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- [实用新型]一种晶圆连续上下料系统-CN202223612698.1有效
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朱伟杰;刘东立;杨猛;刘霄
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西湖仪器(杭州)技术有限公司
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2022-12-30
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2023-08-01
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H01L21/677
- 本实用新型涉及一种晶圆连续上下料系统,其包括沿物料输送方向交错地布置的若干个直线驱动模组和机械手,所述直线驱动模组的移动端设置有送料平台,所述机械手包括升降机构、设置于所述升降机构输出端的旋转机构、设置于所述旋转机构输出端的剪叉取料臂、以及设置于所述剪叉取料臂移动端的陶瓷吸盘,所述陶瓷吸盘的移动端经过相邻的送料平台上方。本实用新型通过直线驱动模组和机械手交替运转进行工件连续上下料的方式,能实现单台晶圆制造设备的自动化生产和多台晶圆制造设备之间的有机结合,且优化后的机械臂结构的耐用性得到大幅提升,能使陶瓷吸盘和工件保持合适的预压力,通过连续上下料辅助晶圆制造设备实现自动化生产。
- 一种连续上下系统
- [实用新型]一种生物信息学数据采集装置-CN202320672497.6有效
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刘东立
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陕西深蓝基因科技有限公司
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2023-03-30
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2023-08-01
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C12M1/24
- 本实用新型涉及生物信息数据采集技术领域,尤其为一种生物信息学数据采集装置,包括管体,所述管体的一侧集成有凸台,所述管体的上部且位于凸台的顶部螺纹连接有管帽,所述管帽的内壁顶部中心固定连接有芯块,所述芯块的表面等距固定连接有橡胶圈,所述管体的顶部一侧开设有U型槽,所述U型槽的内侧设置有卡架,所述卡架的尾侧集成固定于管体的内壁上,本实用新型以解决现有生物信息采样管多为广口设计,开口较大,其不便采样棒折断,影响采样效率,且折断过程中容易滑出管体,使得样本被污染的风险提高,同时管体多为圆柱体设计,放置限位性差,易滚落造成样本损失,影响信息数据精度的问题。
- 一种生物信息学数据采集装置
- [实用新型]一种狭缝式涂布机-CN202320239051.4有效
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朱伟杰;刘东立;刘林;徐程武
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西湖仪器(杭州)技术有限公司
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2023-02-02
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2023-06-23
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B05C5/02
- 本实用新型涉及一种狭缝式涂布机,其包括机架、设置于所述机架上的传送滑台和升降滑台、设置于所述传送滑台上的涂布平台、以及涂布模头,还包括连通于所述涂布模头进液口的精密柱塞泵装置、设置于所述升降滑台移动端的单轴微动滑台、设置于所述单轴微动滑台移动端的双轴微动滑台、以及至少两个测距仪,所述升降滑台、单轴微动滑台和双轴微动滑台的移动方向相互平行、并与所述传送滑台的移动方向垂直,所述涂布模头按照出液口朝向涂布平台移动路径的方式安装于所述双轴微动滑台的移动端,这些测距仪按照测距方向与涂布模头出液方向平行的方式安装于所述双轴微动滑台的移动端。本实用新型具有操作简便、膜厚调节简单、且制备薄膜精度高的优点。
- 一种狭缝式涂布机
- [实用新型]一种多靶枪真空镀膜设备-CN202223598401.0有效
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朱伟杰;刘东立;杨猛;刘霄
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西湖仪器(杭州)技术有限公司
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2022-12-30
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2023-06-06
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C23C14/35
- 本实用新型涉及一种多靶枪真空镀膜设备,其包括靶枪组、以及顺次连通的真空泵、带有进出料口的预抽腔室、溅射腔室和分子泵,预抽腔室上设置有水平驱动机构、设置于水平驱动机构输出端的晶圆夹爪、第一旋转升降机构、以及设置于第一旋转升降机构输出端的晶圆笼,溅射腔室上设置有第二旋转升降机构、以及设置于第二旋转升降机构输出端的镀膜台,晶圆夹爪的移动路径依次经过晶圆笼和镀膜台,靶枪组按照出料口朝向镀膜台的方式安装于溅射腔室上。本实用新型通过设置可移动的晶圆夹爪和晶圆笼,并在溅射腔室和外界环境之间布置预抽腔室进行缓冲,再通过设置可移动的镀膜台和靶枪组,达到了提高加工效率、便于控制镀膜均匀性的目的。
- 一种多靶枪真空镀膜设备
- [实用新型]耐破度测试仪-CN202223047679.9有效
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王亚彬;刘东立;刘青;张文帅;卢天然;朱景超;刘杭州;玄成龙;王义;郑杨
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山东德瑞克科技有限公司
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2022-11-15
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2023-06-06
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G01N3/02
- 本实用新型提供耐破度测试仪,包括耐破度测试仪本体,所述耐破度测试仪本体的顶部活动连接有活动板,所述活动板顶部的前端和后端均固定连接有固定板,前端所述固定板的正面固定连接有电动推杆,所述电动推杆的输出端固定连接有支撑板,所述支撑板背面的两侧均固定连接有活动管;本实用新型通过设置耐破度测试仪本体,用于对纸张进耐破度测定,通过设置第一固定架和第二固定架,用于对待测纸张进行固定,提高纸张在测定时的稳定性,防止纸张在测定过程中发生偏移甚至脱落的情况,确保测定作业能顺利进行,解决了手动移动纸张的方式效率较低,并且手动把控距离的准确度较差,容易影响测量数据精确性的问题。
- 耐破度测试仪
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