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- [发明专利]撕膜方法、撕膜装置及撕膜设备-CN201010517198.2有效
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张明星;刘永丰
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上海技美电子科技有限公司
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2010-10-22
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2011-05-18
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H01L21/00
- 本发明公开了一种撕膜方法,其特征在于,首先使薄膜边缘与其贴覆的基体分离;然后使用第一夹具夹持住薄膜边缘,移动第一夹具逐渐使薄膜与其贴覆的基体分离,直至将薄膜与其贴覆的基体完全分离。本发明提供了一种新的撕膜方法,利用机械装置撕膜,无需再使用胶带或薄膜等耗材,减少了易耗品的使用,可以有效地降低成本。撕膜装置可循环使用,节省了撕膜的成本。本发明中的撕膜装置,撕膜操作简单易行,成功率高,可保证安全撕除晶圆上的薄膜,不会再出现胶带无法粘住减薄膜导致无法撕除的现象。而且,在撕膜过程中,撕膜装置各零部件运行容易控制,且精度容易把握,撕膜装置不会碰到晶圆,可有效避免损坏晶圆,确保晶圆的安全,撕膜过程安全可靠。
- 方法装置设备
- [发明专利]电液动数字转角器-CN200810155499.8无效
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仇九桃;汤明风;刘永丰
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江苏海陵机械有限公司
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2008-10-07
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2010-05-26
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F15B15/00
- 本发明公开了一种电液动数字转角器,包括电机、联轴器、油泵、油箱、油缸缸筒、活塞齿条组、齿轮轴、液压阀阀座、液压阀阀芯、油管、电机座,所述的油泵、液压阀阀座和油缸缸筒通过油管形成封闭回路,它还包括步进电机和滚珠丝杠及丝杠螺母,所述的步进电机的轴与液压阀的阀芯相连接,所述的滚珠丝杠与液压阀的阀芯相连接,所述的丝杠螺母与活塞齿条组相连,所述的滚珠丝杠的表面设有螺纹,其与设在所述的活塞齿条组上的丝杠螺母相啮合。该电液动数字转角器定位精度高、灵敏度好、启闭速度快、操作方便。
- 电液动数字转角
- [实用新型]汽车动力转向器密封性能检测装置-CN200920208052.2无效
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李传江;刘永丰
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上海师范大学
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2009-08-18
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2010-05-26
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G01M17/06
- 本实用新型属于汽车检测技术,一种汽车动力转向器密封性能检测装置。现有的密封性能检测装置容易损坏、精度不够。本实用新型气源(1)经三联件(2)将气源分成气缸动作气路和检测加压气路两路;气体经调压阀A1到电磁阀B1,进入气缸C,橡胶塞D运动,压紧被测件的进气口,气缸到位信号触发电磁阀B2。检测加压气路经调压阀A2到电磁阀B2,进入电磁阀B、被测件(3)和压力传感器S;经电磁阀B6与流量计L相连。传感器S和流量计L分别与工业控制计算机相连。本实用新型的优点是:具有压力检测和流量检测两种检测模式;可以对四个被测工件交替检测;可选用不同量程的传感器提高检测精度;采用工业控制计算机进行监控和管理。
- 汽车动力转向器密封性能检测装置
- [实用新型]电液动数字转角器-CN200820161531.9无效
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仇九桃;汤明风;刘永丰
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江苏海陵机械有限公司
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2008-10-07
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2009-07-15
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F15B15/00
- 本实用新型公开了一种电液动数字转角器,包括电机、联轴器、油泵、油箱、油缸缸筒、活塞齿条组、齿轮轴、液压阀阀座、液压阀阀芯、油管、电机座,所述的油泵、液压阀阀座和油缸缸筒通过油管形成封闭回路,它还包括步进电机和滚珠丝杠及丝杠螺母,所述的步进电机的轴与液压阀的阀芯相连接,所述的滚珠丝杠与液压阀的阀芯相连接,所述的丝杠螺母与活塞齿条组相连,所述的滚珠丝杠的表面设有螺纹,其与设在所述的活塞齿条组上的丝杠螺母相啮合。该电液动数字转角器定位精度高、灵敏度好、启闭速度快、操作方便。
- 电液动数字转角
- [实用新型]一种钢筒缩口机-CN200620016509.6无效
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张科峰;刘永丰;辛贤举;殷铁成
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比亚迪股份有限公司
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2006-12-15
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2007-12-05
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B21D41/04
- 本实用新型公开了一种钢筒缩口机,包括工作台架、第一驱动机构、第一成形机构和定位夹具。第一驱动机构固定在工作台架上,且和第一成形机构动力连接。定位夹具固定在工作台架上,对被缩口钢筒固定。第一成形机构具有两个或两个以上的成形装置,由传动机构传来的动力驱动成形装置相对钢筒轴心径向运动,挤压钢筒,使其在被挤压端挤压出沿圆周方向均匀分布的棱边,中间同时形成一个小圆,就完成了钢筒缩口。本技术方案的钢筒缩口机结构简单,使得被缩口钢筒产生多条棱边,因而可以进行大直径变化缩口。
- 一种钢筒缩口机
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