误差。
一种延时锁定装置方法

[发明专利]一种基于近红外低相干光掺杂硅晶片表面形貌测量方法-CN201910303334.9在审
发明人：于连栋;闫新宇;程杰;卞点;陆洋 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明属于硅晶片测量领域，公开一种基于近红外低相干光掺杂硅晶片表面形貌测量方法，其特征在于，包括如下步骤，1）选取近红外宽带光源的测量装置；2）搭建出具有可移动参考臂和测量臂的迈克尔逊干涉仪，迈克尔逊干涉仪的电路板对步进电机进行控制，从而使参考臂和测量臂之间的光程差渐变，实现对硅晶片待测表面的扫描干涉；3）最后利用近红外相机连续拍摄干涉图，通过算法解调出干涉信息得到需要测量的掺杂硅晶片物理特性。提高了硅晶片测量精度和干涉条纹对比度及表面形貌重构的效率和精度。
掺杂硅硅晶片低相干光晶片表面形貌测量参考臂测量臂测量干涉条纹对比度迈克尔逊干涉仪红外宽带光源迈克尔逊干涉电路板近红外相机表面形貌步进电机测量领域测量装置连续拍摄物理特性干涉图光程差可移动重构的干涉渐变调出晶片算法扫描