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[发明专利]直通型炉及具有直通型炉的管芯粘结机-CN201610522176.2有效
发明人： 丹尼尔·安德烈亚斯·谢勒;吉多·祖特尔 -专利权人：贝思瑞士股份公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及直通型炉及具有直通型炉的管芯粘结机。本发明涉及一种直通型炉，其包括炉体(2)和覆盖件(6)，炉体和覆盖件包围通道，能够通过该通道输送基板并且工作气体能够被供应至该通道。覆盖件(6)包括至少一个工艺开口。在可拆卸地彼此连接的直通型炉的单独的部件之间的界面形成有彼此相对的配合表面(11、12)。所述界面中的至少一些界面包括沟槽(15)，能够在操作中向沟槽(15)供应真空。进入到配合表面(11、12)之间的不可避免的间隙中的空气通过吸力经由沟槽(15)被吸走，且不会到达炉的内部空间。本发明还涉及一种具有这样的直通型炉的管芯粘结机。
直通具有管芯粘结

[发明专利]用于基板的贯通式炉和裸片结合器-CN201410669842.6有效
发明人：吉多·祖特尔;凯文·多曼奇赫;丹尼尔·安德烈亚斯·谢勒;雷托·魏伯尔 -专利权人：贝思瑞士股份公司
申请日： 2014-11-20 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： H01L21/58 文献下载
摘要：本发明提供用于基板的贯通式炉和裸片结合器。用于基板(3)的贯通式炉包括：炉(1)，炉(1)具有通道(2)；和运输系统，用于将基板(3)运输通过通道(2)。通道(2)由基部(4)、前侧壁(5)、后侧壁(6)和顶部(7)界定。基部(4)包含多个第一孔(8)，所述多个第一孔(8)能够连接到保护气体源(9)，使得在操作期间能够供给保护气体。通道(2)的前侧壁(5)包括纵向狭缝(11)，纵向狭缝(11)平行于通过方向(10)延伸且由底边缘(12)和上边缘(13)界定。运输系统包括至少一个夹子(15)，用于将基板(3)运输通过通道(2)。夹子(15)能沿通道(2)的纵向狭缝(11)来回移动。这样的贯通式炉特别适于用于软焊裸片结合器中。
基板贯通式纵向狭缝结合器裸片保护气体运输系统前侧壁夹子基部界定操作期间底边缘后侧壁上边缘运输平行延伸移动