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[发明专利]一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置-CN202310748594.3在审
发明人：夏晶;何新远;李晓盼;沈俊甫;刘开勇;樊玉杰;周元凯 -专利权人：江苏科技大学
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置。属于半导体加工用抛光液供给技术领域；包括基座、锁紧阀、气动撑杆、支承板、支承架、环形测力传感器、物料缸、料缸盖、增压泵、触控板、轴承盖、大齿轮、压力杆、抛光头、抛光头下盘、控流盘、小齿轮、电机、电磁阀、搅拌缸、搅缸盖、弹簧、大键、小键、密封圈、动环座、压力簧、压力环、转动环、静止环、轴承座、滚珠、静管、油腔盖、搅拌器及垫片等设备；此装置可解决在化学机械抛光工艺过程中的抛光液配制、搅拌、输送、精准施液等涉及化学机械抛光工艺过程中抛光液供给的问题，以简化人工操作程序，提高工作效率。
一种用于化学机械抛光抛光自动配制均匀装置

[发明专利]一种实时监测的抛光装置及方法-CN202310374596.0在审
发明人：夏晶;沈俊甫;何新远;刘开勇;李晓盼;周元凯;樊玉杰 -专利权人：江苏科技大学
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本发明涉及控制抛光装置技术领域，具体涉及一种实时监测的抛光装置及方法，包括支撑板、设置于支撑板上方一侧的抛光机功率调节器，设置于支撑板上方一端的驱动电机，驱动电机用于向抛光机功率调节器提供动力，所述抛光机功率调节器动力输出端固定安装有抛光盘；还包括：机械臂控制装置；将抛光工件设置于抛光盘与压力套筒之间，并在压力套筒内设有的套筒中安装有激光位移传感装置，通过激光位移传感装置能够有效的对抛光工件实施实时测量，从而实现无接触抛光工件表面即可对抛光量实施检测的效果，同时还能够有效的避免因接触形成表面损伤的作用，进一步提升了抛光精度的效果。
一种实时监测抛光装置方法

[发明专利]一种可实时温控的研磨抛光机及其控温方法-CN202310359809.2在审
发明人：夏晶;李晓盼;刘开勇;何新远;沈俊甫;樊玉杰;周元凯 -专利权人：江苏科技大学
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明涉及研磨抛光机设备技术领域，具体涉及一种可实时温控的研磨抛光机及其控温方法，包括箱体，其内部架设有第一电动机，所述第一电动机的输出轴固定连接设有轴杆，所述轴杆远离所述第一电动机的一端设有抛光盘，所述抛光盘的底部设有加热盘，所述箱体的一侧设有雾化降温组件，所述箱体的顶部设有控温组件，通过第一电动机带动轴杆旋转，通过轴杆带动抛光盘旋转，从而使工件进行研磨工作，通过控温组件监测抛光盘表面的温度，并根据温度控制加热盘和雾化降温组件工作，从而使工件的加工温度可根据需求进行调整管控，进一步保证了工件的加工质量，解决了现有的调温抛光装置，只能进行简单的加热，无法根据工件实施工况的温度进行调节的问题。
一种实时温控研磨抛光机及其方法

[发明专利]一种晶圆抛光液搅拌装置-CN202210662943.5有效
发明人：夏晶;何新远;刘开勇;杨志朋;樊玉杰;周元凯 -专利权人：江苏科技大学
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B01F29/64 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆抛光液搅拌装置，包括机架、辅助支撑单元、滚筒、搅拌单元、入料单元、出料单元以及动力部。辅助支撑单元组装于机架上，且协同机架以对滚筒的轴向窜动量和径向偏摆量进行限制。借助入料单元、出料单元分别向着滚筒的内腔输入待混合的抛光液、泵出已混合的抛光液。滚筒和搅拌单元均借助于动力部进行驱动。如此，借由内置于卷筒的搅拌单元可以实现对待混合抛光液的扰动，与此同时，待混合抛光液因受到来自于滚筒内侧壁摩擦力作用而发生周向扰动，进而加剧了抛光液的混合强度。另外，搅拌单元和滚筒的自转方向始终保持反向，混合进程中两股不同流向的抛光液可在小区域内频繁地发生对向碰撞，且因高速扰动可在其局部区域形成稳定紊流。
一种抛光搅拌装置