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[发明专利]一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构-CN202310679957.2有效
发明人：张明明;余胡平;石文;刘祥鑫;刘苏阳;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明属于上料设备技术领域，特别提供了一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构，包括底板、水平位移机构、连接板、转动基座、转动连接架、夹爪气缸、夹爪、弹性元件，其中，转动基座的主视侧面呈C形，转动基座的上下侧壁竖向转动安装有转动销，转动连接架的侧壁与转动基座之间装配有弹性元件，对转动连接架在水平面内的摆动形成约束。本夹爪机构通过在夹爪气缸与连接板之间增设由转动基座和转动连接架构成的转动结构，在崩环与料盒发生碰撞时，夹爪及夹爪气缸能够发生一定偏转，避免出现硬性拉取的现象；在转动基座和转动连接架之间装配弹性元件，保证偏转后的夹爪及夹爪气缸能够缓慢复位，不影响后续工序。
一种适用于晶圆上料机柔性机构

[发明专利]一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法-CN202310770591.X有效
发明人：张明明;余胡平;石文;牛子乐;陈野;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法，涉及划片机技术领域。该划片机真空气路过滤装置包括真空工作盘、过滤水箱、第一真空管路、第一真空发生器以及过滤塞，过滤水箱和真空工作盘连通，过滤水箱用于收集水汽，第一真空管路的一端和过滤水箱连通，第一真空发生器和第一真空管路的另一端连接，第一真空发生器用于对第一真空管路抽真空将过滤水箱中的水汽吸附进第一真空管路，过滤塞设置于过滤水箱，过滤塞和第一真空管路的端部连通，过滤塞的底部贯穿有导流槽，过滤塞用于对进入第一真空管路的水汽进行冷却使水汽液化，液化后的水通过导流槽倒流回过滤水箱。能有效提高排除真空气路中的水汽的效果，保证真空气路的稳定性。
一种划片空气路过装置过滤方法

[发明专利]一种划片机清洁防水雾装置-CN202310713219.5有效
发明人：张明明;余胡平;李艳丽;徐双双;孙兴运;董海昌 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种划片机清洁防水雾装置，涉及划片机清洁领域。该划片机清洁防水雾装置包括防水罩以及防水帘，防水罩用于罩设于切割区域的上方，防水帘设置于防水罩的侧面开口处，防水帘的上端和防水罩固定连接，防水帘的下端和防水罩可拆卸地连接。需要拆卸防水帘时，仅拆卸防水帘的上端就可以实现拆卸更换作业，拆卸更加快速方便，同时安装起来也更方便；此外，防水帘的下端和防水罩可拆卸地连接还能实现一定程度的活动，减少了切割运动过程中对防水帘连接处的受力冲击，延长了防水帘的使用寿命，能够实现更优的密封效果，提高防水雾效果。
一种划片清洁水雾装置

[发明专利]一种芯片快速分拣的双面翻转工作盘以及气路布局-CN202310750869.7在审
发明人：张明明;余胡平;李艳丽;李圆;于海;徐双双;石文 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片快速分拣的双面翻转工作盘以及气路布局，包括直线模组、翻转模组和直线导轨；翻转模组包括转轴，转轴的左右两侧分别与第一安装块和第二安装块连接，转轴上平行安装有第一转接板和第二转接板，第一转接板外侧安装有第一工作盘，第二转接板外侧安装有第二工作盘。本发明采用上述的一种芯片快速分拣的双面翻转工作盘以及气路布局，可以将待放产品分为两组，每一组放料时都不会影响到另一组产品，提高了工作效率，避免产品压伤或报废，将两组独立的气路布置到转轴上，节省空间，并且机构翻转运动不会受到管线长度的影响，管路布置更合理，线束更容易集中整理，设计有防呆结构，方便安装，避免了两面装错和方向装反的情况发生。
一种芯片快速分拣双面翻转工作以及布局

[发明专利]划片机-CN202310713199.1有效
发明人：张明明;余胡平;王港;吴洪柏;赵鹏;牛子乐 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种划片机，涉及划片机技术领域。本申请的划片机，显微镜机构在第一水平方向上的运动通过保持构件与第一限定构件和第二限定构件的活动连接实现，显微镜机构穿设在保持构件内，保持构件既允许显微镜机构驱动保持构件而使得显微镜机构沿着第一水平方向运动，又允许显微镜机构在保持构件的贯通部内相对于保持构件在竖直方向上运动。第一遮蔽构件和第二遮蔽构件遮蔽了间隙的除保持构件以外的部分，这使得显微镜机构在第一水平方向和竖直方向的运动的过程中，显微镜机构以下的水气始终被阻隔在第一遮蔽构件和第二遮蔽构件的下方，而不会上升对划片机的丝杠导轨造成影响，实现了相对有效的动态遮挡，有利于确保划片机的精度。
划片

