专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种单晶生长装置-CN202321366993.5有效
  • 谈逊;刘才;谈谦;吴曦;李欣;王占玲;刘宁波;陈绮雯 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2023-05-31 - 2023-10-20 - C30B15/00
  • 本实用新型涉及单晶生长技术领域,且公开了一种单晶生长装置,包括炉体,所述炉体向上形成开口;所述开口处设有盖子,所述盖子上固定安装有套管,所述套管上设有驱动调节机构;所述驱动调节机构驱动端通过旋转机构连接有晶杆,所述晶杆远离盖子的一端形成籽晶。本实用新型提出一种单晶生长装置,本实用新型通过设有驱动调节机构和旋转机构,利于带动多个晶杆同时转动,可调节坩埚位于不同晶杆的下方,以进行单晶生长,减少盖子打开的次数,节省能源。
  • 一种生长装置
  • [发明专利]一种氧化镓粉末混合装置及其混合方法-CN202310729851.9有效
  • 谈逊;谈谦;刘宁波;刘才;吴曦;王占玲 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2023-06-20 - 2023-09-12 - B01F33/80
  • 本发明属于氧化镓制备技术领域,具体涉及一种氧化镓粉末混合装置及其混合方法。该混合装置包括底座,底座的表面设有收料组件、搅拌罐、抽吸设备与上料组件,搅拌罐的表面开设有进料口、抽气口与排料口,抽吸设备与抽气口相连抽除搅拌罐内气体,上料组件与进料口相连,搅拌罐内设有搅拌组件与挤压组件,搅拌罐的表面套设有加热组件,底座表面还设有调节组件,调节组件与搅拌罐相连,搅拌罐的中轴线与地面平行,记为第一工作状态,搅拌罐的中轴线与地面垂直,记为第二工作状态,调节组件调节第一工作状态与第二工作状态的相互切换;该氧化镓粉末混合装置,实现氧化镓粉末混合的自动化加工,实现自动上料、搅拌、烘干和制饼的处理,加工效率高。
  • 一种氧化粉末混合装置及其方法
  • [发明专利]一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器-CN202111306668.5在审
  • 谈逊;谈谦;曾龙辉 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2021-11-05 - 2023-05-09 - B01J19/24
  • 本发明涉及HVPE设备镓舟反应器技术领域,且公开了一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器,包括反应器,所述反应器的顶部设有盖子;所述反应器的内部固定安装有螺旋槽板,所述反应器的底部设有液体收集排出件,所述螺旋槽板的出液端朝向液体收集排出件;所述盖子上固定安装有进气管件,且进气管件的排气端位于螺旋槽板的进入端处;所述反应器的外周设有供镓液池,且供镓液池与反应器的内部连通;所述反应器的底部固定连通有排气管。本发明提出一种氮化镓厚膜生长用稳定型镓舟反应器,本发明增加接触时间;稳定生成速率;控制膜的生长。
  • 一种氮化镓厚膜生长稳定型镓舟反应器
  • [实用新型]一种MOCVD反应腔测温装置-CN202123235078.6有效
  • 谈逊;谈谦;刘宁波;刘才;吴曦;王占玲 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2021-12-21 - 2022-08-30 - C30B25/08
  • 本实用新型涉及测温装置技术领域,且公开了一种MOCVD反应腔测温装置,包括顶盖,所述顶盖上转动套接有转环;所述转环上设有驱动机构,所述驱动机构驱动端与顶盖传动连接;所述转环上固定套装有套管,所述套管上设有可调测温机构;所述套管的一端开设有通口,且通口处设有回复挡盖。本实用新型提出一种MOCVD反应腔测温装置,本实用新型通过设有驱动机构,利于对可调测温机构的位置进行调节,以测量反应腔内不同外延片生长温度;同时在通气时,通过可调测温机构的设置,减少对后续测温准确性的影响。
  • 一种mocvd反应测温装置
  • [实用新型]一种MOCVD石墨盘自动传递机构-CN202123280678.4有效
