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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]检查装置及基板处理装置-CN202310067605.1在审
发明人： 任种九;金亨俊 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置及包括其的基板处理装置。本发明的检查装置包括设置于检查对象物的上方，且具有内部空间的壳体；连接于所述壳体，且拍摄向所述检查对象物的外周边缘照射光的所述检查对象物的上表面的整体图像的成像部；连接于所述壳体，向所述检查对象物的上表面照射光的同轴照明部；设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的光反射于所述成像部的光反射部；以及聚光由所述同轴照明部照射的光的透镜部。这种检查装置可以实现将同轴照明部和成像部连接为一体的紧凑结构，且可以实时一次性有效地对基板的边缘和表面的缺陷进行检查，从而有效地提高基板缺陷的检查性能。
检查装置处理

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