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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种光刻胶组成物及使装置图案化的方法-CN202210975763.2在审
发明人：蔡承恩;陈旻贤;刘玲均;林文福;朱克泰;陈慧修 -专利权人：台州观宇科技有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本揭示涉及一种光刻胶组成物，包含：一聚合物，由第一单体及第二单体聚合而成，其中该第一单体为含可聚合基团与含氟原子基团的压克力单体，该第二单体为含可聚合基团与可改变溶解度反应性基团的单体；一光产碱剂；一热生酸剂；及一氟化溶剂。本揭示还涉及一种使装置图案化的方法，包含：在一装置的一衬底上形成一光刻胶组成物层，该光刻胶组成物层包括前述光刻胶组成物；暴露该光刻胶组成物层于经图案化的辐射，以在该光刻胶组成物层形成一曝光区域及一未曝光区域；烘烤该曝光区域及该未曝光区域；及及移除该光刻胶组成物层的曝光区域，形成一显影结构。
一种光刻组成装置图案方法

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