[发明专利]一种全自动晶圆上料机-CN202310679943.0有效
发明人：张明明;余胡平;石文;刘祥鑫;刘苏阳;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于上料设备技术领域，特别提供了一种全自动晶圆上料机，包括机架、料盒升降模块、料片载放模块、夹爪机构、推料机构、增压模块和供电模块；其中，料片载放模块包括安装板、水平位移机构、连接架、送料轨道、横梁、挡料机构、第二直线轴承和顶升气缸；两个所述送料轨道分别为第一轨道和第二轨道，第一轨道位于靠近夹爪机构的一侧，第二轨道位于靠近料盒升降模块的一侧，第一轨道和第二轨道的表面均开设有崩环定位槽和夹爪运动补偿槽。本全自动晶圆上料机的料片载放模块为双轨道托送式机构，整体结构更加简单，占用空间小，且料片载放模块的送料轨道与水平位移机构之间刚性连接，送料过程更平稳。
一种全自动晶圆上料机

[发明专利]一种坐标确定方法及装置-CN202310474466.4有效
发明人：张明明;余胡平;孟繁滨;徐双双;石文;赵海洋 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01B21/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种坐标确定方法及装置，涉及定位技术领域，方法包括：将旋转工作台旋转预设角度，确定旋转预设角度的旋转工作台上的第一基准点，基于第一基准点，从旋转工作台上首行的各槽位中确定第一目标点和第二目标点，以第一基准点为出发点，以第一基准点的预设俯角为方向，做延长线，确定延长线与旋转工作台边界的交点作为第二基准点，确定旋转工作台上最后一行、最后一列的目的点，基于目的点和第二基准点，确定旋转工作台的第三目标点，以确定旋转工作台上所有槽位的坐标，可以自动确定旋转工作台上槽位的坐标，无需基于人工方式确定工作台上各槽位的坐标，提高确定旋转工作台坐标的准确性和效率。
一种坐标确定方法装置

[发明专利]切割分选一体机的搬运方法-CN202310713227.X有效
发明人：张明明;余胡平;李艳丽;石文;韩严庆;刘苏阳 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：本申请涉及划片机搬运方法技术领域，提供了一种切割分选一体机的搬运方法。根据本申请提供的搬运方法，先将切割机与分选机在第一水平方向上间隔布置，然后调整二者间的距离至第一定位组件的第一凸部与第二定位组件的第二凸部在第一水平方向交叠，从而能够利用第一施力构件和第二施力构件与第一凸部建立连接，并基于此调整第二凸部相对于第一凸部的位置，进而实现了调整第二精度控制部相对于第一精度控制部的位置，便于二者对位，在此基础上，通过调整切割机和分选机的高度，使得第一精度控制部和第二精度控制部彼此插接，从而确保了搬运臂和翻转台二者的位置准确性，使得搬运臂重复搬运物料的准确性能够得到保证。
切割分选一体机搬运方法

[发明专利]一种划片机共振的解决方法-CN202310763004.4在审
发明人：张明明;余胡平;石文;杜红光;刘苏阳;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种划片机共振的解决方法，针对划片机机芯部分进行改造，改变划片机机芯部分和底架连接的刚性，通过增加机芯部分和底架连接处的接触面积改变刚性，减少划片机机芯部分非精度面重量，改变机芯部分自振频率；针对划片机主轴与其他运动部件之间设置关系进行改造，在划片机主轴和其他运动部件之间增设阻尼材料，能够吸收一部分主轴自振频率，且能够使得主轴与其他运动部件的频率隔开；通过划片机自身软件程序系统进行设置，令划片机主轴工作转速避开能使划片机产生机器共振的主轴旋转速度范围。本发明能从根本上有效避免划片机机器共振现象的发生，不会引起划片机设备的切割精度和稳定性问题，保证了划片机的切割精度及切割晶圆的品质。
一种划片共振解决方法

[发明专利]划片机-CN202310644730.4有效
发明人：张明明;余胡平;石文;王港;吴洪柏;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种划片机，涉及划片机技术领域。根据本申请提供的划片机，防水罩通过沿着周向延伸一周的第二连接部与支撑台板的沿着周向延伸一周的第一连接部连接，并且第二连接部在周向上的每一位置均与第一连接部在周向上对应的位置连接，使得第一连接部和第二连接部形成为一体，使得在转角系统的周向上，支撑台板与防水罩之间不存在可供水流经过而流动到支撑台板的第二部分的下方的缝隙，从而在面临长时间的切割工作时，也不会出现水流从转角系统处流下而对转角电机和下方的轴传动机构等设备造成不良影响。
划片

