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[发明专利]基板液处理装置和基板液处理方法-CN201910418261.8有效
发明人：高木康弘;小宫洋司;信国力;佐竹圭吾;穴本笃史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供向基板供给精确浓度的处理液的基板液处理装置和基板液处理方法。基板液处理装置具备：罐(102)；循环管线(104)；处理部(16)，其经由分支管线(112)连接于循环管线，用于使用在循环管线中流动的处理液来对基板实施液处理；处理液生成机构(206A、206B、208)，其用于将从至少两种原料液各自的供给源供给的原料液以控制好的混合比混合而生成处理液；浓度测量装置(212(或212’))，其用于测量在循环管线中流动的处理液的浓度和在处理液供给管线中流动的处理液的浓度；以及控制装置(4)，其用于基于测量出的处理液的浓度来控制处理液生成机构。
基板液处理装置方法

[发明专利]液处理装置和液处理方法-CN202010571224.3在审
发明人： 信国力;尾嶋智明;板桥拓也;堀口亮一;若山翔太 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种液处理装置，其包括罐、循环通路、泵、多个液处理部和多个供给通路，循环通路具有设有泵的主通路部分和从主通路部分分支的第一分支通路部分和第二分支通路部分，从罐流出的处理液在通过主通路部分后流入各分支通路部分，并通过各分支通路部分返回罐，多个液处理部被划分为第一处理部组和第二处理部组，多个供给通路被划分为第一通路组和第二通路组，属于第一处理部组的液处理部分别经由属于第一通路组的供给通路连接于第一分支通路部分，属于第二处理部组的液处理部分别经由属于第二通路组的供给通路连接于第二分支通路部分。根据本发明，能够减少液处理装置的处理液供给机构的部件数量。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理装置的运转方法-CN201911359689.6在审
发明人：前园臣康;森祯道;诧间康司;信国力;佐竹圭吾;菅原慎二;吉田正宽 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置的运转方法。基板处理装置具备：贮存部；多个处理部；液供给部，其向贮存部至少供给第一液，该第一液包括处理液自身或者用于调配处理液的原料液；检测部，其检测变量的值，该变量表示从液供给部向贮存部供给的第一液的状态、或者通过从液供给部供给第一液而发生变化的处于贮存部中的处理液的状态；以及控制部，其使多个处理部依次执行相同的液处理。控制部基于变量的值的检测结果来判断是否能够以处理部要求的条件同时从贮存部向预先决定的数量的处理部继续供给处理液，如果判断为不能，则执行使同时执行液处理的处理部的数量相比于预先决定的数量减少的同时处理限制控制。
处理装置运转方法

[发明专利]基板液处理装置和基板液处理方法-CN201410641579.X有效
发明人：高木康弘;小宫洋司;信国力;佐竹圭吾;穴本笃史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供向基板供给精确浓度的处理液的基板液处理装置和基板液处理方法。基板液处理装置具备：罐(102)；循环管线(104)；处理部(16)，其经由分支管线(112)连接于循环管线，用于使用在循环管线中流动的处理液来对基板实施液处理；处理液生成机构(206A、206B、208)，其用于将从至少两种原料液各自的供给源供给的原料液以控制好的混合比混合而生成处理液；浓度测量装置(212(或212’))，其用于测量在循环管线中流动的处理液的浓度和在处理液供给管线中流动的处理液的浓度；以及控制装置(4)，其用于基于测量出的处理液的浓度来控制处理液生成机构。
基板液处理装置方法