  • 谈逊;谈谦;刘宁波;刘才;吴曦;王占玲 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2021-12-24 - 2022-08-30 - B65G49/00
  • 本实用新型公开了一种MOCVD石墨盘自动传递机构,包括支撑板,所述支撑板上固定连接有无杆气缸,所述无杆气缸上传动连接有固定块,所述固定块顶端固定连接有石墨盘传递叉;所述支撑板顶端左右两侧均固定连接有多个缓冲块,左右两侧所述缓冲块相对的一侧均设有缓冲板,所述缓冲块内部设有与缓冲板相配合的磁性缓冲组件,所述缓冲块内部设有与磁性缓冲组件相配合的气压缓冲组件。本实用新型通过设置第一磁铁以及第二磁铁能够通过第一磁铁与第二磁铁之间相互排斥的作用力实现对于缓冲板的移动起到缓冲的作用,进而实现对于固定块的移动起到缓冲的作用。
  • 一种mocvd石墨自动传递机构
  • [实用新型]一种镓源自动补给及回收装置-CN202123296415.2有效
  • 谈逊;谈谦;刘宁波;刘才;吴曦;王占玲 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2021-12-24 - 2022-08-30 - B01J4/00
  • 本实用新型涉及半导体材料与设备技术领域,且公开了一种镓源自动补给及回收装置,包括镓舟,所述镓舟通过连通管连通有罐体一;所述罐体一通过抽取机构连通有罐体二;所述连通管上固定安装有电磁阀门;所述镓舟连通有供气机构;所述罐体一与罐体二的内部均设有加热片、液位传感器和温度传感器,所述温度传感器通讯连接有PLC控制器,所述PLC控制器分别与加热片、液位传感器、供气机构、电磁阀门和抽取机构通讯连接。本实用新型提出一种镓源自动补给及回收装置,本实用新型通过设有PLC控制进行自动化补给和回收,以稳定生长速率,同时在维护时进行回收。
  • 一种源自补给回收装置
  • [发明专利]一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置-CN202210497783.3在审
  • 谈逊;刘才;谈谦;吴曦;曾龙辉;李欣;王占玲;刘宁波 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2022-05-09 - 2022-08-23 - C30B9/00
  • 本发明公开了一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置,包括壳体,所述外壳体内部设置有容纳腔,所述外壳体顶端螺栓固定连接有用于将容纳腔进行封堵的盖体,所述容纳腔内部固定连接有反应壳体;所述反应壳体内底壁设置有加热件,所述反应壳体上固定连接有多个超声波振子;所述容纳腔内部固定连接有固定块,所述固定块上固定连接有用于对反应壳体进行进料的进料机构;所述外壳体上设置有用于对容纳腔进行冲入氮气的充气组件。本发明通过在反应壳体底端固定连接有多个超声波振子能够实现反应壳体内部产生超声振动,以实现其内部的物料能够实现更加充分的进行混合,相对于现有技术中的机械搅拌结构,能够大大的减小搅拌装置的结构,使得设备的结构更加的简单。
  • 一种超声波搅拌氮化相生装置
  • [实用新型]一种用于镓基液态合金的真空加热搅拌装置-CN202220738015.8有效
  • 谈逊;刘才;谈谦;吴曦;曾龙辉;李欣;王占玲;刘宁波 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2022-03-31 - 2022-08-16 - B01F33/82
  • 本实用新型公开了一种用于镓基液态合金的真空加热搅拌装置,包括机架、安装在机架上的搅拌电机与安装在机架上的真空搅拌罐,所述搅拌电机的输出轴延伸至真空搅拌罐的内部,并装配有搅拌件,所述真空搅拌罐的内面密封滑动连接有活塞板,且活塞板通过拉簧与真空搅拌罐的内面相连接,所述活塞板通过套管滑动套设在搅拌件上,且搅拌件的一端延伸至真空搅拌罐的外部,所述真空搅拌罐的外圆周面固定连通有导流管,所述活塞板上贯穿开设有多个流通孔。本实用新型能够使不同高度区域内的原料进行搅拌处理,使得原料之间能够充分的混合在一起,取代了传统的搅拌方式,不仅能够保证对于原料的搅拌效果,而且还能够提高对于原料的搅拌效率。
  • 一种用于液态合金真空加热搅拌装置