[发明专利]一种基于视觉算法的放料精度补偿方法-CN202310424465.9有效
发明人：张明明;余胡平;徐双双;胡宇廷;周健宇;石文 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于视觉算法的放料精度补偿方法，涉及划片技术领域。首先利用装载臂将待划片封装料片运送至切割盘上；随后获取待划片封装料片的预设切割位置；接着根据预设切割位置以及切割盘上的实际切割位置，计算得到偏移数据；然后根据偏移数据对待划片封装料片进行纠偏，以补偿待划片封装料片的放料精度。与现有技术相比，本发明提供的基于视觉算法的放料精度补偿方法由于采用了根据偏移数据对待划片封装料片进行纠偏，以补偿待划片封装料片的放料精度的步骤，所以能够提高放料精度，保证后续的切割精度以及产品质量，并且无需设置和更换配合限位结构，提高生产效率。
一种基于视觉算法精度补偿方法

[发明专利]一种划片机切割刀痕图像采集装置及划片机-CN202310559823.7有效
发明人：张明明;余胡平;石文;张海岩;董佳文;徐双双;魏哲 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明提供了一种划片机切割刀痕图像采集装置及划片机，涉及图像采集技术领域。该划片机切割刀痕图像采集装置包括相机以及环形光路，相机用于采集工件表面的刀痕图像，环形光路设置于相机的底部，且环形光路用于和光源连通，环形光路在第一夹角满足第一照射条件且第二夹角满足第二照射条件的情况下，第一极限光线照射在切割道的左外缘，第二极限光线照射在切割道的右外缘，且照射进刀痕的光线的落点位于刀痕的侧壁，从而使得工件表面、刀痕的宽度以及切割道的宽度之间的对比度更加明显，使得相机采集到的工件表面的刀痕图像更加清晰，确保采集的图像准确度。
一种划片切割刀痕图像采集装置

[发明专利]划片机接触测高方法-CN202310671684.7有效
发明人：张明明;余胡平;石文;吴洪柏;徐双双;吴多乐;牛子乐 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种划片机接触测高方法，涉及划片机技术领域。划片机接触测高方法包括：S1：计算出刀片与视觉模块的相对位置差值；S2：利用视觉模块在工作盘的金属表面选取测高范围；S3：利用相对位置差值，将刀片移至测高范围的正上方；S4：控制刀片在测高范围内测高。划片机接触测高方法利用刀片与视觉模块的相对位置关系固定，采用视觉模块观察工作盘的表面、并在其金属表面选取到测高范围，可直接计算出实际测高时各运动轴的坐标值范围，进而达到刀片会在选取的测高范围内进行自动测高的目的，能够便捷、高效、精准地在工作盘上找到测高点、完成测高。
划片接触测高方法

[发明专利]一种适用于全自动晶圆上料机的上料方法-CN202310679920.X有效
发明人：张明明;余胡平;石文;刘祥鑫;刘佳梦;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于上料机设备技术领域，特别提供了一种适用于全自动晶圆上料机的上料方法，主要包括称重传感器对料盒托板上的料盒进行称重检测；从料盒内夹取崩环时控制崩环停留在检测平台上方进行放斜检测。采用称重传感器采集料盒的重量信息，根据预设料盒的满料重量数据判定料盒的是否满料，若不满料可人工调整料盒升降模块的高度，避免夹爪机构走空行程的现象，提高上料效率；采用接近传感器采集崩环位置信息，分阶段对崩环位置准确性进行检测，提高上料精度；在料盒放置过程中对料盒放斜情况进行检测，在崩环完全取出料盒前对崩环的放斜情况进行检测，避免出现取料过程受阻时仍然硬拉取出崩环的情况。
一种适用于全自动晶圆上料机方法

[发明专利]分选机运输工件用翻转吸盘的供气管路布设方法及结构-CN202310744697.2在审
发明人：张明明;余胡平;李艳丽;刘祥鑫;谭程禹;徐双双;石文 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本发明公开了分选机运输工件用翻转吸盘的供气管路布设方法及结构，在与旋转气缸的旋转动力端连接的转轴端部上安装第一气路管接头，在转轴另一端部上安装第二气路管接头；然后将一条独立供气管路的一端穿过旋转气缸后与第一气路管接头连接，将另一条独立供气管路的一端与第二气路管接头连接；其次，在转轴内部布设分别与第一气路管接头、第二气路管接头连接的第一导气管、第二导气管，再将第一导气管、第二导气管的另一端分别与固定于转轴上的可翻转运输吸盘的两个进气端口对应连通；最后，将两条独立供气管路的管路主体部分固定在分选机转运支架上。本发明能够防止独立供气管路弯折而导致的供气不足，从而保证了所述的可翻转运输吸盘的翻转精度。
分选机运工件翻转吸盘供气管路布设方法结构

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