  • [发明专利]一种氮化镓同质衬底及其制备方法-CN202110323780.3有效
  • 谈逊;谈谦;江兵华 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2021-03-26 - 2022-07-29 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种氮化镓同质衬底及其制备方法,制备方法包括以下步骤:先将氮化镓多晶基板涂镓氨化,然后非晶化处理,再将具有六方结构的二维晶体薄膜转移至多晶衬底基板上;然后对二维晶体薄膜表面处理,产生悬挂键;再在二维晶体薄膜上生长AlN成核层;随后在AlN成核层上外延生长氮化镓厚膜;最后将多晶衬底基板去除即得氮化镓同质衬底。本发明在氮化镓基板上利用可转移的单晶石墨烯为氮化物生长提供所需的六方模板,比蓝宝石等异质衬底上转移二维薄膜的热膨胀应力低,使得HVPE氮化镓厚膜生长空间得到提高,氮化镓自支撑衬底获得成本大为降低。
  • 一种氮化同质衬底及其制备方法
  • [实用新型]一种用于MOCVD设备的石墨托盘-CN202123223923.8有效
  • 谈逊;谈谦;刘宁波;刘才;吴曦;王占玲 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2021-12-21 - 2022-07-29 - C23C16/458
  • 本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的石墨托盘,包括托盘主体,所述托盘主体底端固定连接有支撑柱,所述支撑柱底端开设有配合槽,所述配合槽内部滑动连接有连接柱,所述连接柱底端固定连接有旋转轴;所述支撑柱热膨胀系数小于连接柱热膨胀系数。本实用新型通过设置配合槽以及连接柱能够实现在沉积的过程中,由于升温导致的连接柱与配合槽之间将会紧密的贴合,进而实现旋转轴与托盘主体之间能够稳定的传动;通过设置第一引导槽以及第二引导槽能够实现配合槽与连接柱之间的对位进行引导的作用,进而确保二者之间能够快速且准确的进行对位。
  • 一种用于mocvd设备石墨托盘
  • [实用新型]一种镓基液态金属固碳收集机构-CN202220748317.3有效
  • 谈逊;刘才;谈谦;吴曦;曾龙辉;李欣;王占玲;刘宁波 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2022-03-31 - 2022-07-29 - B01J4/00
  • 本实用新型公开了一种镓基液态金属固碳收集机构,包括反应釜、刮除结构、转动轴、连接板、滑板、刮板、缓冲弹簧、驱动结构和出料斗。本实用新型的有益效果是:出料斗上设有驱动结构,驱动结构连接于转动轴,当需要收集反应物氧化镓和碳粉时,只需利用驱动结构带动转动轴转动,转动轴转动会带动两个连接板转动,从而连接板带动滑板和刮板一起转动,而滑板与连接板之间的缓冲弹簧便于刮板与出料斗的内壁稳定抵触,方便对出料斗内壁附着的氧化镓和碳粉进行刮除,避免氧化镓和碳粉黏附在出料斗的内壁,从而便于氧化镓和碳粉从出料斗中排出,随后只需将收集箱放置于出料斗的底部,打开阀门,进而便于利用收集箱收纳氧化镓和碳粉,使用方便。
  • 一种液态金属收集机构
  • [实用新型]一种镓基液态金属的加工设备-CN202220763311.3有效
  • 谈逊;刘才;谈谦;吴曦;曾龙辉;李欣;王占玲;刘宁波 - 华厦半导体(深圳)有限公司
  • 2022-04-02 - 2022-07-29 - B01F35/92
  • 本实用新型公开了一种镓基液态金属的加工设备,包括底座、支撑杆、容器一、固定架、容器二、连接板、丝杆、滑块、支撑板、磁力搅拌器、卡块和连接槽。本实用新型的有益效果是:在固定架中放置装有固体镓铟合金的容器二,从而容器二的底部会延伸至容器一的热水中,从而便于对容器二进行加热,随后反向转动连接板,使磁力搅拌器复位,进而转动丝杆,丝杆会螺纹滑块滑动,当滑块向底部滑动时,会带动支撑板和磁力搅拌器向底部滑动,从而磁力搅拌器会延伸至容器二的侧面,利用加热板,同时启动磁力搅拌器,从而便于对容器二中的镓铟合金进行加热和搅拌,通过磁力搅拌器便于控制搅拌速率,便于镓铟合金快速均匀融化,方便制备镓铟合金的液态。
  • 一种液态金属加工设备

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